有源矩阵基板和显示装置的制作方法

本发明涉及有源矩阵基板和具有该有源矩阵基板的显示装置。

背景技术：

液晶显示装置由于薄型、轻质、低耗电而被广泛使用。液晶显示装置中所含的液晶面板具有使有源矩阵基板与对置基板贴合并在两块基板之间封入液晶的构造。在有源矩阵基板上形成有多个扫描线、多个数据线和多个像素电路。另外，作为使液晶显示装置的尺寸变小的方法，已知有使扫描线驱动电路与有源矩阵基板形成为一体的方法和在有源矩阵基板上安装数据线驱动电路的方法。

液晶面板的制造工序中进行液晶面板的检查。液晶面板的检查通过例如从外部对半成品或完成品的液晶面板供给检查用信号，确认此时显示的检查用画面来确认。关于液晶面板的检查，例如在专利文献1中记载有为了检测扫描线等的短路或断线而具有4个检查配线和多个检查用开关元件的有源矩阵基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2009/113669号公报

发明要解决的技术问题

智能手机和平板PC等中所用的高精细且窄边框的液晶面板中，有时在2层的配线层上交替地形成与数据线连接的引出线的一部分。在这种情况下，只要在有源矩阵基板上形成被分配给像素电路的基本色的数量的2倍的检查用信号线(例如，RGB方式的液晶面板则为6个检查用信号线)，就能够简单地以高精度进行液晶面板的检查。例如，能够容易地检测形成于相同配线层的引出线中的相邻的引出线间的漏泄电流。但是，如果不做特别设计地在有源矩阵基板上形成大量的检查用信号线，则容易发生断线和漏泄电流，引起检查用画面上发生亮度不均的问题。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制断线、漏泄电流、检查用画面的亮度不均的有源矩阵基板和具有该有源矩阵基板的显示装置。

用于解决问题的技术手段

本发明的第一方面的特征在于，包括：在显示区域内配置成二维状的多个像素电路；

在上述显示区域内在第一方向上延伸的多个扫描线；

在上述显示区域内在第二方向上延伸的多个数据线；

多个引出线，其与上述数据线连接，在上述第二方向上通过设定在上述显示区域外的电路区域内；

在上述电路区域内在上述第一方向上延伸的控制线；

在上述电路区域内在上述第一方向上延伸的多个信号线；和

配置在上述电路区域内，根据上述控制线的信号，控制上述引出线和与该引出线对应的信号线的导通状态的多个开关元件，

上述多个信号线包括在上述电路区域内配置在上述控制线的一侧的第一信号线和在上述电路区域内配置在上述控制线的另一侧的第二信号线，

相邻的两个引出线中的一个引出线经由上述开关元件与上述第一信号线连接，另一个引出线经由上述开关元件与上述第二信号线连接。

本发明的第二方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述控制线和上述信号线形成在与上述扫描线相同的配线层，

经由上述开关元件与上述第二信号线连接的引出线，形成于与上述数据线相同的配线层，

经由上述开关元件与上述第一信号线连接的引出线，具有形成于与上述扫描线相同的配线层的部分和形成于与上述数据线相同的配线层的部分，在上述电路区域内形成于与上述数据线相同的配线层。

本发明的第三方面，在本发明的第二方面中，特征在于：

上述引出线在夹着上述电路区域设定于上述显示区域的相反侧的扇出区域配置成扇状，

经由上述开关元件与上述第一信号线连接的引出线，在上述扇出区域内形成于与上述扫描线相同的配线层。

本发明的第四方面，在本发明的第二方面中，特征在于：

上述引出线在设定于上述显示区域与上述电路区域之间的扇出区域配置成扇状，

经由上述开关元件与上述第一信号线连接的引出线，在上述扇出区域内形成于与上述扫描线相同的配线层。

本发明的第五方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述控制线和上述信号线形成在与上述扫描线相同的配线层，

上述引出线形成于与上述数据线相同的配线层。

本发明的第六方面，在本发明的第五方面中，特征在于：

上述引出线在设定于上述显示区域与上述电路区域之间的扇出区域配置成扇状。

本发明的第七方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述第一信号线的个数和上述第二信号线的个数与分配给上述像素电路的基本色的数量相等。

本发明的第八方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述第一信号线与上述电路区域的在上述第二方向上延伸的一个边交叉，

上述第二信号线与上述电路区域的在上述第二方向上延伸的另一个边交叉。

本发明的第九方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述开关元件形成于与上述控制线重叠的位置。

本发明的第十方面，在本发明的第九方面中，特征在于：

上述控制线在上述电路区域内具有与包含上述开关元件和上述开关元件间的间隙的区域对应的线状形状。

本发明的第十一方面，在本发明的第九方面中，特征在于：

上述控制线在上述电路区域内具有与包含上述开关元件且不包含上述开关元件间的间隙的区域对应的带缺口的线状形状。

本发明的第十二方面，在本发明的第九方面中，特征在于：

上述开关元件被分类为多个组，按每个组排列配置在上述第一方向，

上述控制线在上述电路区域内包含具有与上述开关元件的各组对应的线状形状的多个部分配线。

本发明的第十三方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述开关元件交替地配置在与该开关元件连接的引出线的一侧和另一侧。

