专利名称：液化材料滴落单元及具有其的液化材料滴落设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备，且更明确地说，本发明涉及可将预定量的液化材料快速滴落到衬底上的液化材料滴落单元，且涉及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备。
背景技术：
一般来说，液晶显示器是用于通过使用液晶分子(liquid crystal molecules)的光学各向异性(optical anisotropy)及偏光器的偏光特性(polarization property)，并调整从光源入射的光的透过量来显示图像。由于可制造轻、薄、高分辨率、大尺寸及低功耗的液晶显示器装置，所以如今液晶显示器的应用范围正在迅速扩展。液晶显示器包含上部衬底，在其上设置黑色矩阵(black matrix)、彩色滤光片 (color filter)及共用电极(common electrode)；下部衬底，在其上设置薄膜晶体管(thin film transistor)及像素电极(pixel electrode)；及液晶层(liquid crystal layer), 其设置于上部衬底与下部衬底之间。在因为设置于共用电极与像素电极之间的电场驱动液晶层来控制光透射率时显示图像。液晶滴落是形成液晶显示器上的液晶层的方法之一。在液晶滴落过程中，将液晶滴到由密封剂(sealant)限制的衬底空间上以形成液晶层，且然后当密封剂硬化时接合并组装所述两个衬底。经配置以滴下例如液晶等液化材料的设备用于通过液晶滴落而在衬底上形成液晶层。典型的液化材料滴落设备包含注射器(syringe)，其中容纳有液晶；喷嘴，其经配置以从注射器接收液晶且将液晶滴到衬底上；旋转马达(rotary motor)，其经配置以将注射器中容纳的液晶排放到喷嘴中；及滚珠丝杠(ball screw)，其与旋转马达啮合且旋转。 当旋转马达旋转时，旋转力被传输到滚珠丝杠。接着，滚珠丝杠(其一端连接到注射器)旋转且将注射器向上推送，使得注射器的内部变窄，且容纳于注射器中的液晶被排放。然而，典型的液化材料滴落设备的局限性在于，该旋转马达的旋转可能会导致旋转马达与滚珠丝杠之间发生反冲(backlash)，并诱发驱动误差(error)。换句话说，注射器被推动的程度可能不精确。因此，可能无法精确地控制从注射器排放的液晶量，且通过喷嘴滴到衬底上的液晶量可能不适当。换句话说，在衬底上形成液晶层的过程中缺陷率可能会增加，且在制造液晶显示器的过程期间，生产效率可能会下降。此外，在典型的液化材料滴落设备中，该旋转马达的旋转力被转换成滚珠丝杠的旋转力以通过喷嘴滴下液晶，且滚珠丝杠的旋转力以直线形式驱动注射器的一部分。换句话说，由于通过若干级来传输旋转力，所以可能无法精确地控制要排放的液晶量，且液晶滴下速度可能会下降。因此，在衬底上形成液晶层的时间周期可能会增加，且在制造液晶显示器的过程期间，生产效率可能会下降
发明内容
本发明提供一种液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴
落设备。本发明还提供一种液化材料滴落单元，其可将预定量的液化材料快速滴落到衬底上；且涉及一种具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备。根据示范性实施例，一种液化材料滴落单元包含容器(container)，其经配置以提供容纳液化材料的内部空间；喷射器(ejector)，其经配置以在容器的纵向方向上被线性驱动，以通过与喷射器的位移值相对应地改变内部空间的面积而从容器排放液化材料； 及喷嘴组件(nozzle component)，其经配置以接收从容器排放的液化材料，且将液化材料滴落到衬底上。根据另一示范性实施例，一种液化材料滴落设备包含接收单元，其经配置以接收衬底；至少一个液化材料滴落单元，其经配置以将液化材料滴落到衬底上；移动单元，其经配置以水平地并垂直地移动接收单元及液化材料滴落单元中的至少一者；及控制单元，其经配置以控制该接收单元、液化材料滴落单元及移动单元的驱动。所述液化材料滴落单元包含容器，其经配置以提供容纳液化材料的内部空间；喷射器，其经配置以在容器的纵向方向上被线性驱动，以通过与喷射器的位移值相对应地改变内部空间的面积而从容器排放液化材料；及喷嘴组件，其经配置以接收从容器排放的液化材料，且将液化材料滴落到衬底上。
