用于静电喷墨打印头的薄膜结合对准的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种具有静电致动器的静电喷墨打印头，其具有对主体层不对准到间隙隔离层所产生的不利影响的改善抗性。在实施例中，间隙隔离层的第一和第二部分均具有第一宽度并且主体的第一和第二部段均具有比第一宽度更宽的第二宽度。甚至在一定量的不对准的情况下，主体层的第一和第二部段限定致动器薄膜的节点，由此保持致动器薄膜的有效宽度(WE)等于致动器薄膜的目标宽度(WT)。
【专利说明】
用于静电喷墨打印头的薄膜结合对准
技术领域
[0001]本发明涉及喷墨打印设备的领域，并且更特别地，涉及用于静电致动喷墨打印头的方法和结构以及包括静电致动喷墨打印头的打印机。【背景技术】
[0002]按需喷墨技术广泛地用于打印工业中。使用按需喷墨技术的打印机可以使用多个 (即，阵列)静电致动器、压电致动器或热致动器从孔板中的多个喷嘴喷射墨。在静电喷射中，形成于衬底组件上的每个静电致动器典型地包括挠性隔膜或薄膜，在孔板和薄膜之间的墨室，以及在致动器薄膜和衬底组件之间的空气室。静电致动器还包括形成于衬底组件上的致动器电极。当施加电压以激活致动器电极时，薄膜由电场朝着电极牵引并且从松弛状态致动到挠曲状态，这增加墨室的体积并且将墨从墨供给或储存器吸引到墨室中。当去除电压以去激活致动器电极时，薄膜松弛，墨室内的体积减小，并且墨从孔板中的喷嘴喷射。
[0003]静电致动器的一个关键方面是致动器电极和薄膜之间的间隔或间隙的尺寸。间隙影响当去除来自致动器电极的电压时从喷嘴喷射的墨的体积和必须施加到致动器电极以充分地偏转薄膜的电压。太窄或太宽的间隙将相应地喷射不足的或过量的墨量。此外，当间隙高度增加时，必须施加到致动器电极以充分地偏转薄膜的功率也增加。
[0004]静电致动器电极还包括形成于衬底组件之上的电介质间隙隔离层，并且可以形成于用于形成致动器电极的导电层的部分上。薄膜附着或结合到间隙隔离层的上表面以将薄膜与电极间隔，并且因此间隙隔离层的厚度部分地确定致动器电极和薄膜之间的间隙或间隔，其是影响打印头的操作的关键尺寸。
[0005]另外，静电致动器可以包括主体层，所述主体层覆盖并且附连到薄膜并且用于安装包括多个喷嘴的喷嘴板。因此每个墨室可以至少部分地由薄膜、主体层和喷嘴板限定。
[0006]对于打印头的多数有效和可预测操作，每个静电致动器设计成具有带有目标宽度 “WT”的薄膜。主体层对准到间隙隔离层部分地确定用于特定静电致动器的薄膜的有效(即操作或功能)宽度“WE”。在完美对准的打印头中，主体层与间隙隔离层正确地对准，并且有效宽度WE等于目标宽度WT。当主体层与间隙隔离层正确地对准时，薄膜的操作特性(例如在墨从喷嘴板的喷嘴喷射期间薄膜的挠曲或行进)接近它们的设计值，并且墨以正确体积和行进的方向被喷射。图5A描绘静电喷墨打印头的静电致动器500，其中主体板502正确地对准到间隙隔离层504。当主体板502正确地对准到间隙隔离层504时，用于静电致动器500的薄膜506具有目标宽度WT和有效宽度WE，其中WE=WT。
[0007]将领会用于每个单独的致动器500的每个薄膜506由提供用于多个致动器500的薄膜506的连续薄膜层形成。用于每个单独的致动器500的薄膜或隔膜506是在薄膜节点之间挠曲的区域，其中取决于主体层502的对准，节点由单独的间隙隔离层504和/或单独的主体层部段502提供。在图5A中，当这些层的单独的部段具有相同的宽度并且正确地对准时，薄膜节点由间隙隔离层504和主体层502两者提供。
[0008]相比之下，不对准间隙隔离层的主体层减小横越打印头的用于每个致动器的薄膜的有效宽度。当主体层不对准间隙隔离层时，薄膜的操作特性偏离其设计值，并且可能不利地影响墨滴体积和行进的方向。图5B描绘作为静电喷墨打印头的相似静电致动器的阵列的一部分的静电致动器510,其中主体板512不对准到间隙隔离层514。当主体板512不对准到间隙隔离层514时，如图所示，静电致动器510的薄膜516仍然具有目标宽度WT，但是WE减小使得We〈Wt。薄膜516的挠曲和行进可能减小，这又可能减小喷射墨滴的体积并且不利地影响喷射墨滴的轨迹，由此减小打印质量。在图5B中，当两个层不对准时，薄膜节点在致动器510的左侧由主体层512提供，并且在致动器的右侧由间隙隔离层514提供。
[0009]具有对主体层不对准的改善抗性并且增加打印质量的用于静电致动喷墨打印头的方法和结构将是期望的。