本发明的第十四方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述电路区域设定在相对区域内。

本发明的第十五方面，在本发明的第一方面中，特征在于：

上述电路区域设定在相对区域外，

还包括对上述电路区域进行遮光的遮光部件。

本发明的第十六方面是一种显示装置，其特征在于，包括：本发明的第一～第十五方面中任一方面所述的有源矩阵基板；和

与上述有源矩阵基板相对的对置基板。

发明效果

根据本发明的第一方面，多个信号线在电路区域内被分开配置在控制线的一侧和另一侧，相邻的2个引出线分别经由开关元件与配置在控制线的不同侧的2个信号线连接。因此，在电路区域内无需使配线的宽度变细或使间距变窄，就能够将配线布线在规定的范围内，能够抑制在电路区域内发生的断线和漏泄电流。另外，在离控制线最近的信号线与离控制线最远的信号线之间，与其他配线的交叉次数之差变小，信号线上的信号不灵敏程度之差变小，因此，能够抑制在使用控制线和信号线进行检查时在检查用画面上产生的亮度不均。

根据本发明的第二方面，在2层的配线层交替地形成有引出线的一部分的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。

根据本发明的第三方面，在电路区域的与显示区域相反的一侧具有扇出区域，在扇出区域内将引出线交替地形成于2层的配线层的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。

根据本发明的第四方面，在显示区域与电路区域之间具有扇出区域，在扇出区域内将引出线交替地形成于2层的配线层的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。另外，能够检测扇出区域内的引出线的断线和短路，所以能够提高有源矩阵基板的检查精度。

根据本发明的第五方面，在与数据线相同的配线层形成引出线的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。

根据本发明的第六方面，在显示区域与电路区域之间具有扇出区域的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。另外，能够检测扇出区域内的引出线的断线和短路，所以能够提高有源矩阵基板的检查精度。

根据本发明的第七方面，具有分配给像素电路的基本色的数量的2倍的信号线的有源矩阵基板，能够发挥第一方面的效果。

根据本发明的第八方面，通过将信号线从电路区域的在第二方向上延伸的2边分开引出，能够将与第一信号线连接的端子和与第二信号线连接的端子配置在分离开的位置等，能够以高自由度确定端子的配置位置。

根据本发明的第九或第十方面，能够用信号线对开关元件进行遮光，能够防止开关元件的误动作。

根据本发明的第十一或第十二方面，能够缩小控制线与引出线的交叉部分的面积，抑制控制线和数据线上的信号的不灵敏。

根据本发明的第十三方面，通过适当地进行电路区域内的布线，能够减少电路区域内的引出线的弯折次数，抑制引出线的断线和漏泄电流。

根据本发明的第十四方面，在相对区域内将电路区域设定在显示区域外的情况下，能够用形成于对置基板的黑色掩模对开关元件进行遮光，能够防止开关元件的误动作。

根据本发明的第十五方面，在相对区域外设定电路区域的情况下，能够用遮光部件对开关元件进行遮光，能够防止开关元件的误动作。

根据本发明的第十六方面，使用抑制了断线、漏泄电流、检查用画面的亮度不均的有源矩阵基板，能够提供可靠性高的显示装置。

附图说明

图1是表示具有本发明的第一实施方式的有源矩阵基板的液晶显示装置的结构的框图。

图2是本发明的第一实施方式的有源矩阵基板的平面图。

图3是表示通过图2所示的有源矩阵基板的检查用区域的配线的图。

图4是表示图2所示的有源矩阵基板的引出线的图。

图5是图2所示的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图6是图5所示的部分的等效电路图。

图7是图5的A-A’线截面图。

图8是图5的A-A’线截面图的另一例。

图9是比较例的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图10是第一实施方式的第一变形例的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图11是第一实施方式的第二变形例的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图12是本发明的第二实施方式的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图13是图12所示的部分的等效电路图。

图14是本发明的第三实施方式的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。

图15是图14所示的部分的等效电路图。

图16是本发明的第四实施方式的有源矩阵基板的平面图。

图17是表示第四实施方式的变形例的有源矩阵基板的引出线的图。

具体实施方式

(第一实施方式)

图1是表示具有本发明的第一实施方式的有源矩阵基板的液晶显示装置的结构的框图。图1所示的液晶显示装置1包括液晶面板2、显示控制电路3、扫描线驱动电路4、数据线驱动电路5和背光源6。以下，令m和n为2以上的整数，i为1以上m以下的整数，j为1以上n以下的整数。

液晶面板2具有使有源矩阵基板10与对置基板7贴合、在2块基板之间夹入液晶(未图示)的构造。在有源矩阵基板10上形成有m个扫描线G1～Gm、n个数据线S1～Sn和(m×n)个像素电路21。在有源矩阵基板10，扫描线驱动电路4与像素电路21等一起形成为一体，并且安装有作为数据线驱动电路5发挥功能的半导体芯片。

以下，将扫描线延伸的方向(附图中水平方向)称作行方向，将与行方向正交的方向称作列方向。扫描线G1～Gm在行方向上延伸，彼此平行地配置。数据线S1～Sn在列方向上延伸，彼此平行地配置。扫描线G1～Gm与数据线S1～Sn在(m×n)部位交叉。(m×n)个像素电路21对应于扫描线G1～Gm与数据线S1～Sn的交差点地配置成二维状。

像素电路21包含N沟道型的薄膜晶体管(Thin Film Transistor：以下称作TFT)22和像素电极23。第i行j列的像素电路21中包含的TFT22的栅极端子与扫描线Gi连接，一个导通端子与数据线Sj连接，另一个导通端子与像素电极23连接。

在对置基板7形成对置电极(未图示)的情况下，由像素电极23和对置电极构成液晶电容。在有源矩阵基板10形成共用电极(未图示)的情况下，由像素电极23和共用电极构成液晶电容。背光源6配置于液晶面板2的背面侧，对液晶面板2的背面照射光。

