一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法
【专利摘要】本发明公开了一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法，其中，具有倾斜角度的光纤装配体，包括，承载板，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述承载板的上表面的法线成θ1角度；模板对准板，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成θ1角度；以及，光纤，所述光纤穿过所述倾斜孔进入所述止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位。本发明涉及高效率地光交换，通过光栅模式变换装置实现大量单模圆柱形光纤和单模矩形硅波导之间的高效率的光交换，且将大型阵列的光纤装配到大型阵列光栅模式变换装置，满足了精密、量产的生产实践需求。
【专利说明】一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法【技术领域】
[0001]本发明涉及微电子【技术领域】，尤其涉及一种具有倾斜角度的光纤装配体及其装配方法。
【背景技术】
[0002]波长复用/解复用、光交换、编码和光-电转换芯片这类执行大量光子功能的芯片正在高速发展。例如,在2013年5月14日公开的题为"Method and System for a LightSource Assembly Supporting Direct Coupling to an Integrated Circuit, 〃 (MichaelMack, et al.专利号US8，440，989)中，公开了光通过中间集成光栅耦合装置从集成光子链路波导进入和提取的若干宽泛概念。然而，在该专利中Michael Mack等人公开的仅仅是一般性图纸和概念，并没有明确的讲授。对于集成硅光子链路领域内的普通技能掌握者而言，仍然没有办法知道如何构造耦合结构才可以将该专利大规模地实施。
[0003]题为"A90nmCMOS Integrated Nano-Photonics Technology for25Gbps WDMOptical Communications Applications, 〃 (Solomon Assefa, et al.postdeadlinesession33.8, DecemberlO-12, 2012)的文章发表在ffiEE国际电子器件会议(IEDM)上。文章讨论了集成三个元件的光子链路。这三个光子链路元件分别是:可用于在光学编码的硅调制器、可用于将光信号转换为电信号的锗光电探测器和可用于波分复用光学滤光器。此外也包括了光栅耦合器，它可以耦合光束进和出入光纤。但是，将光束耦合进、出集成光子链路的装置及其制造方法并未被同时公开。
[0004]在题为〃High Efficiency Grating Coupler for Coupling betweenSingle-Mode Fiber and SOI Waveguides, 〃 (Zhang Can, et al., published in2013inChinese Physics Letters, Volume30, page014207_l) —文中，报告了高效率光栅稱合器的设计和工艺。而关于光束是通过何种装置在集成光子链路进出的并未予以讨论。
[0005]在光子集成链路的发展现状中，光子链路分立器件已经拥有先进的技术水平。然而，还不存在任何这样的装置:通过此类装置来从光子链路注入或提取光，且所述装置是可扩展的，以适应单个光子芯片上涉及数百根光纤的大规模生产。
[0006]基于此，本发明公开的就是这样一种满足上述需求的装置及其制造程序。耦合结构适合于使用光栅耦合器在单模阵列光纤和集成光子链路之间进行光交换，该光栅耦合器和2013年5月14日公开的专利US8440989中公开的光栅耦合器的装置有相似之处。不过，在专利US8440989中所公开的光纤阵列耦合装置因为用于夹持光纤的安装模块体积较大从而限制了光纤的密度。除此之外，本发明的光纤耦合装配体，还能够扩展到大阵列光纤和大阵列的集成光栅耦合器结合使用的情形。
【发明内容】
[0007]本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。
[0008]鉴于上述和/或现有光纤装配中存在的问题，提出了本发明。
[0009]因此，本发明的一个目的是提供一种具有倾斜角度的光纤装配体，以实现光纤和光子链路之间的光学通信。