通过结合附图来阅读以下描述，可更详细地了解示范性实施例，其中图1是说明根据示范性实施例的液化材料滴落单元的侧视图。图2(a)和图2(b)是说明在排放液晶时图1的单元的操作的视图。图3(a)和图3(b)是说明在填充液晶时图1的单元的操作的视图。图4是说明根据示范性实施例的液化材料滴落设备的示意图。图5是说明根据另一示范性实施例的液化材料滴落设备的示意图。
具体实施例方式下文中将参照附图来详细描述具体实施例。然而，本发明可以不同形式来实施且不应被理解为限于本文中阐述的实施例。实际上，提供这些实施例是为了使得本发明将透彻且完整，且将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。图中相同元件符号表示相同元件。图1是说明根据示范性实施例的液化材料滴落单元的侧视图，图2(a)和图2(b) 是说明在排放液晶时图1的单元的操作的视图，且图3(a)和图3(b)是说明在填充液晶时图1的单元的操作的视图。图4是说明根据示范性实施例的液化材料滴落设备的示意图， 且图5是说明根据另一示范性实施例的液化材料滴落设备的示意图。参照图1到图5，根据示范性实施例的液化材料滴落单元100包含容器110，其提供容纳液晶L的内部空间Sin，所述液晶L经配置以在衬底10的表面上形成液晶层；喷射器 120，其经配置以在容器110的纵向方向或延伸方向(ζ方向)上被线性驱动，以通过与喷射器120的位移值ΔΧ相对应地改变容器110的内部空间Sin的面积而从容器110排放液晶L ；及喷嘴组件130，其经配置以接收从容器110排放的液晶L，且将液晶L滴落到衬底10上。 此外，经配置以将从容器110排放的液晶L传送到喷嘴组件130的材料排放管(material discharge pipe) 142设置于容器110与喷嘴组件130之间，且通道开关阀140设置于材料排放管142的路径上。材料供应器(material supplier) 150通过材料供应管(material supply pipe) 144而连接到通道开关阀(passage switching valve) 140的一侧，且可在容器110中填充液晶L。换句话说，滴落到衬底10上以便在衬底10上形成液晶层的液晶L在流出材料供应器150并穿过材料供应管144及通道开关阀140之后，填充于容器110的内部空间Sin中。容器110垂直于地面而设置着，且设置于垂直板20的单独设置于衬底10上方的侧表面上。容器110的内部空间Sin具有可变结构，使得填充于内部空间Sin中的液晶L可被排放，且出于相同目的，容器110包含容器主体112及推进主体(propelling body) 114。 容器主体112包含容纳液晶L的内部空间Sin，且容器主体112的上端部分113a及下端部分11 敞开，使得上端部分113a及下端部分11 连接到内部空间Sin。推进主体114通过容器主体112的敞开的下端部分11 插入，且连接到喷射器120，使得推进主体114链接到(linked to)喷射器120的线性驱动，且被线性驱动以扩大或缩小容器主体112的内部空间Sin。换句话说，可将公开已知的注射器用作容器110。此处，由于容器主体112垂直于地面而设置着，所以容器主体112的两个敞开的端部被分成上端部分113a及下端部分 11北。将敞开的下端部分11 用作借以插入推进主体114的通道，且将敞开的上端部分 113a用作借以排放液晶L的通道。容器主体112可由透明玻璃或透明强化塑料形成，使得肉眼就可辨别液晶L的量。 在容器主体112中，内部空间Sin在纵向方向(ζ方向)上具有圆柱形形状，且末端部分 (即，推进主体114的插入到内部空间Sin中的上端部分)具有圆柱形形状，其外径r2与容器主体112的内径rl相同。在设置于容器主体112中的内部空间Sin的水平截面的形状从圆形形状改变成椭圆形或多边形形状的情况下，推进主体114的上端部分的水平截面的形状可相应地改变为椭圆形或多边形形状。