显示装置的制造方法、显示装置的制造装置与流程

文档序号:26102401发布日期:2021-07-30 18:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种显示装置的制造方法,包括如下步骤:

在衬底上以矩阵状形成多个晶体管;

在所述衬底上形成与所述晶体管电连接的导电体;

在薄膜上以矩阵状形成多个发光元件,其中所述发光元件各自在一个面具有电极,其另一个面与所述薄膜接触;

使所述导电体与所述电极对置;以及

将推出机构从所述薄膜一侧推到所述衬底一侧来使所述导电体与所述电极接触,由此使所述导电体与所述电极电连接。

2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法,

其中在使所述导电体与所述电极接触之后通过所述推出机构对所述导电体及所述电极施加超声波,由此使所述导电体与所述电极压合。

3.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法,

其中所述薄膜的拉伸弹性模量为3gpa以上且18gpa以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示装置的制造方法,

其中使用形成有所述多个发光元件的多个薄膜。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示装置的制造方法,

其中所述多个发光元件中的至少一个为microled。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的显示装置的制造方法,

其中所述多个晶体管中的至少一个在沟道形成区域中包含金属氧化物。

7.一种显示装置的制造装置,包括载物台、夹持机构以及推出机构,

其中,所述载物台具有保持以矩阵状形成有多个晶体管的衬底的功能,

所述衬底上形成有与所述晶体管电连接的导电体,

所述夹持机构具有夹持以矩阵状形成有多个发光元件的薄膜的功能,

所述发光元件各自在一个面具有电极,其另一个面与所述薄膜接触,

所述夹持机构具有使所述导电体与所述电极对置的功能,

并且,所述推出机构具有从所述薄膜一侧推到所述衬底一侧来使所述导电体与所述电极接触而使所述导电体与所述电极电连接的功能。


技术总结
缩减将Micro LED用于显示元件的显示装置的制造成本。以高成品率制造将Micro LED用于显示元件的显示装置。该显示装置的制造方法包括如下步骤。在衬底(800)上以矩阵状形成多个晶体管,且在衬底(800)上形成与晶体管电连接的导电体(21、23)。在薄膜(927)上以矩阵状形成多个发光元件(51)。发光元件(51)各自在一个面具有电极(85、87),其另一个面与薄膜(927)接触。使导电体(21、23)与电极(85、87)对置,将推出机构(929)从薄膜(927)一侧推到衬底(800)一侧来使导电体(21、23)与电极(85、87)接触,由此使导电体(21、23)与电极(85、87)电连接。

技术研发人员:塚本洋介;野中大旗;吉住健辅;楠纮慈;山崎舜平
受保护的技术使用者:株式会社半导体能源研究所
技术研发日:2019.09.20
技术公布日:2021.07.30
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