[0010]为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案:一种具有倾斜角度的光纤装配体，包括，承载板，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述承载板的上表面的法线成ΘI角度；模板对准板，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成Θ I角度；以及，光纤，所述光纤穿过所述倾斜孔进入所述止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位。
[0011]作为本发明所述具有倾斜角度的光纤装配体的一种优选方案，其中:所述承载板的上表面设置有第二对准标记，承载板下表面设置有第三对准标记，所述第三对准标记能够与所述模板对准板的顶部的第四对准标记进行对准。
[0012]作为本发明所述具有倾斜角度的光纤装配体的一种优选方案，其中:所述模板对准板的顶部设置有垫片元件，在承载板和模板对准板进行连接时，提供承载板和模板对准板之间的空腔，且该空腔与所述进入孔相连通。
[0013]作为本发明所述具有倾斜角度的光纤装配体的一种优选方案，其中:所述止动孔包括两个不同直径的相连通的孔，且自所述模板对准板的顶部始的孔直径 > 另一个孔的直径，两个孔之间形成止动面。
[0014]作为本发明所述具有倾斜角度的光纤装配体的一种优选方案，其中:所述模板对准板的底端还设置有光学透明层和透镜阵列。
[0015]作为本发明所述具有倾斜角度的光纤装配体的一种优选方案，其中:所述承载板倾斜孔和所述模板对准板的止动孔都具有均匀、平整一致的内壁。
[0016]本发明的另一个目的是，提供一种光纤装配体的装配方法，通过该方法实现光纤和光子链路之间的光学通信问题。
[0017]为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案:一种光纤装配体的装配方法，包括，提供一已完成一定数量的光纤组装的对准块，所述一定数量的光纤形成具有同一共面主轴的光纤阵列，所述光纤阵列主轴与所述对准块的水平端面的法线成Θ I角度，所述对准块底面具有第一对准标记；完成所述第一对准标记与承载板上表面的第二对准标记之间的对准，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述上表面的法线成ΘI角度；完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成Θ I角度，所述止动孔包括两个不同直径的相连通的孔，且自所述模板对准板的顶部始的孔直径>另一个孔的直径，两个孔之间形成止动面；将光纤依次送入所述倾斜孔以及止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位；通过所述进入孔注入粘结剂，并完成粘结剂的固化将所述承载板、所述模板对准板以及所述光纤进行粘结；去除所述对准块。
[0018]作为本发明所述光纤装配体的装配方法的一种优选方案，其中:所述完成一定数量的光纤组装的对准块，其是将光纤以倾斜Θ I角度放置在所述对准块的V形槽体中，所述V形槽体具有倾斜侧壁的平行阵列通道，使得一定数量的光纤形成光纤阵列。
[0019]作为本发明所述光纤装配体的装配方法的一种优选方案，其中:在完成所述第一对准标记与承载板上表面的第二对准标记之间的对准后，完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准前，还包括，将所述模板对准板放置在气垫或空气滑动台上，以完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准。
[0020]作为本发明所述光纤装配体的装配方法的一种优选方案，其中:在去除所述对准块之后，还包括，在所述光纤装配体上附着光子链路元件。
[0021]与现有技术相比，本发明有益效果为:
[0022](I)本发明涉及高效率地光交换，通过光栅模式变换装置实现大量单模圆柱形光纤和单模矩形硅波导之间的高效率的光交换；
[0023](2)本发明将大型阵列的光纤装配到大型阵列光栅模式变换装置，以满足精密、量产的生产实践需求。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中:
[0025]图1为本发明一个实施例中所述承载板的侧视示意图；
[0026]图2为图1所示实施例中所述承载板的俯视示意图；
[0027]图3为本发明一个实施例中所述模板对准板的侧视示意图；
[0028]图4为图3所示实施例中所述模板对准板的俯视示意图；
