专利名称：平面型光波回路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及与发光元件或受光元件一起集成而构成光收发机的平面型光波回路。
背景技术：
随着光通信技术的发展，光学部件的开发变得日益重要。特别是，光收发器的传输速度及反应速度的高速化在被研究，通信容量不断扩大。一般的收发机由用光半导体所制作的发光元件或受光元件和输出用或输入用的光纤构成，它们介由透镜而光耦合。例如，对于光接收器，从输入侧的光纤出射的光通过透镜而成像至受光元件，直接进行检波(强度检波)。转而关注光传输系统中的调制解调处理技术，使用相位调制方式的信号传输被广泛实用化。相移健控(PSK)方式是一种通过调制光的相位来传输信号的方式，通过调制的·多值化，与以往相比传输容量得以飞跃性的扩大。为了接收这样的PSK信号，需要对光的相位进行检波。受光元件能够对信号光的强度进行检波，但是无法对光的相位进行检波。因此，需要将光的相位变换为光强度的手段。关于此，有通过使用光的干涉对相位差进行检波等方法。通过使信号光与其他的光(参考光)相干涉并由受光元件对该干涉光的光强度进行检波，从而能够得到光的相位信息。有使用另外预备的光源来作为参考光的相干检波，以及使信号光自身的一部分偏离以作为参考波再使信号光与参考波相干涉的差动检波。这样，与只使用以往的强度调制方式的光接收机相比,近年来的PSK方式的光接收机需要通过光的干涉来将相位信息变换为强度信息的光干涉回路。这样的光干涉回路能够使用平面型光波回路来实现。平面型光波回路具有高量产、低成本以及高信赖方面的优点，能够实现各种各样的光干涉回路。作为用于PSK方式的光接收机的光干涉回路，光迟延干涉回路、90度混合回路等被实现并实用化。这样的平面型光波回路是通过标准的成像法、蚀刻技术以及FHD(Flame Hydrolysis Deposition,即火焰水解沉积)等玻璃沉积技术来制作的。概观具体的制造工艺，最初使以石英玻璃等为主原料的下包层和比包层具有更高折射率的芯层沉积至硅(Si)等基底上。之后，在芯层形成各种各样的波导模式，最后通过上包层将由芯层形成的波导埋藏。通过这样的工艺来制作成波导型的光功能回路。信号光被封闭在经上述工艺制作出的波导内，在传播平面型光波回路内部传送。图I示出了以往的平面型光波回路与光接收器的光连接方法。转而关注PSK方式光接收机中的平面型光波回路与光接收器的光连接方法，这些基本的连接方法试图I所示那样的单纯的光纤连接。将输入输出端连接了光纤3a、3b的平面型光波回路I与具有输入光纤3b的光接收器2通过用光纤相连而进行光耦合。用于光耦合的光纤的根数由从平面型光波回路输出的输出光的数量决定，有时为多根。然而，使用了这样的光纤连接的光接收机的构成存在尺寸变大的问题。关于此，通过将平面型光波回路的输出与光接收器的输入使用透镜直接光耦合，将全体集成至一个封装，从而能够力图小型化。将这样的平面型光波回路与光接收器直接光耦合的形态的光接收器称作集成型光接收机。为了实现集成型光接收器，平面型光波回路的固定方法变得特别重要。当使从平面型光波回路输出的光在空间中传送并通过透镜等光耦合于受光元件时，若光的出射端、透镜、受光元件的位置关系发生变化，则通过受光元件不再能接收所有的光，造成损失。特别是当容纳光接收机的封装的温度、环境温度、各个元件温度等发生变化时，热膨胀的影响引起它们的位置变动，所以这样的问题变得显著。因此，为了实现低损失的光耦合，需要使得各个位置关系即使在环境温度等发生变化时也至少相对不变动。 特别是平面型光波回路，对于环境温度，热膨胀引起的形状变化与受光元件等相比非常大。此外，平面型光波回路在光接收器中所占的面积，比受光元件大数倍至数十倍，热膨胀引起的形状变化也大数倍至数十倍。另外，构成平面型光波回路的基底与所沉积的薄膜玻璃，由于具有较大的热膨胀系数差，所以温度变化会引发较大程度的翘曲。因此，相对于受光元件、来自平面型光波回路的出射光的位置变化以及出射角度变化成为不容忽视的问题。这两个变化引起来自平面型光波回路的出射光的位置或角度发生变化，发生光轴偏差。光轴偏差使得与受光元件的光耦合劣化，发生损失。对于集成型光接收机的实现，消除这样的光轴偏差或者使这样的光轴偏差无害化很重要。图2示出了以往的集成型光接收器的内部构造。为了使得如上述那样的由温度变化引起的光轴偏差不发生而将平面型光波回路的底面几乎整面牢牢固定的方法是周知的。图2所示的集成型光接收器中，作为光功能回路形成了光干涉回路的平面型光波回路13、透镜14以及受光元件15分别以固定用座架12a、12b以及12c作为支撑构件而被固定至基础基底11。