【发明内容】
[0010]下面提出简化总结以便提供本发明的一个或多个实施例的一些方面的基本理解。 该总结不是广泛概述，也不旨在识别本发明的关键或重要元素，也不是限定本公开的范围。 而是，其主要目的仅仅是以简化形式提出一个或多个概念作为随后提出的详细描述的前奏。
[0011]本发明的实施例可以包括一种具有多个静电致动器的静电喷墨打印头，其中每个静电致动器包括衬底组件和附连到所述衬底组件的间隙隔离层，其中所述间隙隔离层具有第一部段和与所述第一部段间隔的第二部段，并且所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度。所述静电喷墨打印头还可以包括在致动器空气室内附连到所述衬底组件并且插入所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段之间的致动器电极，附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段的致动器薄膜，以及附连到所述致动器薄膜的主体层，其中所述主体层包括第一部段和与所述主体层的第一部段间隔的第二部段，从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距离确定墨室的宽度，并且所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段均具有比所述第一宽度更宽的第二宽度。所述静电喷墨打印头还可以包括喷嘴板，所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动器喷嘴。
[0012]在另一实施例中，一种喷墨打印机可以包括包括多个静电致动器的至少一个静电喷墨打印头。每个静电致动器可以包括衬底组件和附连到所述衬底组件的间隙隔离层，其中所述间隙隔离层具有第一部段和与所述第一部段间隔的第二部段，并且所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度。所述静电喷墨打印头还可以包括在致动器空气室内附连到所述衬底组件并且插入所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段之间的致动器电极，附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段的致动器薄膜，以及附连到所述致动器薄膜的主体层，其中所述主体层包括第一部段和与所述主体层的第一部段间隔的第二部段，从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距离确定墨室的宽度，并且所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段均具有比所述第一宽度更宽的第二宽度。所述静电喷墨打印头还可以包括喷嘴板， 所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动器喷嘴。所述打印机可以包括封闭所述至少一个静电喷墨打印头的打印机外壳。
[0013]另一实施例可以包括一种用于形成包括多个静电致动器的静电喷墨打印头的方法。所述方法可以包括形成附连到衬底组件的具有第一部段和第二部段的间隙隔离层，其中所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度，形成附连到所述衬底组件并且插入所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段之间的致动器电极，将致动器薄膜附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段以形成致动器空气室，其中所述致动器电极在所述致动器空气室内，形成附连到所述致动器薄膜的主体层，其中所述主体层包括第一部段和与所述主体层的第一部段间隔的第二部段，并且从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距离确定墨室的宽度，以及使所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段形成为均具有比所述第一宽度更宽的第二宽度，以及将喷嘴板附连到所述主体层，其中所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动器喷嘴。【附图说明】
