专利名称：一种扫描标准具的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学领域，特别是涉及一种扫描标注具。
背景技术：
在光通讯领域，经常要使用到结构简单、可扫描式的标准具。附图1是常见反射式 MEMS (Micro Electro Mechanical System)标准具，由一部分反射镜和一 MEMS组成，部分 反射镜和MEMS分别作为标准具的一个腔片，反射式MEMS标准具仅能制作可调G-T标准具， 功能受到很大限制。
发明内容
本发明的目的在于针对现有反射式标准具仅能制作可调G-T标准具，功能受到很 大限制的技术问题，提供一种扫描标准具，达到扩展反射式MEMS在扫描标准具上应用范围 的目的。为达到上述目的，本发明所提出的技术方案为一种扫描标准具，包括两腔片 101、102，一 MEMS103，其特征在于，两个腔片101、102放置于MEMS103同一侧，且MEMS103与 两腔片101、102间的距离可以调节，两腔片101、102间镀有相同或不同的膜。移动MEMS103 以改变两个腔片101、102之间的空气隙大小，从而可以实现一种连续可调的透射式标准具。进一步，上述技术方案提到的扫描标准具，可以用来制作可调窄线宽激光器，一种 可调窄线宽激光器，除包括上述的扫描标准具外，还包括一部分反射镜106，一激光二极管 或固体激光器107，激光二极管或固体激光器107发出的光谱线宽较宽，激光二极管或固体 激光器107发出光谱经腔片101进入扫描表准具，透射出腔片102的光通过部分反射镜106 经扫描标准具反射回激光二极管或固体激光器107。
图1为反射式MEMS可调标准具结构示意图； 图2为本发明扫描标准具结构示意图3为可调窄线宽激光器结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步说明。101.腔片、102.腔片、103. MEMS、104.入射光束、105.透射光束、106.部分反射
镜、107.激光二极管或固体激光器。如图2所示，一种扫描标准具，包括腔片101、腔片102、及MEMS103，腔片101、腔片 102为标准具的两个腔片，位于MEMS103的同一侧，腔片101和腔片102镀有相同或者不同 的膜层，且MEMS103与两腔片101、102间的距离可以调节当光束104以一定的角度入射至腔片101，部分光a透过腔片101，部分光b反射；透过 腔片101的光a经过MEMS 103反射至腔片102，经过腔片102部分光c透射出去，部分光d 反射；部分光d经过MEMS反射回腔片101上，部分光e透射，部分光f反射至MEMS再反射 到腔片102上；部分光g透射，部分光h反射；以此类推，c, g……等光束经过腔片102透射 出去，发生干涉，形成标准具透射光束；b，e……等光束经过腔片101反射回去，发生干涉， 形成标准具反射光束。另外MEMS103可以上下移动，相当于改变标准具的空气隙大小，这样 就做成一个可扫描式的透射标准具。图3是利用此扫描标准具制作的可调窄线宽激光器，腔片101、MEMS103、腔片102 构成扫描具，激光二极管或固体激光器107发出的光谱线宽较宽，且激光器可以为固体激 光器。激光二极管或固体激光器107发出的光谱通过扫描标准具过滤后，透射光谱经由部 分反射镜106并经扫描标准具反射回激光二极管或固体激光器107，反射回的光谱波段在 激光二极管107谐振腔内谐振放大，其他光谱范围波段同时被抑制。这样就可以实现激光 二极管或固体激光器107原来较宽的光谱波段由宽变窄。另外由于MEMS可调，较窄线宽的 中心波长也可以根据需要发生改变。尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本发明，但所属领域的技术人员应该明 白，在不脱离所附权利要求书所限定的本发明的精神和范围内，在形式上和细节上可以对 本发明做出各种变化，均为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种扫描标准具(100)，包括两腔片(101、102)、一 MEMS (103)，其特征在于，两腔片 (101、102)放置于 MEMS (103)同一侧。
2.根据权利要求1所述的一种扫描标准具(100)，其特征在于所述的MEMS(103)与 两腔片(101、102)之间的距离可以调节。
3.根据权利要求1或2所述的一种扫描标准具(100)，其特征在于两腔片(101、102) 间镀有相同的膜。
4.根据权利要求1或2所述的一种扫描标准具(100)，其特征在于两腔片(101、102) 间镀有不同的膜。
5.一种可调窄线宽激光器，其特征在于除包括上述任一权利要求所述的扫描标准具 外，还包括一部分反射镜(106)，一激光二极管或固体激光器(107)，激光二极管或固体激 光器(107)位于腔片(101)前方，部分反射镜(106)位于腔片(102)透射光光路上。
全文摘要
一种扫描标准具，包括两腔片、一MEMS，其特征在于，两个腔片放置于MEMS同一侧，且MEMS与两腔片间的距离可以调节，两腔片间镀有相同或不同的膜，移动MEMS以改变两个腔片之间的空气隙大小，从而可以实现一种连续可调的透射式标准具，达到扩展反射式MEMS在扫描标准具上应用范围的目的。
文档编号G02B26/00GK102087409SQ201010565420
公开日2011年6月8日 申请日期2010年11月30日 优先权日2010年11月30日
发明者吴励, 胡豪成, 郑保忠 申请人:福州高意通讯有限公司