专利名称：衍射光学元件及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种光学元件及其制造方法，尤其是一种衍射光学元件及其制造方法。
背景技术：
近年来，衍射光栅在工业生产和科学技术的发展中起着越来越大的作用。首先，作为色 散元件广泛用于光谱分析，是分析物质成分、探索宇宙奥秘、开发大自然的必需仪器。其次 ，衍射光栅大量用于激光器，对激光器输出光谱进行选择、调谐和扩束，促使激光技术的发 展。在集成光学和光通讯方面，衍射光栅是合适的光耦合元件。由于衍射光栅的重要作用推 动可自身的发展。
目前。衍射光栅的制造方法主要可以分为两种
1) 利用光栅刻划机在光栅基底刻划出具有周期结构的刻槽，这种光栅称为机械刻划式光
2) 利用激光干涉技术，将涂覆在基底上的光致刻蚀剂曝光并显影，在光栅基底上形成具 有周期结构的刻槽，或者进而利用离子束轰击刻槽使之成为闪耀光栅，增强光栅的衍射效率
， 这禾中光棚禾尔为全息光棚(参见formation of holographic diffraction gratings in photoresist, apply physicist, 1981， A26， P143 149)或者全息离子刻蚀光栅。
采用上述方法得的光栅一般为单面结构，经过该光栅的光束不能有空间低频变换成空间 高频。
但是，由于机械加工精度、装调精度、控制精度等因素的限制，机械刻划式光栅仍存在 一些残余误差，在光栅的谱面上还可以产生强度可观的各种鬼线，影响光栅在高精度光谱仪 器中的应用，而且光栅刻划机的制造成本高、光栅刻划周期长、对周围环境的要求苛刻，正 是由于这些因素限制了机械刻划式光栅的应用范围。
激光干涉技术制造光栅时，需要光栅基底的表面上涂胶。均匀的光刻胶涂层是得到高质
量光栅必不可少的条件之一。不同的光栅基底需要采用不同的方法涂胶尺寸和重量较小的 光栅基底，可以采用高速离心机利用立新法将光刻胶均匀涂在光栅基底表面上；尺寸和重量 较大的光栅基底采用浸入法将光刻胶涂在光栅基底表面上，将光栅基底浸入盛满光刻胶溶液 的容器中，然后缓慢地、匀速地将其拉出。
采用离心法和浸入法涂布光刻胶时，不可避免地使得光刻胶涂层存在缺陷、污染及光刻胶溶液不均匀等问题，从而影响光栅刻槽的质量。
发明内容
有鉴于此，提供一种可以将空间低频变换为空间高频的衍射光学元件及其制造方法实为 必要。
一种衍射光学元件，其包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅 结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具 有第二周期的第二刻槽。
一种衍射光学元件的制造方法，包括
提供一基片；
提供第一光栅结构和第二光栅结构的函数表达式；
将上述函数表达式进行变换得到第一光栅结构的傅里叶级数和第二光栅结构的傅里叶级
数；
快速刀具伺服系统在第一光栅结构傅里叶级数控制下在基片的一面刻出第一光栅结构；
快速刀具伺服系统在第二光栅结构傅里叶级数控制下在基片的与设有第一光栅结构相对 的一面刻出第二光栅结构。
与现有技术相比，光束通过所述衍射光学元件的第一光栅结构、第二光栅结构时分别被 调制，可由空间低频调制成空间高频。采用快速刀具伺服系统加工出第一光栅结构和第二光 栅结构，可省略涂布光刻胶的步骤，且不需要昂贵的光栅刻划机，因而制造成本低。
图l是本发明实施例衍射光学元件结构示意图。
具体实施例方式
如图1所示，本实施例衍射光学元件10包括基片12、第一光栅结构14和第二光栅结构16
第一光栅结构14的周期为^，其包括若干第一刻槽140。第二光栅结构16的周期为^2
，其包括若干第二刻槽160。第一刻槽140的宽度记为Wi、第二刻槽160的宽度记为W2， 二
者关系为Wl = ^、 WkW2、或者^>^。
周期^与"2的关系为^ = ^2、 ^〈A、或者A〉"2。
当<#^2， 二者的差值小于等于5微米(ym)。
当^ = &，第一刻槽140与第二刻槽160可以间隔分布，即第一刻槽140的起点与第二刻 槽160的起点不同。当然，第一刻槽140与第二刻槽160也可以对齐分布，即第一刻槽140的起点与第二刻槽 160的起点相同。
由于两束记录光在干涉场中所形成干涉条纹的光强近似正弦分布，显影后的光栅如不经 特殊处理，光栅的刻槽形状也为近似正弦形状，因此，第一光栅结构14的槽轮廓可用周期为 A的函数^O0来描写
—S x S — 2 2 )
^")为奇函数，可展开为傅里叶正弦级数 〉■ sin-
4 ^
5 =丄「2 ^ P ■ x ■ sin 2"瓜丄x = 1、 ^
因此
.2jtc 1 . 4瓜 1 . 6jtc 1 . 4jdc sin---sin-+ —sin---sin-+ ■
di2 (ii3 afi4 di
(1)
由式(1)可知，如果能取更多的级数项，那么合成的曲线越接近函数^")，也就是
合成精度越高。但是，从制造角度来看，则希望取较少的项数来满足一定合成精度的要求。
为寻求最优的解，可适当修正式(1)的振幅或者相位。本实施例中^")取级数中的前三
