母版检测清洁装置制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种母版检测清洁装置，包括：母版夹持装置、检测装置和清洁装置。其中，母版夹持装置可移动地设置在母版检测清洁装置上；检测装置设置在母版夹持装置的一侧，用于检测待清洁母版的清洁度；清洁装置设置在检测装置的下游侧。本发明的母版检测清洁装置，通过检测装置检测母版的是否存在异物，并利用清洁装置对母版上的异物进行清洁，有效地防止了母版上的异物发生漏检的现象，确保母版上无异物的存在，杜绝了在生产过程中的由异物污染造成的产品上的公共缺陷。
【专利说明】母版检测清洁装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及清洁【技术领域】，具体而言，涉及一种母版检测清洁装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术中，三电极表面放电型PDP结构，主要有前后玻璃基板组成，在前后玻璃基板上分别制作有透明(Ι--)电极、汇流(Bus)电极、寻址(Add)电极、障壁(Rib)图形等线条图形，由于图形的精细度及高分辨率的要求，这些图形的制作，在工艺上采用主流的光刻方法进行。光刻时使用大面积曝光用曝光设备，曝光设备所使用的母版尺寸长度一般超过2m，宽度超过lm，用这么大尺寸的母版作为掩膜版，复制母版上的图形。母版的洁净程度对曝光结果有着重要的影响，如果母版上有异物存在则遮挡住曝光机光源部分过来的紫外(UV)光，使母版上的图形不能很好的复制到玻璃基板上，极易在玻璃基板形成断路，使产品的线条出现缺陷。而且在生产中也会造成批次不良，直接影响后工序的生产。而在现有技术中，母版清洁完毕后主要是靠人眼检查母版上有无异物落上，人眼检查容易漏检，较小的异物由于人眼分辨率有限不能很好的发现，而且由于人员的接近造成母版二次污染，有可能带来新的异物污染，最终还是影响曝光结果。
[0003]如果能在母版进入曝光机曝光位置之前对母版图形进行检查并且对检查到的异物进行清理，这样可以防止母版上异物的漏检，使母版上没有异物存在，从而可以避免曝光后玻璃基板上线条图形的断线。断线的减少或者得到彻底解决可以有效地提高产品的一次通过率，在提高生产线的产量的同时，也降低了产品的生产成本。
【发明内容】
[0004]本发明旨在提供一种母版检测清洁装置，以解决现有技术中母版上有异物存留的问题。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供了一种母版检测清洁装置，包括:可移动的母版夹持装置；检测装置，设置在母版夹持装置的一侧，用于检测待清洁母版的清洁度；清洁装置，设置在检测装置的下游侧。
[0006]进一步地，母版夹持装置为夹具，具有用于夹持母版的两个相对的边沿处的夹持部。
[0007]进一步地，检测装置包括:摄像头，为形成一排的多个，多个摄像头至少覆盖母版的宽度范围；图像处理装置，与摄像头连接，用于发出清洁指令。
[0008]进一步地，清洁装置包括:用于清洁母版的第一清洁装置和用于清洁第一清洁装置的第二清洁装置。
[0009]进一步地，第一清洁装置包括:位于上方的第一粘性滚轮和位于下方的第二粘性滚轮，第一粘性滚轮与二粘性滚轮可转动地设置在母版的两侧。
[0010]进一步地，第一装置清洁母版的同时，第二清洁装置对第一清洁装置进行清洁。
[0011]进一步地，第二清洁装置包括:第一粘性带和第二粘性带，第一粘性带与第二粘性带均具有用于清洁第一清洁装置的粘性面。
[0012]在本发明的技术方案中，母版检测清洁装置包括:母版夹持装置、检测装置和清洁装置。其中，母版夹持装置可移动地设置在母版检测清洁装置上；检测装置设置在母版夹持装置的一侧，用于检测待清洁母版的清洁度；清洁装置设置在检测装置的下游侧。本发明的母版检测清洁装置，通过检测装置检测母版的是否存在异物，并利用清洁装置对母版上的异物进行清洁，有效地防止了母版上的异物发生漏检的现象，确保母版上无异物的存在，杜绝了在生产过程中的由异物污染造成的产品上的公共缺陷。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0014]图1示出了根据本发明的母版检测清洁装置的实施例的检测装置的示意图；以及
[0015]图2示出了图1的母版检测清洁装置的清洁装置的示意图。
【具体实施方式】
[0016]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
[0017]图1示出了根据本发明的母版检测清洁装置的实施例的检测装置的示意图，图2示出了图1的母版检测清洁装置的清洁装置的示意图。结合参见图1至图2，从图中可以看出，本实施例中的母版10清洁装置包括:母版夹持装置、检测装置20和清洁装置。其中，母版夹持装置可移动地设置在母版检测清洁装置上；检测装置20设置在母版夹持装置的一侧，用于检测待清洁母版10的清洁度；清洁装置设置在检测装置20的下游侧。本实施例的母版检测清洁装置，通过检测装置20检测母版10的是否存在异物，并利用清洁装置对母版10上的异物进行清洁，有效地防止了母版10上的异物发生漏检的现象，确保母版10上无异物的存在，杜绝了在生产过程中的由异物污染造成的产品上的公共缺陷。
