有源矩阵基板、光闸基板、显示装置、有源矩阵基板的制造方法与流程

文档序号:16808127发布日期:2019-02-10 13:17阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供难以在接触孔内产生金属膜的断接的有源矩阵基板。该有源矩阵基板在玻璃基板(1)上包括:第一绝缘膜~第三绝缘膜(4、6、11)和第一金属膜~第三金属膜(5、9、12);和将第一金属膜和第二金属膜(5、9)电连接的接触孔(CH),上述接触孔(CH)具有分别形成在第一绝缘膜~第三绝缘膜(4、6、11)中的第一孔~第三孔(H1、H2、H3),在第一孔(H1)的内侧,第一金属膜和第三金属膜(5、12)接触,在上述第三孔(H3)的下方的区域,第二绝缘膜(6)和氧化物半导体膜(7)重叠,在上述第一绝缘膜(4)的上方且第三孔(H3)的内侧或下方的区域,第二金属膜和第三金属膜(9、12)接触。

技术研发人员:冈部达;锦博彦;家根田刚士
受保护的技术使用者:夏普株式会社
技术研发日:2017.06.21
技术公布日:2019.02.05
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