此外，虽然未说明，但推进主体114的上端部分的外部圆周表面可涂布或附着着泄漏保护物(leakage protector)，其经配置以防止“液晶 L通过推进主体114而泄漏”。同时，由于推进主体114的下端部分直接连接到喷射器120， 所以推进主体114的线性驱动的位移值ΔΧ与喷射器120的线性驱动的位移值ΔΧ相同。 (稍后更详细地描述每一线性驱动的位移值Δχ。)容器主体112的内径rl可经调整，使得液晶L的排放量依据推进主体114的线性驱动的位移值ΔΧ而不同。举例来说，当容器主体112的内径rl分别改变为约4. 8mm、 6. Omm及7. 28mm时，虽然位移值Δ χ未改变，但液晶L的排放量可增加到约1. OccU. 8cc及 2 · 5 c c ο经配置以排放容器110中容纳的液晶L且将液晶L供应给喷嘴组件130的喷射器 120设置于垂直板20的侧表面上，且在容器110的纵向方向(ζ方向)上被向上及向下线性驱动，以便调整该推进主体114插入到容器110中的程度。换句话说，在喷射器120被向上线性驱动且该推进主体114较大程度地插入的情况下，容器主体112的内部空间Sin减小， 且容纳于内部空间Sin中的液晶L通过容器主体112的敞开的上端部分113a而排放。在此情况下，由于排放的液晶L与容器主体112的内部空间Sin的减小量成比例，所以通过细微地调整喷射器120的位移值Δ χ，可精确地调整液晶L的排放量。在当前实施例中，喷射器120包含线性运动(linear motion,LM)导引件122，其与容器110的纵向方向(Z方向)平行地设置于容器110的一侧上；至少一个线性伺服马达 (linear servo motor) 124，其设置于经配置以被线性驱动的LM导引件122上；线性编码器 (linear encoder) 126，其在LM导引件122的设置方向(ζ方向)上设置于LM导引件122 的一侧上，且经配置以测量线性伺服马达1 的线性驱动的位移值Δ χ ；及驱动动力供应器 (driving power supplier) 128，其经配置以将驱动动力供应给线性伺服马达124。在当前实施例中，由于未使用被旋转驱动的旋转马达及滚珠丝杠，所以不会导致反冲，且可防止线性伺服马达124的驱动误差。换句话说，推进主体114是与LM导引件122上的线性伺服马达124的线性驱动的位移值ΔΧ成比例地被线性驱动。因此，通过增加液晶L的排放速度， 可增加晶体显示器L滴落到衬底10上的速度。(此处，液晶L的滴落速度是指每单位时间液晶L滴下的次数。)线性编码器126是经配置以测量线性伺服马达124的线性驱动距离的传感器媒介 (sensor medium)。在当前实施例中，当推进主体114通过容器主体112的敞开的下端部分11 插入时，线性编码器1 辨识该推进主体114的位置，以作为用于测量线性伺服马达1 的位移值ΔΧ的参考位置χ0。(此处，可调整该参考位置x0。)当线性伺服马达124 接收到驱动动力且被向上(在ζ方向上)线性驱动时，线性编码器1 辨识线性伺服马达 124在线性驱动之后的位置，以作为测量到的位置xl。此外，计算测量到的位置xl与参考位置x0之间的距离(Ixl-xO I)，以作为线性伺服马达124的线性驱动的位移值ΔΧ。在当前实施例中，线性编码器126可通过约0. Iym来测量该位移值ΔΧ。举例来说，在使用具有约4. 8mm的内径rl的容器110且线性伺服马达124的位移值Δχ由于线性驱动而变成约 30 μ m的情况下，从容器110排放约0. 5mg的液晶L。如上所述，通过依据线性伺服马达124的位移值Δ χ来改变液晶L的排放量，可通过以下方式将预定量的液晶L滴落到衬底10上在液晶层形成于衬底10上之前，基于线性编码器1 所辨识的位移值Δ χ来测量约十次到一百次液晶L的排放重量，且当液晶L的排放量的误差裕量(margin)在约士0. 2%以内时开始一种过程。当液晶L的排放重量超过误差裕量时，对线性伺服马达1 及线性编码器1 进行校正以用于重新调整。两个或两个以上线性伺服马达(包含线性伺服马达IM及线性伺服马达124') 可设置于LM导引件122上，且由安装板30集成(integrated)而形成。