电光调制器的制造方法
【专利摘要】本发明提供一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个条状的地电极、一个条状的第一调制电极及一个条状的第二调制电极。该基底包括一个顶面。该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波的第一分支及一个仅用于传输横磁波的第二分支。该地电极、该第一调制电极及该第二调制电极设置于该顶面上，该地电极及该第一调制电极分别设置于该第一分支两侧且该地电极覆盖该第二分支，该第二调制电极平行设置于该第二分支与该第一分支相背一侧。如此，可通过该对第一电极及第二电极分别对横电波及横磁波进行调制，加载、传输信息，同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。
【专利说明】电光调制器
【技术领域】
[0001]本发明涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。
【背景技术】
[0002]现有的一种电光调制器(马赫-曾德尔(Mach-Zehner)电光调制器)利用电光效应通过调制电场改变Y型光波导的两个分支之一的折射率，从而改变在其中传输的光束的相位，使之与Y型光波导另外一个分支中传输的光束存在相位差。如此，Y型光波导两个分支中传输的光束重新汇聚后将发生干涉，输出功率取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。然而，随着信息技术的高速发展，信息传输速率(带宽)已经成为技术发展主要考虑的方向。目前的电光调制器的信息传输速率有待提高。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，有必要提供一种可提高信息传输速率的电光调制器。
[0004]一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个条状的地电极、一个条状的第一调制电极及一个条状的第二调制电极。该基底包括一个顶面。该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波(transverse electricwave)的第一分支及一个仅用于传输横磁波(transverse magnetic wave)的第二分支。该地电极、该第一调制 电极及该第二调制电极设置于该顶面上，该地电极及该第一调制电极分别设置于该第一分支两侧且该地电极覆盖该第二分支，该第二调制电极平行设置于该第二分支与该第一分支相背一侧。
[0005]如此，可通过该第一调制电极与该地电极配合对横电波进行调制，加载、传输信息，还可以通过该第二调制电极与该地电极配合对横磁波进行调制，加载、传输信息，也即是同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明较佳实施方式的电光调制器的立体示意图。
[0007]图2为图1的电光调制器沿线I1-1I的剖面示意图。
[0008]主要元件符号说明
电光调制器 I ?ο
基底TTo
顶面TTT
Y型光波导 120
第一分支
第二分支 122
入射段123
出射段_124
地电极_131
第一调制电极^@
第二调制电极 1133缓冲层1140
如下【具体实施方式】将结合上述附图进一步说明本发明。
【具体实施方式】
[0009]请参阅图1及图2，本发明较佳实施方式的电光调制器10，其包括一个基底110、一个Y型光波导120、一个条状的地电极131、一个条状的第一调制电极132及一个条状的第二调制电极133。该基底110包括一个顶面111。该对Y型光波导120自该顶面111向该基底110内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波(transverse electric wave)的第一分支121及一个仅用于传输横磁波(transverse magnetic wave)的第二分支122。该地电极131、该第一调制电极132及该第二调制电极133设置于该顶面111上，该地电极131及该第一调制电极132分别设置于该第一分支121两侧且该地电极131覆盖该第二分支122，该第二调制电极133平行设置于该第二分支122与该第一分支121相背一侧。
[0010]如此，可通过该第一调制电极132与该地电极131配合对横电波进行调制，加载、传输信息，还可以通过该第二调制电极133与该地电极131配合对横磁波进行调制，加载、传输信息，也即是同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。
[0011]另外，由于该第一分支121及该第二分支122分别传输横电波及横磁波，因此相互间也不会发生串扰(cross talk)。
[0012]再者，该第一调制电极132及该第二调制电极133共用该地电极131，而非分别设立地电极与该第一调制电极132及该第二调制电极133配对，如此，可以简化工艺。
[0013]由于铌酸锂(LiNbO3)晶体(LN)具有较高的反应速度，因此，该基底110的材料采用铌酸锂晶体，以提高该电光调制器10的带宽。
[0014]该Y型光波导120 —般还包括一个入射段123及一个出射段124。该第一分支121及该第二分支122从该入射段123分出，并重新汇聚入该出射段124。该入射段123及该出射段124通过在该基底上扩散金属钛(单质)而形成，能同时传输横电波及横磁波。而该第一分支121在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金，因此只能传输横电波，而该第二分支122在扩散金属钛后还扩散金属嫁(单质)，因此只能传输横磁波。
[0015]以该基底110的高度方向为X轴，宽度方向为y轴，该第一分支121及该第二分支122的长度方向(即光的传输方向)为z轴,根据平板光波导的波动方程分析,可知，横电波仅有沿I轴方向的电场分量Ey,而横磁波仅有沿X轴方向的电场分量Ex及沿z轴方向的电场分量Ez。而该第一调制电极132与该地电极131的设置，使得其极间电场Il与该第一分支121的交叠部分平行于I轴方向，因此可以有效调制横电波。该第二调制电极133与该地电极131的设置，使得其极间电场12与该第二分支122的交叠部分平行于X轴方向，因此，可以有效调制横磁波(电场分量Ex)。
[0016]优选地，为了防止光波被该地电极131、第一调制电极132及/或该第二调制电极133所吸收，可以在该基底110上先形成一层缓冲层140，再在该缓冲层140上形成该地电极131、第一调制电极132及该第二调制电极133。该缓冲层140采用二氧化硅制成。
[0017]总之，本【技术领域】的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
【权利要求】
1.一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一个条状的地电极、一个条状的第一调制电极及一个条状的第二调制电极；该基底包括一个顶面；该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波的第一分支及一个仅用于传输横磁波的第二分支；该地电极、该第一调制电极及该第二调制电极设置于该顶面上，该地电极及该第一调制电极分别设置于该第一分支两侧且该地电极覆盖该第二分支，该第二调制电极平行设置于该第二分支与该第一分支相背一侧。
2.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该基底的材料采用铌酸锂晶体。
3.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该Y型光波导一般还包括一个入射段及一个出射段；该第一分支及该第二分支从该入射段分出，并重新汇聚入该出射段。
4.如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该入射段及该出射段通过在该基底上扩散金属钛而形成。
5.如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该第一分支在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金而形成。
6.如权利要求3所述的电光调制器，其特征在于，该第二分支在扩散金属钛后还扩散金属嫁而形成。
7.如权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，该电光调制器还包括设置于该基底与该地电极、第一调制电极及该第二调制电极之间的缓冲层，用来防止光波被该地电极、第一调制电极或该第二调制电极所吸收。
8.如权利要求7所述的电光调制器，其特征在于，该缓冲层采用二氧化硅制成。
【文档编号】G02F1/035GK103852917SQ201210503130
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2012年11月30日 优先权日:2012年11月30日
【发明者】黄新舜 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司