[0029]图5为本发明一个实施例中所述对准块携带倾斜光纤阵列对准到所述承载板的倾斜孔中的示意图；
[0030]图6为本发明一个实施例中所述V形槽体的主视以及右视示意图；
[0031]图7为本发明一个实施例中所述对准块携带倾斜光纤阵列依次对准到所述承载板的倾斜孔中以及的所述模板对准板的止动孔中的示意图；
[0032]图8为本发明一个实施例中所述对准块将光纤阵列依次送入所述倾斜孔以及止动孔中示意图；
[0033]图9为本发明一个实施例中所述具有倾斜角度的光纤装配体示意图；
[0034]图10为本发明另一个实施例中所述具有倾斜角度的光纤装配体示意图；
[0035]图11为本发明所述一种光纤装配体的装配方法的流程示意图。
【具体实施方式】
[0036]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。
[0037]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
[0038]其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0039]为了便于理解本发明各种实施例的原理和特征，下面参照一个示例性实施例进行说明。特别地，在本发明的示例性实施例中，所述光纤装配涉及到的上下文描述中，主要指的是适用于通过面式入射光耦合到高介电常数的波导阵列，特别是通过光栅。本发明光纤装配第二个示例性实施例中，其上下文中描述的是适合于通道光从集成光子链路进入光纤阵列。
[0040]下文中所述的本发明中各个元素的材料和部件，其目的是说明性的而不是限制性的。许多可以如本文描述的材料和部件一样来执行相同或者类似功能的合适的材料和部件，亦包含在本发明的范围内。另外，这里未进行描述的其他材料和部件也可以被包括但不限于，例如在本发明的时间之后所开发和发展的材料。
[0041 ] 现在参看附图，本发明的实施例将被详细说明。其中，相同的标号表示相同的部件的视图。
[0042]本发明首先提供了一种具有倾斜角度的光纤装配体，其包括了承载板、模板对准板以及光纤。
[0043]在一个实施例中，如图1和图2，100 (A)所示的是一个基本平行六面体的承载板162的侧视图，其具有上表面160、平直的进入孔180以及大致圆筒状的倾斜孔190。较佳地，所述倾斜孔190具有一个喇叭形开口 170。倾斜角Θ I的测量是基于上表面160所在平面的垂直平面内完成的。倾斜孔190可以有多个而形成倾斜孔阵列，而倾斜孔阵列具有共同的主轴，其主轴与所述承载板162上表面的法线成Θ I角度。除此之外，承载板162还包括定位销对准孔110和带有螺纹的结合孔120，从而起到对所述承载板162进行预对准的作用。其中，定位销对准孔110和倾斜孔190内壁光滑，内衬低摩擦聚合物140。倾斜孔190内壁光滑，内衬低摩擦聚合物140，能够对光纤起到保护作用。聚四氟乙烯或聚对二甲苯可作为低摩擦聚合物涂料的实例。参见100 (A)的顶面的俯视图100 (B)所示,倾斜孔190具有一个倾斜的对称轴，这个对称轴和上表面160所在平面法线的夹角为Θ 1，倾斜孔190在上表面160具有一个直径基本均匀的、喇叭形开口 170。Θ I的角度需要结合图10中所述的光子链路层上耦合光栅的设计来确定。定位销对准孔110会在装配过程中光纤装配时起作用。在100 (A)中所示的上表面和下表面上相应的基准点，即第二对准标记130和第三对准标记135是用来在下面讨论的步骤中作为对准标记使用的。平行六面体支撑结构承载板162的俯视图如100 (B)所示，图中可以看到具有三个圆圈的阵列型倾斜孔结构，具体地，圆112表示倾斜孔190的非扩口部分在底面的断面，圆114表示倾斜孔190在扩口之前最靠近顶表面的断面，圆116表示的是倾斜孔190的喇叭形开口 170在上表面的断面。圆112和114中心之间的偏移量是由于倾斜角度Θ I和承载板162的厚度引起的。
[0044]在图3中，200 (A)示出一个实施例中，基本平行六面体的模板对准板210的侧视图，模板对准板210具有倾斜的、带有喇叭形开口 280的双直径(即第一直径260、第二直径270)的止动孔265。设计两个直径的目的是提供一个受控的止动面255，止动面255的存在可以保证光纤插入深度是基本一致的。上述具有双直径的止动孔265的倾斜角度为Θ1。其倾斜角度Θ I的测量是在垂直于顶部220所在平面的平面内完成的。止动孔265可以有多个而形成止动孔阵列，所述止动孔阵列具有共同的主轴，其主轴与所述模板对准板210上表面的法线成Θ1角度。此外,止动孔265具有光滑的内壁、内衬低摩擦聚合物240，对光纤具有防破损的作用。