通过使用所述两个或两个以上线性伺服马达，即使当两个或两个以上线性伺服马达中的一者(例如，线性伺服马达124)出现故障时，也可由两个或两个以上线性伺服马达中的其余线性伺服马达中的一者(例如，线性伺服马达124')排放预定量的液晶L。线性伺服马达IM及推进主体114通过连接框架(connecting frame) 40而彼此直接连接，且推进主体114与线性伺服马达124的线性驱动的位移值ΔΧ成比例地在容器主体112中被线性驱动。换句话说，通过控制线性伺服马达124，可精确地控制该推进主体 114的线性驱动的位置。在垂直板20的侧表面上，经配置以供应驱动动力来驱动线性伺服马达IM的驱动动力供应器1 设置于LM导引件122的一侧上。在当前实施例中，使用线性磁力作为用以驱动线性伺服马达124的驱动动力。此处，线性磁力意味着在设置于LM导引件122上的线性伺服马达1 被向上及向下(在ζ方向上)线性驱动时无论线性伺服马达1 的位置如何改变，均在LM导引件122的纵向方向(ζ方向)上施加相同的磁力。如上所述，当容纳于容器110中的液晶L因喷射器120的驱动而排放时，液晶L通过连接到容器Iio的敞开的上端部分113a的材料排放管142而供应给喷嘴组件130。喷嘴组件130与垂直板20的下端部分耦合，且包含经配置以将所供应的液晶L向下滴落到单独设置衬底10上的喷嘴132。喷嘴132具有锥形(tapered)形状，其中喷嘴132的内径从上部向下部减小。可方便地更换与垂直板20耦合的喷嘴132，且可调整喷嘴的内径。通道开关阀140设置于材料排放管142的路径上。下文将参照包含液化材料滴落单元100的液化材料滴落设备1000而更详细地描述通道开关阀140。下文中，将参照附图详细描述包含根据上述实施例的液化材料滴落单元的液化材料滴落设备。此处，将省略与上述液化材料滴落单元重复的描述。参照图1到图5，根据示范性实施例的液化材料滴落设备1000包含接收单元 200，其经配置以接收衬底10;至少一个液化材料滴落单元100，其经配置以将液晶L滴落到衬底10上；移动单元300，其经配置以在水平方向(χ方向或y方向)及在垂直方向(ζ方向)上移动该接收单元200及液化材料滴落单元100中的至少一者；及控制单元400，其经配置以用链接(link)方式控制该接收单元200、液化材料滴落单元100及移动单元300的驱动。具体来说，所述液化材料滴落单元100包含容器110，其经配置以提供容纳液晶L 的内部空间Sin ；喷射器120，其经配置以在容器110的纵向方向(ζ方向)上被线性驱动， 以通过与喷射器120的位移值ΔΧ相对应地改变容器110的内部空间Sin的面积而从容器 110排放液晶L ；及喷嘴组件130，其经配置以接收从容器110排放的液晶L，且将液晶L滴落到衬底10上。接收单元200包含台(stage) 210，其经配置以在上表面上接收衬底10。台210可具有对应于衬底10的形状的形状。换句话说，在衬底10具有当前实施例中所描述的四边形形状的情况下，台210的上表面具有四边形形状。虽然本文中未说明，但台210可具有例如静电夹盘(electrostatic chuck)或真空固定装置等接收媒介，其经配置以稳定地接收衬底10。在使用真空固定装置作为接收媒介的情况下，可在台210的上部部分中形成连接到真空泵(vacuum pump)的多个孔。上面设置着液化材料滴落单元100的容器110、喷射器120及喷嘴组件130的垂直板20连接到衬底10上方的移动单元300。移动单元300 (其驱动受控制单元400的控制) 可通过以下方式来调整液化材料滴落单元100的喷嘴组件130与衬底10之间的距离在通过例如马达及轨道等媒介来固定的接收单元200上方在垂直方向(ζ方向)上移动液化材料滴落单元100 ；且可通过在水平方向(χ方向或y方向)上移动液化材料滴落单元100而在衬底10的前表面上形成液晶层。此外，在液化材料滴落单元100的位置固定的情况下， 移动单元300可通过在垂直方向(ζ方向)上移动经配置以接收衬底10的接收单元200来调整喷嘴组件130与衬底10之间的距离，且可通过在水平方向(χ方向y或方向)上移动该接收单元200而在衬底10的前表面上形成液晶层。