光纤16与平面型光波回路13介由光纤固定部件17而连接。在集成型光接收机中，从光纤16输出的光在平面型光波回路13中干涉后，通过透镜14耦合至受光元件15。固定用座架12a与平面型光波回路13通过粘合剂18或焊锡进行固定。通过将平面型光波回路13的底面几乎整面牢牢固定至固定用座架，从而抑制由温度引起的膨胀或翘曲变化。另外，通过将透镜14、受光元件15也固定至固定用座架，从而使得由温度变化引起的光轴偏差不发生。然而，对于图2所示的构成，虽然能够被大大抑制由温度变化引起的光轴偏差虽然，但另一方面，温度变化引起的平面型光波回路的特性变化变得显著。如上所述，平面型光波回路13，由于由具有很大热膨胀系数差的Si基底13a与石英玻璃层13b构成，所以温度变化引起的翘曲变化或热膨胀会很大。对于图2所示的构成，由于平面型光波回路13的底面被整面固定，所以热膨胀或翘曲变化得以抑制。另一方面，在此情况下，Si基底13a与石英玻璃层13b之间产生很大的热应力。应力通过光弹性效果，在石英玻璃层13b内部引起折射率变化。在平面型光波回路13内构成的光干涉回路，为了控制干涉特性，波导的长度和折射率被正确地调整。介由应力发生的折射率变化，带来等价回路长的变化，使干涉计的特性变化，因此使光干涉回路的特性劣化。对于此，若为了通过抑制热应力的产生来抑制光学特性的变化而使用弹性粘合齐U、膏状物等柔软的粘合剂或者固定用膏状物来作为粘合剂18(例如，参考日本专利申请JP特开2009-175364号专利公报)，则前述的光轴偏差的影响会变得显著，发生损失。
实用新型内容本实用新型要解决的问题本实用新型的目的在于提供在集成型光接收机或光发送机中能够同时抑制由温度变化引发的光轴偏差和光功能回路的特性劣化的平面型光波回路。用于解决上述课题的手段为了实现这样的目的，本实用新型提供一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于包括波导领域，与形成了来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面的一边相接而仅形成了光波导，仅在形成了所述波导领域的部分的所述基底的底面固定至保持所述平面型光波回路的固定用座架。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于进行固定使得形成了所述·出射端面的一边与所述固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于所述平面型光波回路与所述固定用座架介由中间固定用座架进行固定，所述中间固定用座架的热膨胀系数与所述基底的热膨胀系数相同，或者为比所述固定用座架的热膨胀系数更接近所述基底的热膨胀系数的值。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于进行固定使得形成了所述出射端面的一边与所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述中间固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于所述平面型光波回路与所述固定用座架介由中间固定用座架进行固定，所述中间固定用座架用与所述基底的材料相同的材料制作。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于进行固定使得形成了所述出射端面的一边与所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述中间固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于在形成了所述波导领域部分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。本实用新型提供一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或者至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面被固定至中间固定用座架，该中间固定用座架是使所述出射光或入射光透过的材料的中间固定用座架，所述中间固定用座架被固定至固定用座架。[0026]另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于在形成了所述波导领域部分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。