Oled显示屏真空干膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED显示屏真空干膜装置。
【背景技术】
[0002]有机电致发光显示(OLED)技术快速发展，给显示界带来巨大冲击，然而显示技术一直停留在小尺寸显示屏，而大尺寸显示屏成本一直无法降下来去和液晶显示去竞争，从而更快的走入寻常百姓家中。
[0003]现在打印和印刷技术被科学界公认为降低大尺寸OLED显示屏的最佳途径，所以工业界纷纷研究大尺寸OLED打印及印刷技术及工艺，而打印及印刷工艺与传统技术除了把蒸镀工艺改为打印或印刷，还有因为打印及印刷这样湿法工艺而带来的干燥处理问题，这种干燥处理就是把湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂去除掉，但是目前的加工技术中，对于如何去除这种溶剂，尚没有较佳的处理技术。
【实用新型内容】
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以有效地去除湿法工艺中墨水或者浆料而引入的溶剂的OLED显示屏真空干膜装置。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0006]OLED显示屏真空干膜装置，其包括:
[0007]箱体；
[0008]冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；
[0009]第一真空栗，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；
[0010]第二真空栗，其相对第一真空栗安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。
[0011]本实用新型通过在箱体的顶部和底部分别设置第一真空栗和第二真空栗，并在箱体内固定设置冷热板，使用时，将样品放在冷热板上，关好箱体，冷热板快速加热，第一真空栗粗抽，到达一定真空度，然后启动第二真空栗抽到极限真空，然后冷热板快速冷却样品，补气平衡，取出样品，由此使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了 OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。
[0012]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以作如下改进:
[0013]作为优选的方案，上述的箱体上连接第一真空栗的部分上设置有真空度调节器。
[0014]采用上述优选的方案，可以实现对第一真空栗的抽速和真空度大小的调节。
[0015]作为优选的方案，上述的箱体的顶部设置有真空室，第一真空栗连通真空室。
[0016]采用上述优选的方案，可以实现在箱体的顶部预抽真空。
[0017]作为优选的方案，上述的真空室上还设置有加速腔室。
[0018]采用上述优选的方案，在同等真空栗配置情况下可以加快预抽真空速度大于40% ο
[0019]作为优选的方案，上述的真空室呈上窄下宽的结构。
[0020]采用上述优选的方案，可使的抽力到达真空室下部分散均匀。
[0021]作为优选的方案，上述的真空室内设置有抽力分散单元，用于分散真空室内所形成的抽力。
[0022]采用上述优选的方案，可以解决真空接口到真空室体积由小突然变大引起的抽力分散不均问题，使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致，提高批次稳定性与成品率，从而降低生产成本。
[0023]作为优选的方案，上述的抽力分散单元包括多块由上至下依次设置的板体，该板体上开设有多个通孔。
[0024]采用上述优选的方案，可以进一步地使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致。
[0025]作为优选的方案，上述的板体之间还设置膜层。
[0026]采用上述优选的方案，可以进一步地使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致。
[0027]作为优选的方案，上述的冷热板的周围设置剖面呈有U形的导向板。
[0028]采用上述优选的方案，可以辅助抽力均匀向上，抽力均匀的优点就是膜干燥的均匀，一致性好，批次稳定型好，自然成品率就高，成本自然就降低。
[0029]作为优选的方案，上述的冷热板的底部还设置有连通箱体外部的补气口。
[0030]采用上述优选的方案，可以通过微量补气辅助控制真空度及加快干燥过程。
【附图说明】
[0031 ]图1为本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的结构示意图。
[0032]图2为本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置中的抽力分散单元的结构示意图。
[0033]其中，1.箱体11.冷热板12.真空壁13.真空室14.加速腔室15.导向板16.补气口 2.第一真空栗21.真空度调节器3.第二真空栗4.抽力分散单元41.板体42.膜层。
【具体实施方式】
[0034]下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
[0035]为了达到本实用新型的目的，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的其中一些实施方式中，其包括:箱体I;冷热板11，其固定安装于箱体I内，冷热板11还连接冷却加热源(未示出)；第一真空栗2，其安装于箱体I的顶部，从箱体I的顶部对箱体I的内部抽真空;第二真空栗3，其相对第一真空栗2安装于箱体I的底部，从箱体I的底部对箱体I的内部抽真空。
[0036]其中，第一真空栗2具体可以为前级栗，第二真空栗3具体可以是高真空分子栗、冷栗或者扩散栗。同时，箱体I内设置的真空壁12，其具有加热冷却功能，可以在前级预抽时通过冷却加热方式改善抽速。
[0037]本实施例的OLED显示屏真空干膜装置通过在箱体的顶部和底部分别设置第一真空栗和第二真空栗，并在箱体内固定设置冷热板，使用时，将样品放在冷热板上，关好箱体，冷热板快速加热，第一真空栗粗抽，到达一定真空度，然后启动第二真空栗抽到极限真空，然后冷热板快速冷却样品，补气平衡，取出样品，由此使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了 OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本。
[0038]为了进一步