一种用于光刻机角度镜接边抛光的方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，包括：①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；②建立超净工作室和1级大理石精密工作台；③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭；④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内,使待抛光面与接边框架底面在同一个平面；⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件；⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面；⑦抛光并修正；⑧分离接边框架和角度镜。本发明有效减少了抛光边缘塌陷尺寸,扩大了抛光面的通光孔径,提高了抛光效率,加工的角镜符合分步投影光刻机高质量要求。
【专利说明】一种用于光刻机角度镜接边抛光的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光刻机【技术领域】，特别是一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，该角度镜主要用于分步投影光刻机标记的位置对准，该项成果直接影响到分步投影光刻机里的娃片向位光栅自动对准。
【背景技术】
[0002]传统的抛光方法在抛光过程中，抛光面边缘处容易堆积大量地抛光液体和残留抛光粉，导致抛光面边缘研磨去除量增加，使得抛光面边缘出现塌陷即塌边，从而导致抛光面表面粗糙度及面型精度降低。为了获得较好地抛光面表面粗糙度及面型精度，通常只能牺牲有效抛光面积，减小通光孔径来得到，或通过反复边缘修正来实现。严重减低了产品生产效率，很难达到理想的表变质量。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，使角度镜符合所需的表面粗糙度和面型精度，满足光刻机向位光栅自动对准要求。
[0004]为了实现上述目的，本发明的技术解决方案是:
[0005]一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，其特点在于，该方法包括下列步骤:
[0006]①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；
[0007]所述的接边框架呈平行四边回字形，该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸；
[0008]②建立超净工作室和I级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作；
[0009]③在精密工作台上，工作人员带上手套，用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布，将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上；
[0010]④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内，角度镜的角度面与接边框架上平面重合，使待抛光面与接边框架底面在同一个平面；
[0011]⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件，人眼观察该角镜组合件，不得出现接缝形成无缝连接；
[0012]⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面，要求抛光面平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米；
[0013]⑦将框架角镜组合件水平放置在抛光机的工作台面上，打开抛光机真空吸附功能，使得框架角镜组合件下基准面与抛光机工作台面紧密结合，将待抛光面水平放置进行抛光并修正；[0014]⑧将完成抛光的框架角镜组合件侵入融化剂，分离接边框架和角度镜。
[0015]所述的填充剂是由双组合环氧树脂胶和加固原料按照一定比例混合而成，该加固原料需要根据所抛光零件材料的物理特性来选择性能相近的原料。
[0016]与现有技术相比，本发明的有益效果是:
[0017]★通过接边框架，角镜抛光的边缘塌陷区域宽度尺寸为不加接边框架的角镜塌陷区域宽度尺寸的1/3—1/4 ；
[0018]★在相同外形尺寸条件下，扩大了抛光面的通光孔径，减轻工件质量；
[0019]★在达到角镜所需的表面粗糙度和面型精度，提高了抛光效率；
[0020]★降低生产成本提高了产品合格率，符合高质量要求。
[0021]★确保角镜完全符合分步光刻机向位光栅自动对准要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是本发明中框架角镜组合件的主视图。
[0023]图2是本发明中框架角镜组合件的剖视图。
[0024]图3是使用本发明方法的接边角镜抛光检验结果。
[0025]图4是未使用本发明方法的接边角镜抛光检验结果。
[0026]图中:1 —接边框架、2 —角镜。
[0027]图3、图4中:X —测量长度、Y 一测量点垂直高度
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
[0029]准备二件玻璃角度镜，抛光要求平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米。一件玻璃角度镜零件用于接边框架抛光，另一件玻璃角度镜零件不接边框架抛光。二种抛光测量参数进行效果对比。
[0030]①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；
[0031]所述的接边框架呈平行四边回字形，该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸，该接边框架具有一坡面，该坡面的倾斜角度与待加工角度镜的角度相适配；
[0032]②建立超净工作室和I级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作；
[0033]③在精密工作台上，工作人员带上手套，用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布，将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上；
[0034]④按图1所示，将擦拭好的接边框架I水平放到工作台面上，再将待加工角度镜2放在接边框架内，保持抛光面与接边框架在同一个平面；
[0035]⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件，人眼观察该角镜组合件，不得出现接缝形成无缝连接；
[0036]所述的填充剂是一种用双组合环氧树脂胶和二种加固原料混合而成的粘接胶，本实施例中采用320#H-K9L和400#4J29为加固原料。打开胶筒出口保护盖，在胶筒出口安装混胶头。搬动双管胶抢，混胶头流出胶2?3g.混合其余二种加固原料搅拌均匀形成填充剂.用填充剂填充角镜四周边连续均匀涂形成框架角镜组合件。
[0037]⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面，要求抛光面平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米；
[0038]⑦将框架角镜组合件水平放置在QED抛光机的工作台面上，打开QED抛光机真空吸附功能，使得框架角镜组合件下基准面与Q ED抛光机工作台面紧密结合，将待抛光面水平放置进行抛光并修正；
[0039]⑧将另一件未安装接边框架的角镜水平放置在QED抛光机的工作台面上，打开QED抛光机真空吸附功能，使得角镜组合件下基准面与QED抛光机工作台面紧密结合，抛光面水平放置用相同的工艺参数进行抛光并修正；
[0040]⑩将完成抛光的框架角镜组合件侵入融化剂，分离接边框架和角度镜。
[0041]用Taylor Hobson PG1-1250A非球面轮廓仪分别测量经过二种方法加工的零件，使用接边框架的角镜检验结果见图3，未使用接边框架的角镜检验结果见图4。从图3可以看出边缘曲线突变塌陷区域宽度尺寸约为5.9mm,塌陷深度约为0.03mm,其余区域曲线平坦无突变。从图表4可以看出边缘曲线突变塌陷区域宽度尺寸约为1.6_，塌陷深度约为0.021mm.其余区域曲线平坦无突变。上述的接边框架角镜边缘塌陷深度约为0.021—
0.03，如果去除0.5mm边缘保护倒角区与不加接边框架的角镜塌陷深度差别不大；所述的接边框架角镜边缘塌陷区域宽度尺寸为不加接边框架的角镜塌陷区域宽度尺寸的1/3—1/4。
【权利要求】
1.一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤: ①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架； 所述的接边框架呈平行四边回字形，该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸； ②建立超净工作室和I级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作； ③在精密工作台上，工作人员带上手套，用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布，将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上； ④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内，角度镜的角度面与接边框架上平面重合，使待抛光面与接边框架底面在同一个平面； ⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件，人眼观察该角镜组合件，不得出现接缝形成无缝连接； ⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面，要求抛光面平面度优于0.005mm，粗糙度Ra优于0.4微米； ⑦将框架角镜组合件水平放置在抛光机的工作台面上，打开抛光机真空吸附功能，使得框架角镜组合件下基准面与抛光机工作台面紧密结合，将待抛光面水平放置进行抛光并修正； ⑧将完成抛光的框架角镜组合件侵入融化剂，分离接边框架和角度镜。
2.根据权利要求1所述的用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，其特征在于，所述的填充剂是由双组合环氧树脂胶和加固原料按照一定比例混合而成，该加固原料需要根据所抛光零件材料的物理特性来选择性能相近的原料。
【文档编号】G03F9/00GK103645613SQ201310652352
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年12月5日 优先权日:2013年12月5日
【发明者】黄克飞, 顾亚平, 魏向荣 申请人:上海现代先进超精密制造中心有限公司