本实用新型提供一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或者至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面被固定至中间固定用座架，在该中间固定用座架的一部分形成有由使所述出射光或入射光透过的材料制成窗或者使所述出射光或者入射光透过的缺口，所述中间固定用座架被固定至固定用座架。另外，在本实用新型的平面型光波回路中，其特征在于在形成了所述波导领域部 分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。实用新型的效果在如以上所说明的仅将平面型光波回路上的光回路中特别为了防止光轴偏差而必须强力固定的光输入输出用的波导领域固定至固定用座架的集成型光接收机或者光发送机中，能够同时抑制温度变化引发的光轴偏差和光功能回路的特性劣化。
图I是示出以往的平面型光波回路与光接收器的光连接方法的图；图2是示出以往的集成型光接收机的内部构造的图；图3是示出本实用新型的实施例I所涉及的集成型光接收器的内部构造的图；图4A是示出实施例I所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图4B是示出实施例I所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图4C是示出实施例I所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图4D是示出实施例I所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图5是示出本实用新型的实施例2所涉及的集成型光接收器的内部构造的图；图6A是示出实施例3所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图6B是示出实施例3所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图7A是示出实施例I和3中的平面型光波回路的应力解析结果的图，其中，7A —I 为热应力(2585°C)，7A — 2 为 vonMises (N/mnT2 (MP3))；图7B是示出实施例I和3中的平面型光波回路的应力解析结果的图，其中，7B —I 为等效应力(25°C— 85°C),7B — 2 为 vonMises (N/mnT2 (MP3))；图8A是示出实施例4所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图8B是示出实施例4所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图9A是示出实施例5所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图9B是示出实施例5所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图IOA是示出实施例6所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图IOB是示出实施例6所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图IOC是示出实施例6所涉及的平面型光波回路的固定方法的图；图11是示出本实用新型的实施例7所涉及的集成型光接收器的内部构造的图。
具体实施方式
[0051]以下，参照图面对本实用新型的实施方式进行详细说明。虽然在本实施方式中以集成型光接收机为例进行说明，但很显然例如将受光元件替换为发光元件、将出射光替换为入射光、将出射端面替换为入射端面，则也可以适用于光发送机。在本实施方式中，仅将平面型光波回路上的光回路中特别为了防止光轴偏差而必须强力固定的光输入输出用的波导领域固定至固定用座架。不将形成了易受应力影响的光干涉回路等光功能回路的领域固定至固定用座架。由此，即使温度变化引发变形或翘曲，光功能回路部分的应力的影响为最小即可，能够抑制光功能回路的特性劣化。另外，由于波导领域被固定至固定用座架，所以能够抑制温度变化引发的光轴偏差，作为光收发器，能够取得更大的针对温度变化的动作余地。
