地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，在上述内容的基础上，上述的箱体I上连接第一真空栗2的部分上设置有真空度调节器21。采用该实施方式的方案，可以实现对第一真空栗的抽速和真空度大小的调节。
[0039]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的箱体I的顶部设置有真空室13，第一真空栗2连通真空室13。(真空室13其实通过抽力分散单元4是连通的)采用该实施方式的方案，可以实现在箱体的顶部预抽真空。
[0040]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的真空室13上还设置有加速腔室14。采用上述优选的方案，在同等真空栗配置情况下可以加快预抽真空速度大于40%。同时，加速腔室通过阀门与真空室相连，加速腔室提前抽好真空，真空室预抽前先打开加速腔室与其之间的阀门，利用加速腔室真空先快速抽掉一部分真空室内的气体，然后在利用第一真空栗抽真空，从而达到加快抽速的过程，来提高生产效率。
[0041]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的真空室13呈上窄下宽的结构，即类似于金字塔的形状或倒圆锥状。采用上述优选的方案，可使的抽力到达真空室下部分散均匀。
[0042]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1-2所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的真空室13内设置有抽力分散单元4，用于分散真空室13内所形成的抽力，该抽力分散单元4具体可以包括多块由上至下依次设置的板体41以及设置于板体41之间的膜层42，该膜层42可以由四氟乙烯、或改性四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、尼龙等复合或单一材质制成，该板体41上开设有多个通孔411(每层板开孔大小可以不一的，同一层开孔密集也可以不是均匀分布的)。采用该实施方式的方案，可以解决真空接口到真空室体积由小突然变大引起的抽力分散不均问题，使得设备水平面上抽力分布均匀大小一致，提高批次稳定性与成品率，从而降低生产成本。
[0043]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的冷热板11的周围设置有剖面呈U形的导向板15。采用该实施方式的方案，可以辅助抽力均匀向上，抽力均匀的优点就是膜干燥的均匀，一致性好，批次稳定型好，自然成品率就高，成本自然就降低。
[0044]为了进一步地优化本实用新型的实施效果，如图1所示，在本实用新型的OLED显示屏真空干膜装置的另一些实施方式中，上述的冷热板11的底部还设置有连通箱体I外部的补气口 16。采用该实施方式的方案，可以通过微量补气辅助加快干燥过程。
[0045]下面介绍本实施例的OLED显示屏真空干膜装置的工作过程:将样品放在冷热板上，关好设备，冷热板快速加热，前级栗(即第一真空栗)粗抽，到达一定真空度，真空度调节器调节抽速与真空度大小；过程中还可以微量补气，辅助干燥;然后启动分子栗或冷栗(即第二真空栗)抽到极限真空，同时真空壁、真空管路、抽力分散单元加热辅助加快抽到极限工作真空一定时间;然后冷热板快速冷却样品，补气平衡，取出样品。
[0046]以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.0LED显示屏真空干膜装置，其特征在于，包括: 箱体； 冷热板，其固定安装于所述箱体内，所述冷热板还连接冷却加热源； 第一真空栗，其安装于所述箱体的顶部，从所述箱体的顶部对所述箱体的内部抽真空； 第二真空栗，其相对所述第一真空栗安装于所述箱体的底部，从所述箱体的底部对所述箱体的内部抽真空。2.根据权利要求1所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述箱体上连接所述第一真空栗的部分上设置有真空度调节器。3.根据权利要求1或2所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述箱体的顶部设置有真空室，所述第一真空栗连通所述真空室。4.根据权利要求3所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述真空室上还设置有加速腔室。5.根据权利要求3所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述真空室呈上窄下宽的结构。6.根据权利要求5所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述真空室内设置有抽力分散单元，用于分散所述真空室内所形成的抽力。7.根据权利要求6所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述抽力分散单元包括多块由上至下依次设置的板体，所述板体上开设有多个通孔。8.根据权利要求7所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述板体之间还设置有膜层。9.根据权利要求1所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述冷热板的周围设置有剖面呈U形的导向板。10.根据权利要求1所述的OLED显示屏真空干膜装置，其特征在于，所述冷热板的底部还设置有连通所述箱体外部的补气口。
【专利摘要】本实用新型公开了一种OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本实用新型可以使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。
【IPC分类】B41J11/00
【公开号】CN205344141
【申请号】CN201521131337
【发明人】李春风, 吴聪原
【申请人】威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2015年12月31日