显示控制电路3对扫描线驱动电路4输出控制信号C1，对数据线驱动电路5输出控制信号C2和数据信号D1。扫描线驱动电路4基于控制信号C1驱动扫描线G1～Gm。数据线驱动电路5基于控制信号C2和数据信号D1驱动数据线S1～Sn。更详细地说，扫描线驱动电路4在各水平期间，从扫描线G1～Gm中选择1个扫描线，对选择出的扫描线施加导通电压(使TFT22成为导通状态的电压)。数据线驱动电路5在各水平期间，对数据线S1～Sn分别施加与数据信号D1相应的n个数据电压。由此在1水平期间内选择n个像素电路21，对选择出的n个像素电路21分别写入n个数据电压。

像素电路21被分配红色、绿色和蓝色三种基本色中的某一个。(m×n)个像素电路21按列被分类为与红色对应的红像素电路、与绿色对应的绿像素电路和与蓝色对应的蓝像素电路。与之对应地，数据线S1～Sn按配置顺序被分类为与红像素电路连接的红数据线、与绿像素电路连接的绿数据线和与蓝像素电路连接的蓝数据线。例如数据线S1、S4、…被分类为红数据线，数据线S2、S5、…被分类为绿数据线，数据线S3、S6、…被分类为蓝数据线。

图2是有源矩阵基板10的平面图。如图2所示，有源矩阵基板10被分为与对置基板7相对的相对区域11和不与对置基板7相对的非相对区域12。在相对区域11设定有用于配置像素电路的显示区域13。将从相对区域11中除去了显示区域13的部分称为边框区域14。其中，在图2中，适当省略了在有源矩阵基板10形成的要素中的对本实施方式的特征的理解所不需要的要素。

在显示区域13形成有(m×n)个像素电路(未图示)、m个扫描线24和n个数据线25。(m×n)个像素电路在显示区域13内配置成二维状。m个扫描线24在显示区域13内在行方向上延伸。n个数据线25在显示区域13内在列方向上延伸。

边框区域14由形成于对置基板7的黑色掩模(未图示)进行遮光。在边框区域14形成有包围显示区域13的环状配线26。环状配线26与对置电极、共用电极或辅助电容配线(未图示)连接。为了对对置基板、对置电极或辅助电容配线施加规定的电压，而设置环状配线26。

扫描线驱动电路4分为2个部分，形成于边框区域14。更详细地说，扫描线驱动电路4的一部分(以下称为第一扫描线驱动部4a)沿着显示区域13的列方向的一边(图2中为左边)配置，扫描线驱动电路4的剩下的部分(以下称为第二扫描线驱动部4b)沿着显示区域13的列方向的另一边(图2中为右边)配置。第奇数个扫描线24的一端(图2中为左端)与第一扫描线驱动部4a连接，第偶数个扫描线24的一端(图2中为右端)与第二扫描线驱动部4b连接。基于从显示控制电路3输出的控制信号C1，第一扫描线驱动部4a驱动第奇数个扫描线24，第二扫描线驱动部4b驱动第偶数个扫描线24。

在非相对区域12设定有用于安装数据线驱动电路5的安装区域15。在安装区域15形成有与数据线驱动电路5的输入端子连接的多个连接端子41和与数据线驱动电路5的输出端子连接的n个连接端子42。在非相对区域12的安装区域15以外的部分形成有用于与外部电路(例如柔性印刷电路板)连接的多个外部端子43～46和多个检查用端子47、48。外部端子43～46分别与扫描线驱动电路4、连接端子41、环状配线26和检查用端子47连接。在液晶显示装置1使用时，对外部端子46施加使检查用TFT(后述)成为截止状态的电压。

为了连接n个数据线25与n个连接端子42，在非相对区域12和边框区域14形成有n个引出线27。引出线27的第一端(图2中为下端)与对应的连接端子42连接。引出线27的第二端与对应的数据线25连接。

在边框区域14的形成有引出线27的部分，设定有用于形成液晶面板2检查时对数据线25施加检查用信号的电路的检查用区域16。检查用区域16在边框区域14沿着显示区域13的行方向的一边(图2中为下边)设定。另外，在非相对区域12和边框区域14形成有通过检查用区域16的检查用控制线31和6个检查用信号线32。

图3是表示通过检查用区域16的配线的图。如图3所示，检查用端子47与检查用控制线31连接，检查用端子48a～48f分别与检查用信号线32a～32f连接。n个引出线27在列方向上通过检查用区域16内。检查用控制线31和6个检查用信号线32a～32f在检查用区域16内在行方向上延伸，在行方向上通过检查用区域16。其中，所谓延伸，是指在一直线上延伸的情况，以及边在副方向上弯折边在主方向上呈直线状延伸的情况。

检查用信号线32a、32c、32e在检查用区域16内在检查用控制线31的一侧(附图中为下侧)，从远离检查用控制线31的检查用信号线起以32a、32c、32e的顺序配置。检查用信号线32b、32d、32f在检查用区域16内在检查用控制线31的另一侧(附图中为上侧)，从靠近检查用控制线31的检查用信号线起以32b、32d、32f的顺序配置。检查用端子48a、48c、48e在安装区域在行方向的一侧(图3中为右侧)，从靠近安装区域15的端子起以48a、48c、48e的顺序配置。检查用端子47、48b、48d、48f在安装区域在行方向的另一侧(图3中为左侧)，从靠近安装区域15的端子起以47、48b、48d、48f的顺序配置。

检查用信号线32a、32c、32e与在检查用区域16的列方向上延伸的一个边(附图中为右边)交叉。检查用信号线32a、32c、32e从检查用区域16的右侧被引出，通过检查用区域16的右侧部分，与配置于安装区域15的右侧的检查用端子48a、48c、48e分别连接。检查用控制线31和检查用信号线32b、32d、32f，与在检查用区域16的列方向上延伸的另一个边(附图中为左边)交叉。检查用控制线31和检查用信号线32b、32d、32f，从检查用区域16的左边被引出，通过检查用区域16的左侧，与配置于安装区域15的左侧的检查用端子47、48b、48d、48f分别连接。