另外，若针对温度变化的动作余地变大，则由于对光收发机中设置的帕尔特元件等恒温装置的要求得到缓和，所以能够力图消减光收发机的成本以及降低消耗功率。(实施例I)图3示出了本实用新型的实施例I所涉及的集成型光接收机的内部构造。作为光功能回路形成了光干涉回路的平面型光波回路33、透镜34以及受光元件35，分别以固定用座架32a、32b以及32c作为支撑构件而被固定至基础基底31。光纤36与平面型光波回路33介由光纤固定组件37而连接。集成型光接收机中，从光纤36输入的光在平面型光波回路33里进行干涉等光信号处理后，通过透镜34耦合至受光元件35。在平面型光波回路33的Si基底33a上层积着形成了由芯层、包层构成的波导型光功能回路的石英玻璃层33b。图4A-4D示出了实施例I所涉及的平面型光波回路的固定方法。详细示出了图3所示的平面型光波回路33的固定方法。在平面型光波回路33的石英玻璃层33b中形成有，作为光功能回路形成了光干涉回路的领域33y，以及与形成了至透镜34的出射光得以出射的光波导的出射端面的一边相接而仅形成了光波导(未形成光干涉回路)的波导领域33x(参照图4D)。固定用座架32a如图4A、4B所示,从侧面看,呈倒L字形状或钩形，仅将平面型光波回路33上的光回路中的波导领域33x (参照图4D)通过粘合剂38进行固定。此时，平面型光波回路33的波导领域33x的下部的基底的底面与固定用座架32a的固定部分的上表面平行。另外，进行固定，使得形成了波导领域33x的出射端面的一边相比固定用座架32a的固定部分的一边，以粘合剂38的厚度的100倍左右的长度向外侧突出(在图4A-4C中向右方)。由此，由温度变化引起的平面型光波回路33的翘曲变化(参照图4A、4B)，不受由热膨胀引起的朝(相对于平面型光波回路33的回路平面)水平方向的位置变化，能够固定波导领域33x的出射端的位置。由于透镜34、受光元件35也被固定至固定用座架(参照图3)，所以不发生由温度变化引起的光轴偏差。平面型光波回路33的光干涉回路的领域33y不被固定至固定用座架32a，相对于固定用座架32a呈悬浮状态。即使温度变化引起平面型光波回路33产生翘曲，由于能够自由变化(参照图4A、4B)，不易受应力的影响。因安装而产生的应力或应力变化引起光波导的复折射变化。由于光干涉回路对复折射变化敏感，易受特性劣化，所以不将光干涉回路的领域33y固定至固定用座架32a，由此能够力图特性的稳定化。另一方面，虽然波导领域33x被固定至固定用座架32a，由平面型光波回路33的翘曲变化引起的应力的影响与固定了整面的情况相比较小，因此能够减小由复折射变化弓I起的特性劣化。[0060]固定用座架32a中未固定平面型光波回路33的部分(非固定部分)，为了使得即使由温度变化引起的平面型光波回路33的翘曲变化发生、平面型光波回路33与非固定部分的上表面也不接触，需要与固定部分之间加上高低差。这是因为当产生了翘曲变化时，若平面型光回路33与固定用座架32a接触，则产生至基底的应力，会导致特性劣化。当平面型光波回路33由Si基底和石英系玻璃材料制作时，非固定部分与固定部分的段差h(参照图4A)，需要设置为数百um左右。波导领域33x的出射端面与固定用座架32a的固定部分的侧面一致或者稍稍偏外侦仪在图4C中，平面型光波回路33 从固定用座架32a的固定部分的侧面向右方偏离)为优选。出射端面比固定部分的侧面偏内侧(在图4C中，平面型光波回路33从固定用座架32a的固定部分的侧面向左方偏离)，也能够产生同样的效果。但是，在此情况下，由于固定用的粘合剂38裹住出射端面的可能性会变高，所以需要加厚平面型光波回路33的基底厚度，或者极力涂薄粘合剂38使其不被挤出等等，安装会变得困难。另一方面，若使波导领域33x的出射端面相对于固定用座架32a的固定部分的侧面以粘合剂38的厚度(5 20um)的1000倍以上的长度向外侧突出，则当发生了由温度变化引起的平面型光波回路33的翘曲变化时，波导领域33x的出射端面的偏差对于光轴其大小无法忽视。因此，使出射端面相对于固定部分的侧面向外侧突出的长度，粘合后粘合剂38的标准挤出量，相对于粘合剂38的厚度大于等于O倍小于1000倍即可。大于等于10倍小于500倍，尤其能够不受翘曲的影响、确实力图防止粘合剂裹住出射端面。另外，虽然对平面型光波回路33由Si基底和石英系玻璃材料制成的情况进行了描述，但是均由半导体材料或者玻璃系材料构成亦可，由LiNbO3等的介电质材料等构成亦可。无论哪种情况，都能够抑制安装平面型光波回路时和制温度变化时的应力的影响。(实施例2)图5示出了本实用新型实施例2所涉及的集成型光接收机的内部构造。