专利名称：一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜slm曝光的数据处理方法
技术领域：
本发明涉及倾斜式无掩膜直写光刻技术领域，具体为一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法。
背景技术：
光刻数据处理，是以⑶SII、OASIS、GERBER等格式的文件为输入数据，通过一系列处理，输出光刻设备可以直接曝光使用的数据的过程。空间光调制器(SLM)，可以接收光刻设备数据处理模块处理后的图像数据，生成曝光图像，通过光学系统反射到处于运动平台上的待加工面上。
通过对SLM进行倾斜方式的安装，可以在曝光过程中获得更高的网格精度。本专利所述的数据处理方法，可以产生特殊格式的曝光数据，满足倾斜后SLM对数据的高速读取的需求。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，能够有效提高扫描式无掩膜光刻机的曝光产能，提高曝光结果图形的网格精度。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为—种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法,其特征在于,包括以下步骤(I)输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计算机内存中，通过一定的计算和处理，为矢量数据建立便于处理的结构；(2)对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理，栅格化处理的单帧图像大小由空间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格精度和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾斜角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为Θ，倾斜角度Θ的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的网格精度之比，由公式
N 二 0/(如的-1可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值；(3)通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数据中按行读取数据并进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据，因为硬件处理数据时按行顺序读取才可以实现最高速率。所述步骤(I)中，保存在计算机内存中的矢量数据的结构包括有分层、分单元、互相引用。本发明的优点是本发明使得矢量数据在倾斜SLM的曝光条件下转化成可以供快速读取的特殊栅格数据，实现更快的曝光速度和更高的曝光图形分辨率。
图I为SLM倾斜方式示意图。图2为矢量图形数据存储结构示意图。图3为待曝光的尚未进行重组的栅格数据示意图。图4为栅格数据重组示意图。图5为图4中所示的被取出行数据在SLM上的排布方式示意图。
具体实施方式
如图I所示，SLM倾斜一个预先设计的角度Θ，该角度Θ由系统所要实现的网格
精度来确定，根据公式N = -v/l/(sini ):-l可以由该倾斜角度计算出一个整数N，假设N计算
得到的值为4。在图I中I是没有倾斜前的SLM，2是倾斜后的SLM，3是倾斜的角度，该图中设SLM只有四行显示单元。对于计算机内存中按图2格式存储的图形数据，因为是分区域存储，所以能以较快的速度取出其中一块，然后进行栅格化处理，栅格化的精度由系统所要实现的网格精度来确定，栅格化处理后的结果如图3所示。对栅格化后的数据，因为N取值为4，所以按每4列为一个周期进行编号。图4是对图3的栅格数据进行重组后得到的结果。数据重组的过程是首先按照系统设定的N值为周期，给每一列的栅格数据按照图3的方式进行编号。将编号后的每一列数据按照图4所示的方式进行重新组合，得到新的数据。曝光时，曝光平台按照扫描方向5进行匀速扫描运动，每运动一个网格精度的距离后，给SLM发出一个信号，SLM得到信号后，从图4所示的组合后的数据中依次取出一行数据4，按照图5所示的方式显示到SLM上，同时曝光到平台上的光敏感的介质上。
权利要求
1.一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法,其特征在于,包括以下步骤 (1)输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计算机内存中，通过一定的计算和处理，为矢量数据建立结构； (2)对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理，栅格化处理的单帧图像大小由空间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格精度和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾斜角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为Θ，倾斜角度Θ的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的网格精度之比，由公式iV = ^/(sin内-1可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值； (3)通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数据中按行读取数据并进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据。
2.根据权利要求I所述的一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于所述步骤(I)中，保存在计算机内存中的矢量数据的结构包括有分层、分单元、互相引用。
全文摘要
本发明公开了一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，包括对矢量数据的存储、栅格化处理、对数据进行重新组合、扫描曝光时按指定规则读取组合后的数据进行曝光。本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的曝光分辨率，在同样的SLM物理网格精度下成倍的提高曝光精度。
文档编号G03F7/20GK102914949SQ20121034517
公开日2013年2月6日 申请日期2012年9月17日 优先权日2012年9月17日
发明者张爱明, 李显杰, 陈勇, 陈修涛 申请人:天津芯硕精密机械有限公司