同时，模板对准板210附加有钝化层220、垫片元件295、光学透明层285和透镜阵列290。作为一个可实施的不例,透明层285可以由娃构成,娃材料对波长I?2 μ m光基本上透明，透镜阵列290则可以使用聚合物材料或玻璃材料构成，所用聚合物或玻璃材料同样需要对波长I?2μπι的光基本上透明。参见图4，200 (B)示出平行六面体模板对准板的俯视图，同样可以看到具有三个圆圈的阵列式倾斜孔结构。圆212表示直径较小的、非扩口的孔270在底面的断面，圆214表示直径较大的、非扩口的孔260在顶部220的下方附近的断面。圆216表示的喇叭形开口 280在顶部220的断面。圆212、214和216中心之间的偏移量是由于倾斜角度Θ I和模板对准板210的厚度以及喇叭形开口 280所引起的。在200 (B)中所示的顶部220上相应的基准点，即第四对准标记230是用来在下面讨论的步骤中作为对准标记使用的。
[0045]如图9所示，自进入孔180通过腔体510引入大量的液体粘结剂720，完成粘结剂720的固化将所述承载板162、所述模板对准板210以及所述光纤进行粘结从而确保可以由此形成一个整体的光纤组装块，即光纤装配体。在另外一个实施例中，如图10所示，在所述光纤装配体上附着光子链路元件850 ;其中，垫片810提供光路距离的控制。光子链路元件850上的第六对准标记840和模板对准板210的底端的第五对准标记235起导向对准作用。缓冲层860可提供电路线820和830之间的电学隔离。
[0046]上述标号的描述和其余部分的数字描述一起，组成了本发明光纤装配体的主题。
[0047]本发明还提出了一种光纤装配体的装配方法900，请参考图11所示，该装配方法包括如下步骤:
[0048]步骤910，首先提供一已完成一定数量的光纤组装的对准块，所述一定数量的光纤形成与所述对准块的水平端面的法线成Θ I角度的光纤阵列，所述对准块底面具有第一对准标记。
[0049]具体的，参见图5和图6所示，最终完成装配的光纤装配体中，光纤是以阵列322的形式插入的。光纤阵列322具有共同的主轴，光纤阵列322的主轴与承载板162的倾斜孔以及模板对准板210的的止动孔265的主轴线平行。这就要求，在进行标记对准的过程中，光纤阵列322要牢固但松散地保持在对准块310的适当位置。光纤阵列322会以倾斜Θ I角度、被临时拿持在对准块310的V形槽体430中。图6中400 (A)和400 (B)分别为对准块的V形槽体430的侧视图和端面视图。作为一个实施例，V形槽体430具有深度440且倾斜侧壁的平行阵列通道450，排列的光纤420与倾斜侧壁沿着两个大致平行的线接触。在400中所示的实施例中，光纤向V形槽体430的表面460上方延伸。在对准过程中，通过致动器470轻轻按压顶部的压缩/释放板410，确保光纤阵列322可以保持在预定位置，当施以较轻的按压则可以允许光纤阵列322在一个小力作用下滑动，以实现光纤阵列322在进入匹配的倾斜孔190阵列的滑动过程是受控的。
[0050]步骤920，完成所述第一对准标记与承载板上表面的第二对准标记之间的对准，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述上表面的法线成Θ I角度。
[0051]如图5所示，其示出的是已经插入定位销315的承载板162，使用定位销315是为了实现预对准。对准块310已经被预装了光纤，光纤具有缓冲涂层320、包层340和纤芯350，一定数量的光纤有规则的分布为光纤阵列322。作为一个示例，光纤阵列322，可以暂时保持在一个平面阵列，使得阵列的主平面和承载板162的上表面160之间的倾斜角Θ I得以保持。对准块310的下表面上的基准点，即第一对准标记330要和上表面160上的基准点，即第二对准标记130进行对准。对准标记的作用是在光纤阵列插入之前完成光纤阵列322和孔阵列倾斜孔190的预对准。
[0052]当然，在完成此步骤后，将模板对准板210放置在气垫或空气滑动台上，以完成模板对准板210顶部的第四对准标记230和承载板162下表面的第三对准标记135之间的对准。
[0053]步骤930，完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成Θ I角度，所述止动孔包括两个不同直径的相连通的孔，且自所述模板对准板的顶部始的孔直径大于另一个孔的直径，两个孔之间形成止动面。
[0054]作为一个用于光纤阵列组装模板过程的可实施例。对准块310预装载了光纤，然后通过对准标记，对准块310和承载板162的上表面完成对准。模板对准板210被放置在一个低质量的、基本上无摩擦的气垫或空气滑动台上，与承载板162的下表面进行对准，如图7所示。