[0014]包含在该说明书中并且构成该说明书的一部分的附图示出本发明的实施例并且与描述一起用于解释本公开的原理。在图中:
[0015]图1-3是描绘根据本发明的实施例的各种过程中结构的横截面；
[0016]图4是根据本发明的实施例的包括一个或多个静电致动喷墨打印头的打印机的透视图；以及
[0017]图5A和5B是常规设备的横截面。[〇〇18]应当注意图的一些细节已被简化并且被绘制以便于理解本发明而不是保持严格的结构精度、细节和比例。【具体实施方式】
[0019]现在将详细地参考本发明的示例性实施例，本发明的例子在附图中示出。在可能的情况下，在附图中将始终使用相同的附图标记以表示相同或相似的部分。
[0020]当在本文中使用时，除非另外指出，词语“打印机”包含为了任何目的执行打印输出功能的任何装置，如数字复印机、编书机、传真机、多功能机、静电照相设备等。“节点”是在打印头的操作期间不挠曲的薄膜或隔膜上的点或线，其中节点是最接近在薄膜或隔膜的操作期间挠曲的薄膜或隔膜上的相邻非节点或线的点或线。
[0021]本发明的实施例可以提供用于静电致动喷墨打印头的方法和结构，其具有对主体层不对准到间隙隔离层的负面影响的改善抗性。在实施例中，主体层对间隙隔离层在某种程度上的不对准对在打印期间喷嘴板的喷嘴喷射的墨滴的尺寸或轨迹具有很小的不利影响或没有不利影响。[〇〇22]如图5A和5B中所示，可以看到主体层502、512的每个部段的目标宽度与间隙隔离层504、514的每个部段的宽度相同。用于形成间隙隔离层514和主体层512的单独的部段的方法针对相同宽度的这些结构。薄膜506的有效宽度WE由主体层502和间隙隔离层504的边缘，更特别地由在横向方向上更接近致动器电极518的最近边缘的边缘限定。由于间隙隔离层504、514使用紧密、微米级掩模对准图案化，因此间隙隔离层504、514将与致动器电极 508、518正确地对准。如图5B中所示，在所示的致动器510的左侧，主体层512的边缘520比间隙隔离层514的相应边缘522横向地更接近电极518的左边缘。薄膜516的左节点因此由边缘 520提供。在致动器的右侧，间隙隔离层514的边缘524比主体层512的相应边缘526横向地更接近电极518的右边缘，并且薄膜516的右节点由边缘524提供。所以对于所示的致动器510 薄膜516的有效宽度We等于从主体层边缘520到间隙隔离层边缘524的横向距离。有效宽度We 因此等于目标宽度Wt减去主体层512与间隙隔离层514不对准的量。
[0023]本发明的实施例提供一种静电致动喷墨打印头，其中主体层的每个部段具有明显不同于间隙隔离层的每个部段的宽度，由此减小打印头不对准的不利影响。在实施例中，从本文中的描述将理解，薄膜的有效宽度We不受主体层与间隙隔离层不对准的某个量影响使得薄膜的有效宽度We等于目标宽度WT，甚至在不对准的情况下。
[0024]在图1-3中描绘在本发明的实施例期间形成的过程中结构。将理解图是一般化示意性描绘并且实际结构可以包括为了简单起见未描绘的其它子结构，同时各种描绘的子结构可以被去除或修改。图1描绘致动器10,其包括衬底组件12,电绝缘覆盖电介质层14,导电图案化电极层16,具有插入其间的图案化电极层16的间隙隔离层18的第一和第二间隔部段，致动器薄膜或隔膜20,以及致动器空气室22。在本文中的各实施例中，衬底组件12可以包括硅晶片或晶片部段，并且还可以包括为了简化起见未描绘的各种其它层，如各种掺杂区域，和覆盖电介质层14形成于其上的一个或多个层，如氧化物层。
[0025]此外，图1-3的结构可以包括插入间隙隔离层18的底部和覆盖电介质层14之间的层23,其等于或近似等于图案化电极层16的厚度。在实施例中，层23可以由与电极层16相同的层形成并且使用相同的掩模或蚀刻图案化，并且因此可以具有与电极层16相同的厚度。 在该实施例中，层23的存在导致间隙隔离层18的厚度更直接地限定从电极16的顶部到隔膜 20的底部的距离。尽管图1-3描绘单个致动器10的形成，但是将理解数百或数千个致动器可以同时形成于衬底组件12上或上方。[0〇26]覆盖电介质层14可以包括厚度在约0.01微米(ym)到约1.0ym之间的氮化物层，如氮化硅、氮氧化物或二氧化硅。