专利名称：感光性糊剂、图案的形成方法和平面显示器面板用部件的制造方法
技术领域：
本发明涉及等离子体显示面板、场致发射显示器、荧光显示管等平面显示器用部件中使用的适合形成图案的感光性糊剂、使用该感光性糊剂的图案的形成方法、和平面显示器面板用部件的制造方法。
背景技术：
近年来，活跃地进行等离子体显示器、场致发射显示器、荧光显示管、液晶显示装置、有机电致发光显示器、发光二极管显示器等平面显示器的开发。其中，等离子体显示器是通过如下方式进行显示的，所述方式是使在前面玻璃基板与背面玻璃基板之间具有的放电空间内对置的阳极电极与阴极电极之间产生等离子体放电，并使由封入到上述放电空间内的气体产生的紫外线照射设于放电空间内的荧光体，使其发光。此外，场致发射显示器是通过使场致发射得到的电子照射荧光体来进行显示的。等离子体显示器、荧光显示管等气体放电类型的显示器需要用于隔开放电空间的绝缘性隔壁。此外，场致发射显示器需要用于将栅极电极和阴极隔绝的绝缘性隔壁。此外，报道有场致发射显示器、特别是表面传导型电子发射元件显示器通过在面板侧设置隔壁而能够抑制发光的混色。这些等离子体显示面板、场致发射显示器等的绝缘性隔壁的形成需要能够以高精度对玻璃粉末等无机材料进行图案加工的材料和加工方法。作为进行这种无机材料的微细图案加工的方法，提出了采用感光性糊剂法形成图案的方法(例如专利文献I 3)。为了显示器的高清晰化，希望这些显示器用隔壁的顶部宽度窄。然而，感光性糊剂涂布膜存在如下问题，即，由于分散含有大量的无机微粒而难以避免曝光光的散射，特别是容易发生由于表面附近的光散射引起的顶部宽度的宽大。为了解决该问题，提出了如下方案，即，通过添加波长365nm处的吸光系数大于波长405nm处的吸光系数和波长436nm处的吸光系数的紫外线吸收剂而能够形成顶部宽度窄的隔壁(专利文献4)。 现有技术文献
专利文献
专利文献I: 日本特许第3249576号公报(权利要求 O
专利文献2: 日本特许第3239759号公报(权利要求 O
专利文献3: 日本特许第3402070号公报(权利要求 O
专利文献4: 日本特开2008 --- 224940号公报
发明内容
然而，专利文献4中记载的紫外线吸收剂存在如下问题，S卩，在低温下保存感光性 糊剂时会部分作为结晶析出，该结晶成为曝光光的散射源，因而在采用感光性糊剂法的图案形成中容易产生缺陷，而且该结晶在煅烧ェ序被除去而在除去后残留空间，因此隔壁产
3生缺损、空洞。因此，本发明的课题是提供ー种感光性糊剂，其是含有可有效形成顶部宽度窄的隔壁的紫外线吸收剂的感光性糊剂，即使在低温下保管糊剂，该紫外线吸收剂也不会析出。为了解决上述问题，本发明具有以下构成。即，通过以含有包含低软化点玻璃粉末的无机成分、感光性有机成分、具有下述通式(I)所示结构的化合物、光聚合引发剂和溶剂为特征的感光性糊剂来达成。
权利要求
1.ー种感光性糊剂，其特征在于，含有包含低软化点玻璃粉末的无机成分、感光性有机成分、具有下述通式(I)所示结构的化合物、光聚合引发剂和溶剂，
2.如权利要求I所述的感光性糊剂，其特征在于，所述溶剂的溶解度參数为18 30MPa1/2的范围内。
3.如权利要求I或2所述的感光性糊剂，其特征在于，所述具有通式(I)所示结构的化合物是2 - (2,4 一二羟基苯基)一 2H—苯并三唑。
4.如权利要求I 3中任一项所述的感光性糊剂，其特征在于，所述溶剂是Y—丁内酷。
5.如权利要求I 4中任一项所述的感光性糊剂，其特征在于，所述光聚合引发剂是2 一节基ー 2 —二甲氨基ー I 一(4 ー吗啉代苯基)—I 一丁酮。
6.—种图案形成方法,其特征在于,在基板上涂布权利要求I 5中任一项所述的感光性糊剂，并进行曝光、显影、煅烧。
7.ー种平面显示器面板用部件的制造方法，其特征在于，包括使用权利要求6所述的图案形成方法来形成隔壁的ェ序。
全文摘要
本发明提供一种感光性糊剂，其是含有可有效形成顶部宽度窄的隔壁的紫外线吸收剂的感光性糊剂，即使在低温下保管糊剂，该紫外线吸收剂也不会析出。所述感光性糊剂的特征在于，含有包含低软化点玻璃粉末的无机成分、感光性有机成分、具有下述通式(1)所示结构的化合物、光聚合引发剂和溶剂。式中，R1～R4各自为氢原子、碳原子数1～10的烷基或烷氧基、羟基中的任一种，且至少1个是羟基。此外，R5～R8各自为氢原子、碳原子数1～10的烷基、卤素原子中的任一种。
文档编号G03F7/031GK102918459SQ20118002670
公开日2013年2月6日 申请日期2011年3月17日 优先权日2010年8月27日
发明者谷野贵广, 井口雄一朗, 山本洋平 申请人:东丽株式会社