为了应对ESD(Electrostatic Discharge：静电释放)，检查用信号线32a～32f用二极管环彼此连接。更详细地说，在检查用信号线32a、32c之间，检查用信号线32c、32e之间、检查用信号线32b、32d之间、和检查用信号线32d、32e之间分别逆向地设置有2个二极管54。另外，检查用信号线32b延长至检查用区域16的右侧，在检查用信号线32b的延长部分与检查用信号线32e之间逆向地设置有2个二极管54。另外，也可以使检查用信号线32d、32f中的任一个延长，在其延长部分与检查用信号线32e之间逆向地设置有2个二极管54。

如图2所示，数据线25的间距(配置间隔)比连接端子42的间距大。为了使引出线27的第二端的间距比第一端的间距大，设定有2个扇出(fan-out)区域17、18。扇出区域17设定在安装区域15与检查用区域16之间，扇出区域18设定在检查用区域16与显示区域13之间。引出线27在扇出区域17、18内扇状地布线。更详细地说，引出线27在扇出区域17、18内在列方向上延伸，或主要在斜方向上延伸。典型地说，靠近中央的引出线27在靠近列方向的方向(与列方向之间所成角度小的方向)上延伸，远离中央的引出线27在远离列方向的方向(与列方向之间所成角度大的方向)上延伸。

其中，扇状布线的样式包含如下样式：当将引出线27按配置顺序分为2个组时，在第一组内的引出线的扇出区域内在斜方向上延伸的部分(以下称作斜部分)彼此平行，位于斜部分的一端的弯折点所排列的方向与位于斜部分的另一端的弯折点所排列的方向不平行，且第二组内的引出线也与之相同。

有源矩阵基板10的配线形成于2层的配线层中的任意层。以下，扫描线24形成于第一配线层，数据线25形成于第二配线层。检查用控制线31和检查用信号线32与扫描线24同样地形成于第一配线层。引出线27被分类为与数据线25同样地形成于第二配线层的引出线和具有形成于第一配线层的部分和形成于第二配线层的部分的引出线。

图4是表示引出线27的图。图4中，粗虚线表示形成于第一配线层的配线，粗实线表示形成于第二配线层的配线。在引出线27的弯折点中的从第一端侧(连接端子42侧)数第二个弯折点与检查用区域16之间设定了点X1时，引出线27被分为从第一端至点X1的第一部分28和从点X1至第二端的第二部分29。

引出线27的第二部分29的间距较大。于是，为了容易与数据线25连接，引出线27的第二部分29与数据线25同样形成于第二配线层。与之相对地，引出线27的第一部分28的间距较小。当在同一配线层上以窄间距形成相邻的配线时，容易发生配线的短路。于是，引出线27的第一部分28按配置顺序在第一配线层和第二配线层交替地形成。例如，第奇数个引出线27的第一部分28形成于第一配线层，第偶数个引出线27的第一部分28形成于第二配线层。在引出线27的第一部分28形成于第一配线层的情况下，在引出线27的点X1的位置形成有将第一部分28与第二部分29连接的连接件52(附图中用空心圆表示)。通过使引出线27的第一部分28在2层的配线层交替地形成，能够使相邻的2个引出线27的第一部分28接近或者使一部分重叠地配置。

引出线27被分类为具有形成于第一配线层的第一部分和具有形成于第二配线层的第一部分的这两种引出线。数据线25被分类为红数据线、绿数据线和蓝数据线这三种数据线。将两者组合，引出线27被分类为以下六种。

(1)具有形成于第一配线层的第一部分，与蓝数据线连接的引出线27；

(2)具有形成于第二配线层的第一部分，与红数据线连接的引出线27；

(3)具有形成于第一配线层的第一部分，与绿数据线连接的引出线27；

(4)具有形成于第二配线层的第一部分，与蓝数据线连接的引出线27；

(5)具有形成于第一配线层的第一部分，与红数据线连接的引出线27；

(6)具有形成于第二配线层的第一部分，与绿数据线连接的引出线27。

以下将这六种引出线27依次称为第一～第六引出线。第一～第六引出线分别与检查用信号线32a～32f对应。

图5是检查用区域16及其附近的布线图。图5中记载了引出线27a～27f、检查用控制线31、检查用信号线32a～32f、检查用TFT51a～51f和连接件52a、52c、52e、53a～53f。引出线27a～27f各自为上述第一～第六引出线。引出线27a、27c、27e的第一部分分别附加附图标记28a、28c、28e。图6是图5所示的部分的等效电路图。

引出线27a～27f在检查用区域16内形成于第二配线层，边弯折边在列方向上通过检查用区域16内。检查用控制线31和检查用信号线32a～32f，形成于第一配线层，在检查用区域16内在行方向上延伸。检查用信号线32a、32c、32e在检查用区域16内配置在检查用控制线31的一侧(附图中为下侧)。检查用信号线32b、32d、32f在检查用区域16内配置在检查用控制线31的另一侧(附图中为上侧)。

在引出线27a～27f与检查用控制线31的交点附近分别形成有检查用TFT51a～51f。检查用TFT51具有3个栅极端子、3个第一导通端子(图5中为左侧的端子)和3个第二导通端子。第一导通端子与成对的第二导通端子在行方向上排列配置。