项且振幅不变
峰e
讽
sin
2瓜
1 . 4 dc 1 . 6瓜 —sin-+ —sin-
2 dfi3 ah
同理，第二光栅结构16的槽轮廓可用
/2 (x)="
表示
.2瓜 1 . 4 dc 1 . 6jdc 1 . 4瓜 sin---sin-+ — sin---sin-+ ■
本实施例中
取级数中的前三项且振幅不变
.2瓜 1 . 4 dc 1 . 6jtc sin---sin-+ —sin-
(^2 2(^2 3 a 2
由光的干涉可知，第一光栅结构14的周期
2fhSill仏(入！为波长，(^为两相干光
束夹角之半， 为折射率)，空间频率
如果在空气中，
'1 =
1，则
2 sin "i,<formula>formula see original document page 7</formula>
同理，在空气中，第二光栅结构16的周期 2sil1"2 (入2为波长，a2为两相干光
束夹角之半)，空间频率 。
当一束空间频率为的光线照射至衍射光学元件10上时，假由有第一光栅结构14入射 至第二光栅结构16，其首先被第一光栅结构14调制而具有y+,的频率，然后，被调制以 后的光线被第二光栅结构16调制从而具有,+ ^ + &的频率，由此可见，空间低频的光线 经过衍射光学元件l 0后被调制为具有空间高频的光线。
在制造衍射光学元件10时，采用快速刀具伺服系统(fast tool servo system,简称 FTS系统)加工第一光栅结构14和第二光栅结构16。
将^")输入FTS系统中，刀具在的控制下在基片10的一面加工出第一光栅结构 14;然后，将^^)输入FTS系统中，刀具在^^)的控制下在基片10的另一面加工出第二 光栅结构16。
如果，第一光栅结构14与第二光栅结构16的凹槽相互错开，则在加工第二光栅结构16时 ，首先使FTS系统的刀具发生一定偏移量，然后在/2(^的控制下加工第二光栅结构16。 FTS系统可采用压电陶瓷驱动刀具的运动。
当然，也可以在基片10的相对两面涂布镍合金薄膜后，再行加工第一光栅结构14和第二 光栅结构16。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构 思做出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
权利要求1一种衍射光学元件，其特征在于包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。
2.如权利要求l所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一周期等于第二周期。
3.与第二刻槽交错排布。
4. 与第二刻槽对齐排布。
5.大于或者小于第二周期。
6.如权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一刻槽 如权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一刻槽 如权利要求l所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一周期如权利要求5所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一周期 与第二周期之差小于等于5微米。
7.如权利要求2或5所述的衍射光学元件，其特征在于所述第一刻 槽的宽度等于、大于或小于所述第二刻槽的宽度。
8. 一种权利要求1至7任一项所述的衍射光学元件的制造方法，其包括提供一基片；提供第一光栅结构和第二光栅结构的函数表达式；将上述函数表达式进行变换得到第一光栅结构的傅里叶级数和第二光栅结构的傅里叶 级数；快速刀具伺服系统在第一光栅结构傅里叶级数控制下在基片的一面刻出第一光栅结构； 快速刀具伺服系统在第二光栅结构傅里叶级数控制下在基片的与设有第一光栅结构相 对的一面刻出第二光栅结构。
9.如权利要求8所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于所述基片的表面具有镍合金薄膜。
10.如权利要求8所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于利 用压电陶瓷驱动的快速刀具伺服系统加工第一光栅结构和第二光栅结构。
全文摘要
本发明提供一种衍射光学元件及其制造方法。所述衍射光学元件包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。衍射光学元件的第一刻槽和第二刻槽采用快速刀具伺服系统加工而成，刀具在光栅结构函数表达式的控制下完成第一光栅结构和第二光栅结构。
文档编号G02B5/18GK101430394SQ200710202379
公开日2009年5月13日 申请日期2007年11月5日 优先权日2007年11月5日
发明者张仁淙 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司