此外，该移动单元300可通过在水平方向(χ方向或y方向)及垂直方向(ζ方向)上同时移动该接收单元200及液化材料滴落单元100而将液晶L顺畅地滴落到衬底10上。虽然本文中未描述，但该移动单元300可包含距离测量传感器，其经配置以通过光辐射来测量衬底10与喷嘴组件130之间的距离，且由该距离测量传感器测量的距离被传输到控制单元400。同时，可在液化材料滴落设备1000中使用多个液化材料滴落单元100，且所述多个液化材料滴落单元可经布置，使得多个液化材料滴落单元100在衬底10的宽度方向(N 方向，y方向)或广度方向(M方向，X方向)上在衬底10上方移动。(参看图5。)换句话说，在衬底10具有大面积的情况下，可使用图5中所述的多个液化材料滴落单元100，以便可在较短时期中形成液晶层。在容纳于容器Il0中且在衬底10上形成液晶层的液晶L已用完且容器110的内部空间Sin变空(empty)的情况下，当通过材料供应管144从连接到通道开关阀140的侧面的材料供应器150供应液晶L时，可再次用液晶L来填充容器110的内部空间Sin。在此情况下，通道开关阀140(其驱动受控制单元400的控制)阻断内部的材料排放管142的路径，且阻止液晶L泄漏出去到喷嘴组件130。(参看图3(a)和图3(b)，当容器110的内部空间Sin填满液晶L时，插入到容器主体112中的推进主体114下降。)当从材料供应器150 完全供应液晶L时，通道开关阀140(其驱动受控制单元400的控制)阻断材料供应管144 的路径，且重新打开材料排放管142的路径。在当前实施例中，可如上所述自动且方便地用液晶L来填充液化材料滴落单元100。因此，即使当用在容器100中一次性填充的量的液晶L可能不会在衬底10的前表面上形成液晶层(因为衬底10的面积较大)时，也可快速填充液晶L，且当制造液晶显示器时可提高生产效率。虽然本文中未描述，但控制单元400可包含例如监视器等显示装置，以便通过例如数值等媒介来检验液化材料滴落设备1000的操作，且可包含例如键盘或小键盘 (keypad)等输入装置，以便输入命令并手动地控制该控制单元400。如上所述，根据实施例的液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备可包含喷射器，其经配置以在容纳液晶的容器的纵向方向上被线性驱动，以与线性驱动的位移值成比例地改变容器的内部空间，且从容器排放预定量的液晶。因此，由于可精确地控制从容器供应给喷嘴且滴落到衬底上的液晶量，所以可防止因液晶滴落得不适当而导致的缺陷，且在制造液晶显示器时可提高生产效率。此外，可使用喷射器的驱动动力而无需转换成经配置以扩大或缩小容器的内部空间的驱动动力，原因在于容器的内部空间是直接链接到喷射器的线性驱动且由所述线性驱动来改变。因此，可从容器更快速地排放液晶，且可更快速地在衬底上形成液晶层，其中液晶通过喷嘴而滴落的速度得以增加。换句话说，在制造液晶显示器时可提高生产效率。虽然在所述实施例中使用液晶作为液化材料，但液化材料不限于液晶，且可包含任何可滴下的液化材料。根据实施例的液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备可包含喷射器，其经配置以在容纳液化材料的容器的纵向方向上被线性驱动，以与线性驱动的位移值成比例地改变容器的内部空间，且从容器排放预定量的液化材料。因此，由于可精确地控制从容器供应给喷嘴且滴落到衬底上的液化材料量，所以可防止因液化材料滴落得不适当而导致的缺陷，且在制造液晶显示器时可提高生产效率。此外，可使用喷射器的驱动动力而无需转换成用于扩大或缩小容器的内部空间的驱动动力，原因在于容器的内部空间是直接链接到喷射器的线性驱动且由所述线性驱动来改变。因此，可从容器更快速地排放液化材料，且可更快速地在衬底上形成液晶层，其中液晶通过喷嘴而滴落的速度得以增加。换句话说，在制造液晶显示器时可提高生产效率。
虽然已参照特定实施例描述了液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备，但其不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易明白，在不偏离由所附权利要求书界定的本发明的精神和范围的情况下，可对其进行各种修改和改变。