检查用TFT51a～51f的栅极端子与检查用控制线31连接。检查用TFT51a～51f的第一导通端子分别与引出线27a～27f连接。检查用TFT51a～51f的第二导通端子分别经由在列方向上延伸的连接配线和连接件53a～53f与检查用信号线32a～32f连接。连接件53a、53c、53e与检查用信号线32a、32c、32e一起设置于检查用控制线31的一侧。连接件53b、53d、53f与检查用信号线32b、32d、32f一起设置于检查用控制线31的另一侧。检查用TFT51a～51f配置在检查用区域16内，作为根据检查用控制线31的信号来控制引出线27a～27f和与该引出线对应的检查用信号线32a～32f的导通状态的开关元件发挥功能。

将在检查用区域16内配置于检查用控制线31的一侧的检查用信号线32a、32c、32e称作第一检查用信号线，将在检查用区域16内配置于检查用控制线31的另一侧的检查用信号线32b、32d、32f称作第二检查用信号线。在有源矩阵基板10中，相邻的2个引出线27中的一个经由检查用TFT51与第一检查用信号线连接，另一个经由检查用TFT51与第二检查用信号线连接。

如图5所示，检查用控制线31形成于与检查用TFT51重叠的位置。检查用控制线31在检查用区域16内具有与包含检查用TFT51和检查用TFT51间的间隙的区域对应的线状形状。检查用TFT51a～51f分别配置在与该检查用TFT连接的引出线27a～27f的相同侧(图5中为右侧)。在相邻的2个引出线27之间逐个配置有检查用TFT51。

图7是图5的A-A’线截面图。如图7所示，在玻璃基板61上依次形成有检查用控制线62、栅极绝缘膜63、半导体层64、沟道保护膜65、导通电极66和第一～第三保护膜67～69。检查用控制线62用金属材料形成于第一配线层。栅极绝缘膜63使用例如氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiO2)或它们的层叠膜等。半导体层64用例如铟-镓-锌即IGZO等氧化物半导体、或非晶硅等形成。沟道保护膜65用例如氮化硅、氧化硅形成。导通电极66用金属材料形成于第二配线层。第一保护膜67用例如氮化硅、氧化硅等形成。第二保护膜68是用有机高分子化合物形成的有机膜。第三保护膜69用例如氮化硅等形成。另外，并不一定需要设置沟道保护膜65。

另外，如图8所示，在第二的保护膜68与第三的保护膜69之间设置有透明电极71和遮光膜72。透明电极71用例如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等形成。遮光膜72用铜、钼、铝、它们的合金、或它们的层叠膜形成。其中，图8中在透明电极71之上设置遮光膜72，但也可以在遮光膜72之上设置透明电极71。另外，并不一定需要设置透明电极71。

包含有源矩阵基板10的液晶面板2检查时，经由外部端子43对扫描线驱动电路4供给控制信号C1，由此对所有的扫描线24施加导通电压，显示区域13内的所有像素电路被选择。在此基础上，对与检查用控制线31连接的检查用端子47施加导通电压(检查用TFT51成为导通状态的电压)，对与检查用信号线32a～32f连接的检查用端子48a～48f施加与检查用画面的颜色相应的检查用信号。另外，经由外部端子45对对置电极、共用电极、或辅助电容配线也输入规定的信号。由此，显示区域13内的所有像素电路被写入检查用信号，在液晶面板2上显示检查用画面。通过目视或使用检查器来确认检查用画面，能够检查液晶面板2。

另外，也能够通过经由外部端子43对扫描线驱动电路4供给控制信号C1而对扫描线24逐个施加导通电压。另外，有源矩阵基板10具有6个检查用信号线32a～32f，所以能够对6个数据线25施加彼此不同的检查用信号。另外，能够对数据线25施加与基本色对应的检查用信号，并且对相邻的数据线25施加彼此不同的检查用信号。因此，与以点(dot)反转驱动或栏(column)反转驱动的方式对相邻的数据线施加不同极性的数据电压的驱动对应地输入检查用信号，能够以更接近最终产品的显示的状态进行检查。

以下与检查用区域内将6个检查用信号线配置在检查用控制线的相同侧的有源矩阵基板(以下称作比较例的有源矩阵基板)作对比，说明本实施方式的有源矩阵基板10的效果。以下将与6个引出线对应的部分称为重复单位。

图9是比较例的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。如图9所示，在比较例的有源矩阵基板中，所有的检查用信号线32a～32f配置在检查用控制线31的相同侧，所以需要使与检查用TFT51的第二端子连接的所有连接配线在检查用控制线31的相同侧(图9中为下侧)延伸。因此，需要在检查用控制线31与检查用信号线32f之间(图9所示的Q部)按每1个重复单位将6个引出线和6个连接配线在行方向上排列配置。为了将这些配线在有限的范围内布线，需要使配线的宽度变细、或者使间距边窄。但是，如果使配线的宽度变细则变得容易发生断线，如果使间距变窄则容易产生漏泄电流。

另外，在比较例的有源矩阵基板中，离检查用控制线31最远的检查用信号线32a每1个重复单位与其他配线在5处交叉，而离检查用控制线31最近的检查用信号线32f每1个重复单位与其他配线在10处交叉。在检查用信号线32a、32f之间，与其他配线的交叉次数之差较大，所以形成于与其他配线的交叉部分的电容之差也较大，检查用信号的不灵敏程度之差也较大。如果检查用信号的不灵敏程度之差变大，则会在检查用画面产生亮度不均，导致液晶面板2的检查精度降低。像这样，在比较例的有源矩阵基板中，存在容易发生断线和漏泄电流，在检查用画面上发生亮度不均的问题。

