专利名称：一种热驱动mems微镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种热驱动MEMS微镜。
背景技术：
微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标。因此，微机电系统技术就应运而生，被广大制造商广泛应用，使用微机电系统技术制造的器件主要可分成两大类，其一就是单纯微型化传统器件，如微型光学平台，其优点集中体现在可以拓展微型化的系统的使用范围；其二使用革新原理制造出传统方法无法制作的器件，如地磁传感器。现有的热驱动MEMS微镜的驱动臂的热响应率低，且伴随着较高的热损耗，这样的缺点就使得MEMS微镜的驱动臂响应慢，并且驱动臂上产生的热功率很快会分别传导到微镜边框和镜面上，就带来了很大的热损耗，以至于不能有效地调节微镜的高度，且该热驱动MEMS微镜不适合高频应用。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够有效增强驱动臂上的热响应率，且能有效降低驱动臂上的热损耗的热驱动MEMS微镜。本实用新型为了解决上述技术问题采用以下技术方案:本实用新型设计了一种热驱动MEMS微镜，包括镜 面、驱动臂和微镜边框，还包括隔热连接件，所述驱动臂的两端分别通过隔热连接件与微镜边框、镜面相连接。作为本实用新型的一种优选技术方案:还包括导电走线，所述导电走线设置在所述驱动臂与微镜边框之间的隔热连接件上。作为本实用新型的一种优选技术方案:还包括设置在所述微镜边框上的金属导热块。作为本实用新型的一种优选技术方案:所述隔热连接件为SiO2材料。本实用新型所述一种热驱动MEMS微镜采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果:(I)本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过在驱动臂的两端设置隔热连接件，能够有效增强驱动臂上的热响应率，且能有效降低驱动臂上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率；(2)本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过设置在驱动臂与微镜边框之间的隔热连接件上的导电走线，可以方便地连接与控制驱动臂；(3)本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，在微镜边框上设置金属导热块，使得当该热驱动MEMS微镜降温时，也能有效快速的对其温度进行降温。
图1是本实用新型设计的热驱动MEMS微镜的结构示意图。[0014]其中，1.镜面，2.驱动臂，3.微镜边框，4.隔热连接件，5.金属导热块，6.导电走线。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的说明。如图1所示，本实用新型设计了一种热驱动MEMS微镜，包括镜面1、驱动臂2和微镜边框3，还包括隔热连接件4，所述驱动臂2的两端分别通过隔热连接件4与微镜边框3、镜面I相连接。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过在驱动臂2的两端设置隔热连接件4，能够有效增强驱动臂2上的热响应率，且能有效降低驱动臂2上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率。作为本实用新型的一种优选技术方案:还包括导电走线6，所述导电走线6设置在所述驱动臂2与微镜边框3之间的隔热连接件4上。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过设置在驱动臂2与微镜边框3之间的隔热连接件4上的导电走线6，可以方便地连接与控制驱动臂2。作为本实用新型的一种优选技术方案:还包括设置在所述微镜边框3上的金属导热块5。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，在微镜边框3上设置金属导热块5，使得当该热驱动MEMS微镜降温时，也能有效快速的对其温度进行降温。作为本实用新型的一种优选技术方案:所述隔热连接件4为SiO2材料。
现有的热驱动MEMS微镜中，驱动臂2热响应时，驱动臂2上产生的热功率很快会分别传导到微镜边框3和镜面I上，这样驱动臂2上的温度由中间向两边呈温度梯度，中间高，两端低，导致驱动臂2在靠近微镜边框3和镜面I的位置，很难产生位移，影响热驱动MEMS的工作效率。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜在实际应用过程当中，当驱动臂2热响应时，由于设置在驱动臂2两端的隔热连接件4的热阻远小于驱动臂2的热阻，使得驱动臂2上热效应的变化变得均匀，即驱动臂2上各个位置的热效应变得均匀，进而由多种不同热膨胀系数的材料叠加而成的驱动臂2，会由于其上均匀的热效应，准确的产生位移，使得MEMS微镜进行工作；同时，由于在驱动臂2两端设置隔热连接件4，可以有效降低由驱动臂2上传导到微镜边框3和镜面I上的热量，有效降低了热驱动MEMS微镜工作时的热损耗。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜在需要降温时，由于在微镜边框3上设置有金属导热块5，这样，就可以加快整个热驱动MEMS微镜的降温过程，这个过程当中，即使在驱动臂2两端设置隔热连接件4，但是少许由驱动臂2传导过来的热量，也会由金属导热块5进行散热，进而加快整个热驱动MEMS微镜的降温过程。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜在工作时，由于在驱动臂2两端设置隔热连接件4，使得驱动臂2的热效应变化变得均匀，利于热驱动MEMS微镜的工作；需要降温时，由于在微镜边框3上设置金属导热块5，又加快了整个热驱动MEMS微镜的降温过程，缩短了因隔热连接件4带来的降温缓慢问题。同样，对于本实用新型设计的热驱动MEMS微镜降温来说，为了缩短因隔热连接件4带来的降温缓慢问题，可以控制热驱动MEMS微镜周期的工作一段时间后，停止工作，便于热驱动MEMS微镜上温度的散热，这样就可有效控制热驱动MEMS微镜上的温度，保证热驱动MEMS微镜降温过程的时间。本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，隔热连接件4的热阻为驱动臂2热阻的
0.5 3倍，此设计值可以有效的提高驱动臂2的热响应率，且能够控制热驱动MEMS微镜降温过程的时间处于可使用的范围内。上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技 术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。
权利要求1.一种热驱动MEMS微镜，包括镜面(I)、驱动臂(2)和微镜边框(3)，其特征在于:还包括隔热连接件(4)，所述驱动臂(2)的两端分别通过隔热连接件(4)与微镜边框(3)、镜面(O相连接。
2.根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于:还包括导电走线(6)，所述导电走线(6 )设置在所述驱动臂(2 )与微镜边框(3 )之间的隔热连接件(4 )上。
3.根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于:还包括设置在所述微镜边框(3)上的金属导热块(5)。
4.根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于:所述隔热连接件(4)为SiO 2材料。
专利摘要本实用新型涉及一种热驱动MEMS微镜，包括镜面(1)、驱动臂(2)、微镜边框(3)和隔热连接件(4)，所述驱动臂(2)的两端分别通过隔热连接件(4)与微镜边框(3)、镜面(1)相连接；本实用新型设计的热驱动MEMS微镜能够有效增强驱动臂(2)上的热响应率，且能有效降低驱动臂(2)上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率。
文档编号G02B26/08GK203101727SQ201220712998
公开日2013年7月31日 申请日期2012年12月21日 优先权日2012年12月21日
发明者丁金玲, 谢会开, 陈巧 申请人:无锡微奥科技有限公司