[0018]在本实施例的母版检测清洁装置中，母版夹持装置可以为夹持在母版10的两个相对的边沿处的夹具。检测装置20具体为摄像头，摄像头可以为多个，并至少在母版10的宽度方向上覆盖母版10，已将母版10上的图形区域纳入检测装置20的检测范围，确保摄像头的分布包容母版10上的图形有效区。优选地，摄像头应在母版检测清洁装置上固定设置。并位于能够防止振动的安装位置，以防摄像头的抖动影响图像的拍摄质量。
[0019]在母版10清洁度的检测过程中，母版夹持装置夹持母版10通过检测装置20，检测装置20将拍摄到的图像传输到与检测装置20相连的图像处理装置，并经图像处理装置对得到的图像进行分析，可以采用一些常规软件进行辅助分析，找出规律性不同的地方，并记录下规律性不同的地方的坐标点。待检测结束后，图像处理装置将记录的坐标点反馈至屏幕上，并由操作人员确认坐标点处是否为异物存在处，当操作人员发现异物后，向母版检测清洁装置发出清洁指令，使母版检测清洁装置进入自动清洁阶段。
[0020]本实施例中的清洁装置包括第一清洁装置和第二清洁装置，其中，第一清洁装置用于清洁母版10，第二清洁装置用于对清洁第一清洁装置。
[0021]如图2所示，在本实施例中，第一清洁装置包括位于上方的第一粘性滚轮31和位于下方的第二粘性滚轮32，第一粘性滚轮31和第二粘性滚轮32分别可转动的设置在母版10的两侧，当母版10沿箭头方向经过第一粘性滚轮31和第二粘性滚轮32之间的缝隙时，利用第一粘性滚轮31和第二粘性滚轮32的粘性对母版10上下两个表面的义务进行粘除，清除母版10上的异物。
[0022]第二清洁装置的设置是为了防止异物转移到母版的其他位置，第二清洁装置在第一清洁装置对母版10进行清洁的同时对第一清洁装置进行清洁，确保第一清洁装置在对母版10清除异物的过程中一直处在清洁的状态，确保了母版检测清洁装置的清洁质量。具体地，本实施例中的第二清洁装置包括与第一粘性滚轮31接触的第一粘性带和与第二粘性滚轮32接触的第二粘性带，第一粘性带位于第一粘性滚轮31的外侧，第二粘性带位于第二粘性滚轮32的外侧，第一粘性带和第二粘性带与第一清洁装置接触的一侧设置有粘性面，第二清洁装置通过粘性面将第一清洁装置上的异物进行粘除。
[0023]本实施例中的母版检测清洁装置可对母版10进行有效的清洁，保证玻璃基板在曝光时有干净的母版10，能很好的把母版10上的线条图形到复制到玻璃基板上，完成产品的曝光等后续工序。这样处理过的母版10不会因为有异物污染而造成公共缺陷，可以避免批次的断线和短路。进而避免了形成断线而进行修复，可以提高生产的良品率，降低生产成本。
[0024]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种母版检测清洁装置，其特征在于，包括: 可移动的母版夹持装置； 检测装置(20)，设置在所述母版夹持装置的一侧，用于检测待清洁母版(10)的清洁度； 清洁装置，设置在所述检测装置(20)的下游侧。
2.根据权利要求1所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述母版夹持装置为夹具，具有用于夹持所述母版的两个相对的边沿处的夹持部。
3.根据权利要求1所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述检测装置(20)包括: 摄像头，为形成一排的多个，多个所述摄像头至少覆盖所述母版(10)的宽度范围； 图像处理装置，与所述摄像头连接，用于发出清洁指令。
4.根据权利要求1所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包括:用于清洁所述母版(10)的第一清洁装置和用于清洁所述第一清洁装置的第二清洁装置。
5.根据权利要求4所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述第一清洁装置包括: 位于上方的第一粘性滚轮(31)和位于下方的第二粘性滚轮(32)，所述第一粘性滚轮(31)与所述二粘性滚轮(32)可转动地设置在所述母版(10)的两侧。
6.根据权利要求5所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述第一装置清洁所述母版(10)的同时，所述第二清洁装置对所述第一清洁装置进行清洁。
7.根据权利要求6所述的母版检测清洁装置，其特征在于，所述第二清洁装置包括:第一粘性带和第二粘性带，所述第一粘性带与所述第二粘性带均具有用于清洁所述第一清洁装置的粘性面。
【文档编号】G03F1/82GK103792786SQ201110459661
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2011年12月31日 优先权日:2011年12月31日
【发明者】田玉民, 罗向辉 申请人:四川虹欧显示器件有限公司