权利要求
1.一种液化材料滴落单元，其包括容器，其经配置以提供容纳液化材料的内部空间；喷射器，其经配置以在所述容器的纵向方向上被线性驱动，以通过与所述喷射器的位移值相对应地改变所述内部空间的面积而从所述容器排放所述液化材料；以及喷嘴组件，其经配置以接收从所述容器排放的所述液化材料，且将所述液化材料滴落到衬底上。
2.根据权利要求1所述的液化材料滴落单元，其特征在于材料排放管设置于所述容器与所述喷嘴组件之间，且所述材料排放管的路径包括通道开关阀。
3.根据权利要求1或2所述的液化材料滴落单元，其特征在于所述喷射器包括 线性运动导引件，其与所述容器的所述纵向方向平行地设置于所述容器的一侧上；至少一个线性伺服马达，其设置于将在所述容器的所述纵向方向上被线性驱动的所述线性运动导引件上；线性编码器，其在所述线性运动导引件的纵向方向上设置于所述线性运动导引件的一侧上，且经配置以测量所述线性伺服马达的线性驱动的位移值；以及驱动动力供应器，其经配置以将驱动动力供应给所述线性伺服马达。
4.根据权利要求3所述的液化材料滴落单元，其特征在于所述驱动力供应器供应线性磁力以作为所述驱动动力。
5.根据权利要求3所述的液化材料滴落单元，其特征在于所述容器包括容器主体，其经配置以提供容纳所述液化材料的所述内部空间，且包括上端部分及下端部分，所述上端部分及下端部分是敞开的，使得所述上端部分及下端部分连接到所述内部空间；以及推进主体，其通过所述容器主体的敞开的所述下端部分而插入，且连接到所述喷射器， 使得所述推进主体链接到所述喷射器的所述线性驱动，且被线性驱动以用于扩大或缩小所述内部空间。
6.一种液化材料滴落设备，其包括 接收单元，其经配置以接收衬底；至少一个液化材料滴落单元，其经配置以将液化材料滴落到所述衬底上； 移动单元，其经配置以水平地并垂直地移动所述接收单元及所述液化材料滴落单元中的至少一者；以及控制单元，其经配置以控制所述接收单元、所述液化材料滴落单元及所述移动单元的驱动，其特征在于所述液化材料滴落单元包括容器，其经配置以提供容纳所述液化材料的内部空间；喷射器，其经配置以在所述容器的纵向方向上被线性驱动，以通过与所述喷射器的位移值相对应地改变所述内部空间的面积而从所述容器排放所述液化材料；以及喷嘴组件，其经配置以接收从所述容器排放的所述液化材料，且将所述液化材料滴落到所述衬底上。
7.根据权利要求6所述的液化材料滴落设备，其特征在于包括通道开关阀的材料排放管将所述容器连接到所述喷嘴组件，且材料供应器通过材料供应管而连接到所述通道开关阀的一侧。
8.根据权利要求6所述的液化材料滴落设备，其特征在于所述至少一个液化材料滴落单元经布置以使得所述单元在所述衬底的宽度方向或广度方向上在所述衬底上方移动。
9.根据权利要求6到8中任一权利要求所述的液化材料滴落设备，其特征在于所述喷射器包括线性运动导引件，其与所述容器的所述纵向方向平行地设置于所述容器的一侧上； 至少一个线性伺服马达，其设置于将在所述容器的所述纵向方向上被线性驱动的所述线性运动导引件上；线性编码器，其在所述线性运动导引件的纵向方向上设置于所述线性运动导引件的一侧上，且经配置以测量所述线性伺服马达的线性驱动的位移值；以及驱动动力供应器，其经配置以将驱动动力供应给所述线性伺服马达。
全文摘要
本发明提供一种液化材料滴落单元及具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备。明确地说，所提供的是一种可将预定量的液化材料快速滴落到衬底上的液化材料滴落单元，以及一种具有所述液化材料滴落单元的液化材料滴落设备。所述液化材料滴落单元包含容器，其经配置以提供可容纳液化材料的内部空间；喷射器，其经配置以在容器的纵向方向上被线性驱动，以通过与喷射器的位移值相对应地改变内部空间的面积而从容器排放液化材料；及喷嘴组件，其经配置以接收从容器排放的液化材料，且将液化材料滴落到衬底上。
文档编号G02F1/1341GK102279489SQ20111015713
公开日2011年12月14日 申请日期2011年6月13日 优先权日2010年6月14日
发明者崔仁圭, 李龙, 金奎完 申请人:Ap系统股份有限公司