与之相对地，在本实施方式的有源矩阵基板10中，6个检查用信号线32a～32f被分开配置在检查用控制线31的一侧和另一侧，所以只要使与检查用TFT51的第二端子连接的连接配线分别在检查用控制线31的一侧和另一侧(图5中为上侧和下侧)延伸即可。因此，在检查用控制线31与检查用信号线32e之间(图5所示的P部)，只要按每1个重复单位将6个引出线和3个连接配线在行方向上排列配置即可。另外，为了将相邻的2个引出线27中的一个经由检查用TFT51与检查用信号线32a、32c、32e中的任一个连接，另一个经由检查用TFT51与检查用信号线32b、32d、32f中的任一个连接，只要使与检查用TFT51的第二端子连接的连接配线在检查用控制线31的一侧和另一侧交替地延伸即可。因此，根据本实施方式的有源矩阵基板10，在检查用区域16内无需使配线的宽度变细或使间距变窄，就能够将配线布线在规定的范围内，能够抑制检查用区域16内发生的断线和漏泄电流。

另外，在本实施方式的有源矩阵基板10中，离检查用控制线31最远的检查用信号线32a每1个重复单位与其他配线在5处交叉，而离检查用控制线31最近的检查用信号线32e每1个重复单位与其他配线在7处交叉。在检查用信号线32a、32e之间，与其他配线的交叉次数之差较小，所以形成于与其他配线的交叉部分的电容之差也较小，检查用信号的不灵敏程度之差也较小。因此，根据本实施方式的有源矩阵基板10，能够抑制在检查用画面产生的亮度不均，提高液晶面板2的检查精度。

如上所述，本实施方式的有源矩阵基板10包括：在显示区域13内配置成二维状的多个像素电路21；在显示区域13内在第一方向(行方向)上延伸的多个扫描线24；在显示区域13内在第二方向(列方向)上延伸的多个数据线25；与数据线25连接，且在第二方向上通过设定在显示区域13外的电路区域(检查用区域16)内的多个引出线27；在电路区域内在第一方向上延伸的控制线(检查用控制线31)；在电路区域内在第一方向上延伸的多个信号线(6个检查用信号线32)；和配置在电路区域内，根据控制线的信号，控制引出线27和与该引出线对应的信号线的导通状态的多个开关元件(检查用TFT51)。信号线包括在电路区域内配置在控制线的一侧的第一信号线(检查用信号线32a、32c、32e)和在电路区域内配置在控制线的另一侧的第二信号线(检查用信号线32b、32d、32f)。相邻的2个引出线27中的一个经由开关元件与第一信号线(检查用信号线32a、32c、32e中的任意个)连接，另一个经由开关元件与第二信号线(检查用信号线32b、32d、32f中的任意个)连接。

像这样，在本实施方式的有源矩阵基板10中，多个信号线在电路区域内被分开配置在控制线的一侧和另一侧，相邻的2个引出线27分别经由开关元件与配置在控制线的不同侧的2个信号线连接。因此，在电路区域内无需使配线的宽度变细或使间距变窄，就能够将配线布线在规定的范围内，能够抑制电路区域内发生的断线和漏泄电流。另外，离控制线最近的信号线(检查用信号线32e)和离控制线最远的信号线(检查用信号线32a)之间，与其他配线的交叉次数之差变小，信号线上的信号不灵敏程度之差变小，因此能够抑制在使用控制线和信号线进行检查时在检查用画面上产生的亮度不均。

另外，在有源矩阵基板10中，控制线和信号线形成于与扫描线24相同的配线层，经由开关元件与第二信号线连接的引出线27形成于与数据线25相同的配线层。经由开关元件与第一信号线连接的引出线27，具有形成于与扫描线24相同的配线层的第一部分28和形成于与数据线25相同的配线层的第二部分29，在电路区域内形成于与数据线25相同的配线层。因此，在2层的配线层交替地形成引出线的一部分的有源矩阵基板，能够发挥上述效果。

另外，引出线27在夹着电路区域设定于显示区域13的相反侧的扇出区域17配置成扇状。经由开关元件与第一信号线连接的引出线27a、27c、27e，在扇出区域17内形成于与扫描线24相同的配线层。因此，在电路区域的与显示区域相反的一侧具有扇出区域，在扇出区域内将引出线交替地形成于2层的配线层的有源矩阵基板，能够发挥上述效果。另外，第一信号线的个数和第二信号线的个数，与分配给像素电路21的基本色的数量(此处为3)相等。因此，具有分配给像素电路的基本色的数量的2倍的信号线的有源矩阵基板，能够发挥上述效果。

另外，第一信号线与在电路区域的第二方向上延伸的一个边(在列方向上延伸的右边)交叉，另外，第二信号线与在电路区域的第二方向上延伸的另一个边(在列方向上延伸的左边)交叉。通过像这样将信号线从电路区域的在第二方向上延伸的2边分开引出，能够将与第一信号线连接的端子(检查用端子48a、48c、48e)和与第二信号线连接的端子(检查用端子48b、48d、48f)配置在分离开的位置等，能够以高自由度确定端子(检查用端子48)的配置位置。

另外，开关元件形成于与控制线重叠的位置。控制线在电路区域内具有与包含开关元件和开关元件间的间隙的区域对应的线状形状。因此，能够使用控制线对开关元件进行遮光，能够防止开关元件的误动作。另外，电路区域在相对区域11内设定于显示区域13外。因此，能够使用形成于对置基板7的黑色掩模，对开关元件进行遮光，能够防止开关元件的误动作。

另外，根据包括本实施方式的有源矩阵基板10和对置基板7的液晶显示装置1，使用抑制了断线、漏泄电流、检查用画面的亮度不均的有源矩阵基板，能够提高液晶显示装置的可靠性。