图案化电极层16可以包括厚度在约0.lwii到约0.6wii之间的铝层、另一金属层或掺杂半导体层。间隙隔离层18可以包括具有约0.lwii到约2.0wn的厚度的电介质。薄膜20可以是铁镍合金，如不变钢(64FeNi )，娃层，不锈钢层，钛层，钼层，或另一合适的材料，其具有约2.0ym到约40wii之间或约1 Oym到约20wii之间的厚度。间隙隔离层18可以用粘合剂21物理地附连或结合到薄膜20。在另一实施例中，电极层14的各部分可以保持直接插入间隙隔离层18和衬底组件12之间。可以预料其它材料组分、厚度和宽度，以及其它装置结构和装置结构的布置。[〇〇27]间隙隔离层18的厚度至少部分地限定从电极层16的上表面到薄膜20的底表面的距离。这是对于静电致动器的功能性和对于打印头重要的距离。如果薄膜20过度接近电极 16,则在操作期间薄膜20的行进距离和由此产生的从打印头喷射的墨的体积和速度可能不足。如果薄膜20过度远离电极16，则致动薄膜20所需的电压和喷射的墨的体积可能过度。
[0028]在实施例中，在所示横截面中的间隙隔离层的每个部段18的宽度(例如，第一宽度)可以为约3mi到约70M1，或约5wii到约60M1，或约1 Oym到约50M1。该表面足够宽以支持粘合剂21的施加，例如使用喷射过渡或旋转涂覆技术。如果间隙隔离层的每个部段18过窄，则间隙隔离层18附连到薄膜20可能不足。如果间隙隔离层的每个部段18的宽度过宽，则与主体层24(图2)的可允许不对准的量减小。可以预料其它附着技术，例如阳极、共晶或融合结合。
[0029]在形成图1的结构之后，主体层24例如使用粘合剂25附连或结合到薄膜20。此外， 具有多个致动器喷嘴28的孔板26使用粘合剂27结合到主体层24,如图2中所示。将理解所示的结构是示例性的，原因是实际结构可以包括例如在主体层24和孔板26之间的附加层。薄膜20、主体层24的第一和第二部段和喷嘴板26—起限定如图所示的致动器10的墨室30,所述墨室在装置操作期间填充有墨。对于具有上述宽度的间隙隔离层18的单独的部段，单独的主体层部段24可以相应地具有约20_到约lOOwn、或约40wii到约90_、或约50_到约80y m、例如约75wii的宽度(例如，第二宽度)。在该实施例中，单独的主体层部段24的宽度设计成明显大于单独的间隙隔离层部段18的宽度。在另一实施例中，主体层24的每个部段的目标宽度设计成是间隙隔离层18的每个单独的部段的宽度的约1.2倍到约5.0倍，或是间隙隔离层18的每个单独的部段的宽度的约1.5倍到约4.0倍，或约2.0倍到约3.0倍。在另一方面，主体层24的每个部段的目标宽度设计成大约是过程的对准能力的3西格玛(〇)到6〇使得任何对准将落在可接受的分布或产出内。在图2的实施例中，主体层24优选地与间隙隔离层18对准(例如，每个部段24的一部分直接覆盖部段18中的一个，并且每个部段24的中心直接与它所覆盖的部段18的中心竖直地对准)，并且薄膜20的有效宽度WE等于目标宽度WT。每个部段 18、24的中心被描绘为虚线。
[0030]将主体层24的每个部段的宽度设计成比间隙隔离层18的每个部段更宽允许主体层24相对于间隙隔离层18不对准而不影响薄膜20的目标宽度WT。当主体层24的每个部段与间隙隔离层18的每个部段的宽度差增加时可允许不对准的量增加。[〇〇31]图3描绘实施例，其中主体层24不对准到间隙隔离层18(例如，每个部段24的一部分直接覆盖部段18中的一个，但是每个部段24的中心不在相同轴线上与它所覆盖的部段18 的中心竖直地对准)。如图所示，甚至在该明显不对准的情况下，薄膜20的有效宽度WE保持等于目标宽度Wt。在图3的实施例中，薄膜20的节点保持仅仅由主体层24,具体地由主体层 24的边缘32、34限定，其也限定墨室30的宽度，甚至在不对准的情况下。这与图5B的实施例形成对比，其中在不对准的情况下，薄膜516的节点部分地由间隙隔离层514,特别地由边缘 524限定，这减小薄膜516的有效宽度WE。在图5B中，限定墨室528的宽度的主体层512不限定薄膜516的每个节点。在图3中，限定墨室30的宽度的主体层24也限定薄膜20的每个节点，甚至在不对准的情况下。