与实施例I的集成型光接收机的不同点在于平面型光波回路43。平面型光波回路43的波导领域的出射端面，是相对于平面型光波回路43的回路平面的垂直方向倾斜加工的。通过倾斜加工，能够抑制出射端面的反射。此时，波导领域的出射端面的下边与固定用座架32a的固定部分的侧面的位置关系，依照实施例I即可。(实施例3)图6A、6B示出了实施例3所涉及的平面型光波回路的固定方法。为了使得温度变化或者安装时特性不劣化，能够进一步限定平面型回路和固定用座架的固定部分。具体而言，如图6A所示，与图4A-4D所示的实施例I的固定用座架32a不同，使用限定了固定部分的形状的固定用座架52a。如图6B所示，把平面型光回路53的波导领域53x对应于固定用座架52a的固定部分的形状、限定在出射端面的一边的一部分，这样一来，不受由热膨胀引起的向水平方向的位置变化，能够固定波导领域53x的出射端的位置。由此，与实施例1、2相比，能够进一步抑制安装时的应力或温度变化所引起的应力变化。另外，波导领域53x的出射端面与固定用座架52a的固定部分的侧面的位置关系，依照实施例I即可。图7A、7B示出了实施例I和3中的平面型光波回路的应力解析结果。图7A是图4A-4D所示的实施例I的固定方法的解析结果，图7B是图6A、6B所示的实施例3的固定方法的解析结果。平面型光波回路33是边长22. 5mm的正方形，固定用座架32a的固定部分的大小是22. 5mmx3. Omm,非固定部分与固定部分的段差h=0. 1mm。平面型光波回路53也是边长22. 5mm的正方形，固定用座架52a的固定部分的大小是5. Ommx3. Omm,非固定部分与固定部分的段差h=0. 1mm。两者固定用座架都由柯伐合金(Kovar)制成，平面型光波回路在Imm厚的Si基底上沉积了 40um厚的石英玻璃层。图7A、7B示出了使环境温度从25度到85度变化时产生的至平面型光波回路的应力变化。如图7A的解析结果所示可知，通过把将平面型光波回路固定至固定用座架的部分限定在波导领域，应力的影响不到达光干涉回路的领域。此外，参照图7B可知，通过限定波导领域并限定固定部分，使得应力的影响会变小且局限于限定领域。由上所述，能够抑制安装平面型光波回路时、温度变化时的光干涉回路的特性变化。(实施例4)在实施例1-3中，将平面型光波回路直接固定至固定用座架。一般而言，固定用座架由金属构成。由于平面型光波回路的基底大多使用Si基底等，所以两者的热膨胀系数不 同。因此，环境温度发生变化时，由于各自膨胀或收缩的量不同，所以发生扭曲。实施例1-3在不易受扭曲影响的平面型光波回路的波导领域固定至固定用座架，而当需要进一步减少偏差时，如实施例4那样，介由不同于固定用座架的材料所制成的中间固定用座架，来固定平面型光波回路与固定用座架。图8A、8B示出了实施例4所涉及的平面型光波回路的固定方法。如图8A所示，平面型光波回路73介由中间固定用座架72d，被固定至固定用座架72。中间固定用座架72d的热膨胀系数，取相对于固定用座架72a的热膨胀系统更接近平面型光波回路73的基底(例如，Si基底)的热膨胀系数的值。此外，平面型光波回路73的基底的热膨胀系数与固定用座架72a的热膨胀系数的中间的值、或者与平面型光波回路73的基底的热膨胀系数相同的值为优选。若将中间固定用座架72d的热膨胀系数的值设为中间的值，则固定用座架72a和平面型光波回路73产生的扭曲将分别变少。另一方面，若以防止平面型光波回路73的光干涉回路的特性劣化为优先，则为了极力避免向光干涉回路侧的扭曲，用具有与平面型光波回路73的基底相同的热膨胀系数的材料来形成中间固定用座架72d。典型地，中间固定用座架72d与平面型光波回路73的基底用同样的材料制作。由此，能够防止由温度变化引起的光轴偏差或安装时的光干涉回路的特性劣化。如上所述，为了抑制平面型光波回路的波导领域的出射端面的反射，也可以如图8B所示那样将倾斜加工了出射端面的平面型光波回路83固定至中间固定用座架72d。平面型光波回路73、83的波导领域的出射端面与中间固定用座架72d的侧面一致或者稍稍偏外侧(在图8A、8B中，平面型光波回路73、83从中间固定用座架72d的侧面向右方偏离)为优选。出射端面比中间固定用座架72d的侧面偏内侧(在图8A、8B中，平面型光波回路73、83从中间固定用座架72d的侧面向左方偏离)，也能够获得同样的效果。但是，在此情况下，由于固定用的粘合剂78a裹住出射端面的可能性变高，所以需要加厚平面型光波回路73、83的基底厚度，或者极力涂薄粘合剂78a使其不被挤出等，安装变得困难。