本实施方式的有源矩阵基板10，能够构成检查用控制线的形状不同的以下的变形例。在第一变形例的有源矩阵基板中，如图10所示，检查用控制线33在检查用区域16内具有与包含检查用TFT51且不包含检查用TFT51间的间隙的区域对应的带缺口的线状形状。在第二变形例的有源矩阵基板中，如图11所示，检查用TFT51被分类为2个组，按每个组在行方向上排列配置。检查用控制线34在检查用区域16内包括具有与检查用TFT51的各组对应的线状形状的2个部分配线34a、34b。另外，也可以将检查用TFT51分类为3个以上的组，检查用控制线包括3个以上的部分配线。

根据这些变形例的有源矩阵根据基板，能够发挥与第一实施方式的有源矩阵基板10相同的效果。另外，能够缩小检查用控制线33、34与引出线27的交叉部分的面积，抑制检查用控制线33、34和数据线25上的信号的不灵敏。

(第二实施方式)

本发明的第二实施方式的有源矩阵基板，与第一实施方式的有源矩阵基板相比，检查用区域的结构不同。图12是本实施方式的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。图13是图12所示的电路的等效电路图。接着，参照图12和图13对与第一实施方式的不同点进行说明。

在本实施方式的有源矩阵基板中，检查用TFT55具有1个栅极端子、1个第一导通端子(图12中为左侧的端子)和1个第二导通端子。第一导通端子和第二导通端子在列方向上排列配置。检查用控制线35具有与包含检查用TFT55且不包含检查用TFT55间的间隙的区域对应的带缺口的线状形状。

像这样与第一实施方式相比，检查用TFT55的朝向和检查用TFT55中包含的沟道的个数(栅极端子的个数)不同。检查用TFT55的朝向和检查用TFT55中包含的沟道的个数，可以考虑有源矩阵基板的尺寸、边框区域的尺寸、数据线的个数、数据线的配线负载和根据检查用TFT的迁移率决定的检查用TFT的尺寸等来任意地决定。例如，检查用TFT55中包含的沟道的个数可以为2个也可以为4个以上。

根据本实施方式的有源矩阵基板，能够发挥与第一实施方式的有源矩阵基板10相同的效果。另外，能够缩小检查用控制线35与引出线27的交叉部分的面积，抑制检查用控制线35和数据线25上的信号的不灵敏。

(第三实施方式)

本发明的第三实施方式的有源矩阵基板，与第一和第二实施方式的有源矩阵基板相比，检查用区域的结构不同。图14是本实施方式的有源矩阵基板的检查用区域及其附近的布线图。图15是图14所示的电路的等效电路图。接着，参照图14和图15对与第一和第二实施方式的不同点进行说明。

在本实施方式的有源矩阵基板中，检查用信号线32a、32c、32e在检查用区域16内配置在检查用控制线36的一侧(图14中为上侧)。检查用信号线32b、32d、32f在检查用区域16内配置在检查用控制线36的另一侧(图14中为下侧)。在引出线27a～27f与检查用控制线36的交点附近分别形成有检查用TFT55a～55f。

检查用TFT55a、55c、55d分别配置在引出线27a、27c、27e的一侧(图14中为右侧)。检查用TFT55b、55d、55f分别配置在引出线27b、27d、27f的另一侧(图14中为左侧)。像这样，检查用TFT55a～55f分别交替地配置在与该检查用TFT连接的引出线27a～27f的一侧和另一侧。在相邻的2个引出线27之间配置2个检查用TFT55的情况和1个检查用TFT55也没有配置的情况交替出现。

根据本实施方式的有源矩阵基板，能够发挥与第一实施方式的有源矩阵基板10相同的效果。另外，能够缩小检查用控制线36与引出线27的交叉部分的面积，抑制检查用控制线36和数据线25上的信号的不灵敏。另外，图14所示的布线与图12所示的布线相比，检查用区域16内的引出线27的弯折次数减少。因此，根据本实施方式的有源矩阵基板，通过适当地进行检查用区域16内的布线，能够减少检查用区域16内的引出线27的弯折次数，抑制引出线27的断线和漏泄电流。

(第四实施方式)

图16是本发明的第四实施方式的有源矩阵基板的平面图。接着，参照图16对与第一～第三实施方式的不同点进行说明。如图16所示，在本实施方式的有源矩阵基板80中，检查用区域81设定在非相对区域12内。在显示区域13与检查用区域81之间设定扇出区域82，引出线27在扇出区域82内扇状地布线。

检查用控制线31和检查用信号线32与扫描线24同样形成于第一配线层。本实施方式中，引出线27的整体与数据线25同样形成于第二配线层。因此，在引出线27的点X1(参照图4)的位置没有形成连接件52。

检查用区域81由遮光部件(未图示)遮光。例如可以对有源矩阵基板80设置覆盖检查用区域81的追加的金属膜，也可以用具有遮光性的树脂、胶带等覆盖有源矩阵基板80的检查用区域81。或者，可以在构成包括有源矩阵基板80的液晶显示装置时，用边框等覆盖检查用区域81。

本实施方式的有源矩阵基板80中，检查用控制线31和检查用信号线32形成于与扫描线24相同的配线层，引出线27形成于与数据线25相同的配线层。因此，在与数据线25相同的配线层形成引出线27的有源矩阵基板，能够发挥与第一实施方式相同的效果。

引出线27扇状地配置在设定于显示区域13与检查用区域81之间的扇出区域82。因此，在显示区域13与检查用区域81之间具有扇出区域82的有源矩阵基板80，能够发挥与第一实施方式相同的效果。另外，能够检测扇出区域82内的断线和短路，所以能够提高有源矩阵基板80的检查精度。