[0032]形成间隙隔离层18相比于常规装置减小每个部段的宽度，不会不利地影响致动器 10的设计或改变装置致动器10的任何关键尺寸。墨室30的宽度和薄膜20的目标宽度WT保持相同。通过减小间隙隔离层18的单独的部段的宽度增加致动器空气室22的宽度不会不利地影响装置的设计或增加任何附加的掩模步骤。[〇〇33]图4描绘包括打印机外壳42的打印机40,包括本发明的实施例(例如类似于图2和/ 或3中所示的结构)的至少一个打印头44已安装在所述打印机外壳中。外壳42可以封闭打印头44。在操作期间，墨46从一个或多个打印头44中的一个或多个喷嘴74喷射。打印头44根据数字指令操作以在打印介质48(如纸片材、塑料等)上产生期望图像。打印头44可以相对于打印介质48在扫描运动中来回移动以逐行地生成打印图像。替代地，打印头44可以保持固定并且打印介质48相对于它来回移动，在单程中产生与打印头44 一样宽的图像。打印头44 可以比打印介质48更窄或与其一样宽。在另一实施例中，打印头44可以打印到中间表面，如旋转鼓或带(为了简化起见未描绘)，以便随后转印到打印介质48。
[0034]尽管阐述本发明的宽范围的数值范围和参数是近似值，但是尽可能精确地报告具体例子中所述的数值。然而，任何数值固有地包含必然由在它们的相应测试测量中出现的标准偏差产生的某些误差。而且，本文中公开的所有范围应当被理解为涵盖包含在其中的任何和所有子范围。例如，“小于10”的范围可以包括在零的最小值和10的最大值之间(并且包括零和10)的任何和所有子范围，也就是说，具有等于或大于零的最小值和等于或小于10 的最大值的任何和所有子范围，例如1到5。在某些情况下，针对参数所述的数值可以取负值。在该情况下，被说成“小于10”的范围的示例性值可以采取负值，例如，-1，-2，-3，-10，_ 20,-30 等。
[0035]尽管已关于一个或多个实现方式例示了本发明，但是可以对所示的例子进行改变和/或修改而不脱离附带的权利要求的精神和范围。例如，将领会尽管过程被描述为一系列动作或事件，但是本发明不受这样的动作或事件的顺序限制。除了本文中所述的以外，一些动作可以按照不同顺序和/或与其它动作或事件同时发生。而且，可能并非需要所有的过程阶段来实现根据本发明的一个或多个方面或实施例的方法。将领会可以加入结构部件和/ 或处理阶段，或者可以去除或修改现有的结构部件和/或处理阶段。此外，本文中所述的动作中的一个或多个可以在一个或多个独立的动作和/或阶段中被执行。此外，在详细描述和权利要求中使用术语“包含”、“具有”、“带有”或其变型的情况下，这样的术语旨在以类似于术语“包括”的方式是包含性的。术语“…中的至少一个”用于表示可以选择列出项中的一个或多个。此外，在本文中的论述和权利要求中，相对于两种材料使用的术语“在…上”、一种在另一种“上”表示材料之间的至少一些接触，而“在…上方”表示材料邻近，但是可能具有一种或多种附加的介入材料使得接触是可能的，但是不需要。当在本文中使用时“在…上” 和“在…上方”都不暗示任何方向性。术语“保形”描述涂层材料，其中底层材料的角由保形材料保持。术语“约”指示列出值可以稍稍改变，只要改变不导致过程或结构与所示的实施例不一致。最后，“示例性”指示描述用作例子，而是意味着它是理想的。本领域的技术人员通过考虑本文中的公开的具体说明和实施将显而易见本发明的其它实施例。说明书和例子应当被认为仅仅是示例性的，本发明的真实范围和精神由以下权利要求指示。
[0036]在本申请中使用的相对位置的术语基于平行于工件的常规平面或工作表面的平面被限定，不管工件的取向。当在本文中使用时术语“水平”或“横向”被限定为平行于工件的常规平面或工作表面的平面，不管工件的取向。术语“竖直”指的是垂直于水平的方向。诸如“在…上”、“侧”(如在“侧壁”中)、“更高”、“更低”、“在…上方”、“顶”和“在…之下”的术语相对于在工件的顶表面上的常规平面或工作表面被限定，不管工件的取向。
【主权项】
1.一种包括多个静电致动器的静电喷墨打印头，其中每个静电致动器包括:衬底组件；附连到所述衬底组件的间隙隔离层，其中:所述间隙隔离层具有第一部段和与所述第一部段间隔的第二部段;并且 所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度；致动器电极，所述致动器电极在致动器空气室内附连到所述衬底组件并且插入所述间 隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段之间；致动器薄膜，所述致动器薄膜附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的 第二部段；以及附连到所述致动器薄膜的主体层，其中:所述主体层包括第一部段和与所述主体层的第一部段间隔的第二部段；从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距离确定墨室的宽度;并且 所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段均具有比所述第一宽度更宽的第二 宽度；以及喷嘴板，所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动器喷嘴。