另一方面，若使平面型光波回路73、83的波导领域的出射端面相对于中间固定用座架72d的固定部分的侧面、以粘合剂78a的厚度(5 20um)的1000倍以上的长度向外侧突出，则当再次发生了由温度变化引起平面型光波回路73、83的翘曲变化时，波导领域的出射端面的偏差对于光轴其大小无法忽视。因此，使出射端面相对于固定部分的侧面向外侧突出的长度，为粘合后粘合剂78a的标准挤出量对应的粘合剂78a的厚度的大于等于O倍小于1000倍即可。大于等于10倍小于500倍，尤其能够不受翘曲的影响、能够确实力图防止粘合剂裹住出射端面。(实施例5)图9A、9B示出了实施例5所涉及的平面型光波回路的固定方法。使实施例4所使用的中间固定用座架为透明材料，基于此，将平面型光波回路的波导领域的出射端面固定至中间固定用座架。如图9A所示，在固定用座架92a的上表面通过粘合剂98b将中间固定用座架92d固定。将平面型光波回路93的波导领域的出射端面通过粘合剂98a直接固定 至中间固定用座架92d的侧面。从平面型光波回路93出射的光透过中间固定用座架92d，率禹合于透镜和受光兀件。根据此方法，安装平面型光波回路时的应力最少，能够抑制平面型光波回路的特性劣化。另外，是由翘曲变化引起的光轴偏差也最少的构成。透明材料为在平面型光波回路的使用光波长附近没有吸收等损失的材料，石英等为优选。如上所述，为了抑制平面型光波回路的波导领域的出射端面的反射，还可以如图9B所示那样将倾斜加工了出射端面的平面型光波回路103固定至中间固定用座架92e。(实施例6)图10A-10C示出了实施例6所涉及的平面型光波回路的固定方法。在实施例4所使用的中间固定用座架的一部分形成了使出射光透过的透明材料制成的窗。将平面型光波回路的波导领域的出射端面对应于中间固定用座架的窗进行固定。在固定用座架92a的上表面，通过粘合剂98b将中间固定用座架92f进行固定。将平面型光波回路93的波导领域的出射端，通过粘合剂98a直接固定至中间固定用座架92f的侧面。从平面型光波回路93出射的光，透过中间固定用座架92f的窗99，耦合于透镜和受光元件。根据此方法，安装平面型光波回路时的应力最少，能够抑制平面型光波回路的特性劣化。另外，是翘曲变化引起的光轴偏差也最少的构成。透明材料为在平面型光波回路的使用光波长附近没有吸收等损失的材料，可使用石英等。另外，若能够固定平面型光波回路93和中间固定用座架92f，则采用中空结构的窗99也可，在中间固定用座架92f的一面切割出缺口的空间中使光信号得以通过也可。另外，实施例6在中间固定用座架的一部分形成了窗，也可以将中间固定用座架替换为固定用座架的固定部分，使用在固定用座架的固定部分形成的窗。(实施例7)根据光干涉回路的种类，有时干涉计内需要移相器。一般而言，移相器通过在波导上部形成的加热器来实现。移相器的动作为，通过对波导进行局部加热来诱发折射率变化，使透过波导的光的相位移动。在将这样的移相器配置到光干涉回路的情况下，需要使产生的热量高效地发散到外部。原因是，如果产生的热量不能发散到平面型光波回路外部，则平面型光波回路自身的温度会上升过高，有超过耐热温度的危险。图11示出了本实用新型的实施例7所涉及的集成型光接收机的内部构造。平面型光波回路113、透镜114以及受光元件115分别以固定用座架112a、112b以及112c作为支撑部件而被固定至基础基底111。光纤116与平面型光波回路113介由光纤固定部件117连接。此外，在平面型光波回路113的光干涉回路的利用领域的底面的基底与固定用座架112a的非固定部分的上表面之间，配置热传导性高的膏状物119。由此，平面型光波回路113上产生的热量，介由热传导膏状物119和固定用座架112a向集成型光接收机的封装外部释放。另外，热传导膏状物119，其形状易变，跟随由环境温度变化引起的平面型光波回路113的翘曲变化，其形状发生变化。因此，能够减小至平面型光波回路113的多余的应力。虽然实施例6中使用了热传导膏状物，但只要热传导性高并且能够某种程度自由地改变本身的形状的膏状物、橡胶状或凝胶状的材料即可，不限于热传导膏状物。另外，如本实施例那样将热传导性高且某种程度能够自由地改变其形状的膏状物、橡胶状或凝胶状的材料作为用来使平面型光波回路的热量通过固定用座架发散到外部用的材料来使用的构成，也可以适用于其他实施例的构成。 (产业上利用的可能性)本实用新型能够用于光传输系统的光通信装置。尤其能够用于接收位相调制光信号的集成型接收机。