另外，检查用区域81设定在相对区域11外，有源矩阵基板80还包括对检查用区域81进行遮光的遮光部件。像这样将检查用区域81设定在相对区域11外的情况下，用遮光部件对检查用TFT51进行遮光，能够防止检查用TFT51的误动作。

本实施方式的有源矩阵基板80，能够构成引出线27的一部分按配置顺序交替地形成于第一配线层和第二配线层的变形例。图17是表示第四实施方式的变形例的有源矩阵基板的引出线的图。在引出线27的第一端侧(连接端子42侧)弯折点与检查用区域16之间设定了X2，在引出线27的第二端侧的弯折点与显示区域13之间设定了X3时，引出线27被分为从第一端至X2点的第一部分和从点X2至点X3的第二部分、和从点X3至第二端的第三部分。

引出线27的第一部分和第三部分，与数据线25同样形成于第二配线层。引出线27的第二部分按配置顺序在第一配线层和第二配线层交替地形成。例如，第奇数个引出线27的第二部分形成于第一配线层，第偶数个引出线27的第二部分形成于第二配线层。在引出线27的第二部分形成于第一配线层的情况下，在引出线27的点X2的位置形成有将第一部分和第二部分连接的连接件56，在引出线27的点X3的位置形成有将第二部分和第三部分连接的连接件57。

根据本变形例的有源矩阵基板，在显示区域13与检查用区域81之间具有扇出区域82，在扇出区域82内将引出线27交替地形成于2层的配线层的有源矩阵基板，能够发挥第四实施方式相同的效果。

本发明的第一～第四实施方式的有源矩阵基板，能够构成各种变形例。有源矩阵基板也可以具有与4色以上的基本色对应的像素电路。例如，有源矩阵基板也可以在与红色、绿色和蓝色对应的3种像素电路的基础上，具有与白色对应的白像素电路、或与黄色对应的像素电路。或者，有源矩阵基板也可以在与红色、绿色和蓝色对应的3种像素电路的基础上，具有与黄色对应的像素电路和与青色对应的像素电路两者。在4色结构的有源矩阵基板设置有8个检查用信号线。其中4个在检查用区域内配置在检查用控制线的一侧，剩下的4个在检查用区域内配置在检查用控制线的另一侧。在5色结构的有源矩阵基板设置有10个检查用信号线。其中5个在检查用区域内配置在检查用控制线的一侧，剩下的5个在检查用区域内配置在检查用控制线的另一侧。

另外，以上对各数据线与1色的像素电路连接的情况进行了说明，但也可以在各数据线连接多色的像素电路。例如在数据线的右侧和左侧交替地设置像素电路的情况下，各数据线与2色的像素电路连接。

另外，使用第二～第四实施方式和各实施方式的变形例的有源矩阵基板，能够构成与第一实施方式同样的液晶显示装置。另外，各实施方式的特征只要与其性质不相反就能够任意组合，能够构成具有多个实施方式的特征的有源矩阵基板和液晶显示装置。例如，在第四实施方式的有源矩阵基板中，检查用区域16的结构也可以为图5、图10、图11、图12和图14中的任一个。

另外，以上所述的检查用控制线、检查用信号线、检查用TFT和检查用端子，能够用于检查以外的用途。这些要素也能够用作例如用于供给实施PSA(Polymer Sustained Alignment：聚合物稳定取向)技术时的信号的路径、或在制造工序中用于将显示区域内的像素电极等中带有的电荷释放的路径。

所谓PSA技术，是例如在有源矩阵基板与对置基板之间夹着具有负的介电常数各向异性的液晶的垂直取向模式下，为了限制无电压施加时的液晶分子的取向方向，而形成对无施加电压时的液晶给予预倾斜的取向维持层(Alignment Sustaining Layer)的技术。取向维持层在形成液晶晶胞时，典型的是使预先混合于液晶材料中的光聚合性单体或低聚物在对液晶层施加了电压的状态下进行光聚合，由此作为聚合物层形成在垂直取向膜上。利用取向维持层能够使无电压施加时的液晶维持(记忆)与有源矩阵基板的基板面从垂直方向倾斜若干(例如2°～3°)的方向的预倾斜角和取向方位。由此，能够提高电压施加时的液晶取向的响应速度。另外，在用手指按压液晶面板的表面时，能够加速从取向紊乱的状态返回正常状态的时间。

在实施PSA技术时，与液晶面板的检查时同样，通过对对置电极和辅助电容配线施加规定的电压，对扫描线驱动电路供给控制信号来对扫描线施加导通电压。在此基础上，对与检查用控制线连接的检查用端子施加导通电压，对与检查用信号线连接的检查用端子施加用于实施PSA技术的电压。

产业上的可利用性

本发明的有源矩阵基板具有能够抑制断线、漏泄电流、检查用画面的亮度不均的特征，所以能够用于以液晶显示装置为代表的各种的显示装置的基板。本发明的显示装置具有可靠性高的特征，所以能够用于各种电子设备的显示部。

附图标记说明

1：液晶显示装置

2：液晶面板

3：显示控制电路

4：扫描线驱动电路

5：数据线驱动电路

6：背光源

7：对置基板

10、80：有源矩阵基板

11：相对区域

12：非相对区域

13：显示区域

14：边框区域

15：安装区域

16、81：检查用区域

17、18、82：扇出区域

21：像素电路

24：扫描线

25：数据线

27：引出线

28：第一部分

29：第二部分

31、33、34、35、36：检查用控制线

32：检查用信号线

47、48：检查用端子

51、55：检查用TFT

52、53、56、57：连接件

54：二极管。