2.根据权利要求1所述的静电喷墨打印头，其中所述第二宽度是所述第一宽度的1.2倍 至IJ 5.0倍。3.根据权利要求2所述的静电喷墨打印头，其中所述墨室至少部分地由所述喷嘴板、所 述主体层的第一部段和第二部段和所述致动器薄膜限定。4.根据权利要求1所述的静电喷墨打印头，其中:所述第一宽度为3mi到约70wn;并且所述第二宽度为20mi到lOOwii。5.—种喷墨打印机，其包括:包括多个静电致动器的至少一个静电喷墨打印头，其中每个静电致动器包括:衬底组件；附连到所述衬底组件的间隙隔离层，其中:所述间隙隔离层具有第一部段和与所述第一部段间隔的第二部段;并且 所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度；致动器电极，所述致动器电极在致动器空气室内附连到所述衬底组件并且插入所述间 隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段之间；致动器薄膜，所述致动器薄膜附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的 第二部段；以及附连到所述致动器薄膜的主体层，其中:所述主体层包括第一部段和与所述主体层的第一部段间隔的第二部段；从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距离确定墨室的宽度;并且 所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段均具有比所述第一宽度更宽的第二 宽度；喷嘴板，所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动器喷嘴；以及 封闭所述至少一个静电喷墨打印头的打印机外壳。6.根据权利要求5所述的喷墨打印机，其中所述第二宽度是所述第一宽度的1.2倍到 5.0倍。7.根据权利要求5所述的喷墨打印机，其中:所述第一宽度为3mi到约70wn;并且所述第二宽度为20mi到lOOwii。8.—种用于形成包括多个静电致动器的静电喷墨打印头的方法，所述方法包括:形成附连到衬底组件的具有第一部段和第二部段的间隙隔离层，其中所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段均具有第一宽度；形成附连到所述衬底组件并且插入所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的 第二部段之间的致动器电极；将致动器薄膜附连到所述间隙隔离层的第一部段和所述间隙隔离层的第二部段以形 成致动器空气室，其中所述致动器电极在所述致动器空气室内；形成附连到所述致动器薄膜的主体层，其中所述主体层包括第一部段和与所述主体层 的第一部段间隔的第二部段，并且从所述主体层的第一部段到所述主体层的第二部段的距 离确定墨室的宽度；以及使所述主体层的第一部段和所述主体层的第二部段形成为均具有比所述第一宽度更 宽的第二宽度；以及将喷嘴板附连到所述主体层，其中所述喷嘴板包括在打印期间墨喷射通过其中的致动 器喷嘴。9.根据权利要求8所述的方法，其还包括使所述主体层的第一部段和第二部段形成为 使所述第二宽度是所述第一宽度的1.2倍到5.0倍。10.根据权利要求9所述的方法，其中所述喷嘴板的附连至少部分地形成由所述喷嘴 板、所述主体层的第一部段和第二部段和所述致动器薄膜限定的墨室。
【文档编号】B41J2/045GK105984217SQ201610115538
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年3月1日
【发明人】P·J·奈斯特龙, G·D·雷丁, M·A·塞路拉, A·W·海斯
【申请人】施乐公司