权利要求1.一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于包括 波导领域，与形成了来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面的一边相接而仅形成了光波导， 仅在形成了所述波导领域的部分的所述基底的底面固定至保持所述平面型光波回路的固定用座架。
2.如权利要求I所述的平面型光波回路，其特征在于 进行固定使得形成了所述出射端面的一边与所述固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。
3.如权利要求I所述的平面型光波回路，其特征在于 所述平面型光波回路与所述固定用座架介由中间固定用座架进行固定，所述中间固定用座架的热膨胀系数与所述基底的热膨胀系数相同，或者为比所述固定用座架的热膨胀系数更接近所述基底的热膨胀系数的值。
4.如权利要求3所述的平面型光波回路，其特征在于 进行固定使得形成了所述出射端面的一边与所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述中间固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。
5.如权利要求I所述的平面型光波回路，其特征在于 所述平面型光波回路与所述固定用座架介由中间固定用座架进行固定，所述中间固定用座架用与所述基底的材料相同的材料制作。
6.如权利要求5所述的平面型光波回路，其特征在于 进行固定使得形成了所述出射端面的一边与所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边一致，或者使得形成了所述出射端面的一边比所述中间固定用座架的固定所述平面型光波回路的部分的一边向外侧突出，突出长度小于将所述平面型光波回路固定至所述中间固定用座架所用粘结剂的层厚的1000倍。
7.如权利要求I所述的平面型光波回路，其特征在于 在形成了所述波导领域部分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。
8.一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于 来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或者至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面被固定至中间固定用座架， 该中间固定用座架是使所述出射光或入射光透过的材料的中间固定用座架，所述中间固定用座架被固定至固定用座架。
9.如权利要求8所述的平面型光波回路，其特征在于 在形成了所述波导领域部分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。
10.一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于 来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或者至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面被固定至中间固定用座架， 在该中间固定用座架的一部分形成有由使所述出射光或入射光透过的材料制成窗或者使所述出射光或者入射光透过的缺口，所述中间固定用座架被固定至固定用座架。
11.如权利要求10所述的平面型光波回路，其特征在于 在形成了所述波导领域部分以外的所述基底的底面，介由热传导性膏状物与所述固定用座架进行热耦合。
专利摘要本实用新型提供一种平面型光波回路，具有形成于基底上的波导型的光功能回路，所述平面型光波回路的特征在于包括波导领域，与形成了来自所述光功能回路的出射光得以出射的光波导的出射端面或至所述光功能回路的入射光得以入射的光波导的入射端面的一边相接而仅形成了光波导，仅在形成了所述波导领域的部分的所述基底的底面固定至保持所述平面型光波回路的固定用座架。本实用新型的一个目的在于提供在集成型光接收机或光发送机中能够同时抑制由温度变化引发的光轴偏差和光功能回路的特性劣化的平面型光波回路。
文档编号G02B6/12GK202693841SQ20122029978
公开日2013年1月23日 申请日期2012年6月21日 优先权日2011年6月22日
发明者那须悠介, 笠原亮一, 小川育生, 铃木贤哉, 海老泽文博 申请人:日本电信电话株式会社, Ntt电子股份有限公司