[0055]步骤940，将光纤依次送入所述倾斜孔以及止动孔中，完成所述承载板和所述模板对准板的连接。在此步骤中，仍然需要模板对准板210被放置在一个低质量的、基本上无摩擦的气垫或空气滑动台上完成。
[0056]具体的，参见图8，然后，对准块310、承载板162和模板对准板210三者稳定地连接在一起。将光纤依次送入所述倾斜孔190以及止动孔265中，完成所述承载板162和模板对准板210的连接。
[0057]步骤950，通过所述进入孔注入粘结剂，并完成粘结剂的固化将所述承载板、所述模板对准板以及所述光纤进行粘结。
[0058]如图8所示，垫片元件295提供承载板162和模板对准板210之间的空腔510。这个空腔510可以缓解在按压顶端压缩/释放板410时产生的压力，以允许更好地控制光纤按照既定顺序，先后滑入锥型光纤倾斜孔190和止动孔265。由于锥型输入倾斜孔190和止动孔265是倾斜的，喇叭形开口 170和280在光纤插入过程中起到引导光纤阵列322的作用。倾斜孔190的直径需要略大于光纤直径，这样有助于光纤更容易地插入。至此，使用低质量的、无摩擦的空气支撑平台的目的一有助于光纤更容易地插入一就变得更为清晰了。为了保证良好的对准精度，止动孔265的直径只能轻微的大于光纤的直径。在将光纤插入到模板对准板的孔这一过程中，止动孔265的优势在于捕获光纤并将其引导至小直径的孔内。一定程度上，光纤可以是灵活的，允许其在短距离内可以有一个小的弯曲角度。在光纤阵列322插入过程中，整个光纤阵列322会施加一个净剪切力，而使用无摩擦和自由滑动移动的空气支撑平台可以使得平均剪切力最小。通常，可以在止动面255的位置，使用一个压电传感器(该装置未示出)来检测光纤端面和小直径孔的接触情况。在上述光纤插入过程完成之后，通过进入孔180和空腔510引入大量的液体粘结剂720，从而确保可以由此形成一个整体的光纤组装块，如图9中的700所示。
[0059]步骤960，去除所述对准块。
[0060]完成光纤的装配后，将安装的对准块310拆下，以循环使用。[0061]当然，在去除所述对准块之后，还可以在所述光纤装配体上附着光子链路元件850 ;参见图10，其中，垫片810提供光路距离的控制。光子链路元件850上的第六对准标记840和模板对准板210的底端的第五对准标记235起导向对准作用。缓冲层860可提供电路线820和830之间的电学隔离。
[0062]由此可见，本发明的实施例涉及到光在分别具有第一类、第二类光学性质的第一组光纤导光体和第二组硅导光体之间的输入与输出。在两组导光体之间的光学有效传输会受到的光模式变换器的影响。虽然模式变换器理论上不能完全有效，但通过良好的设计可以将损耗减少到可接受的水平。
[0063]本发明的实施例进一步涉及到第一组光导体和第二组光导体之间的光输入，这种光输入是通过周期/半周期结构的装置，即光学模式变换装置，来实现的。
[0064]应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
【权利要求】
1.一种具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:包括， 承载板，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述承载板的上表面的法线成ΘI角度； 模板对准板，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成ΘI角度；以及， 光纤，所述光纤穿过所述倾斜孔进入所述止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位，所述倾斜孔、止动孔以及光纤三者的主轴线平行。
2.根据权利要求1所述的具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:所述承载板的上表面设置有第二对准标记，承载板下表面设置有第三对准标记，所述第三对准标记能够与所述模板对准板 的顶部的第四对准标记进行对准。
3.根据权利要求1所述的具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:所述模板对准板的顶部设置有垫片元件，在承载板和模板对准板进行连接时，提供承载板和模板对准板之间的空腔，且该空腔与所述进入孔相连通。
4.根据权利要求1所述的具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:所述止动孔包括两个不同直径的相连通的孔，且自所述模板对准板的顶部始的孔直径 > 另一个孔的直径，两个孔之间形成止动面。
5.根据权利要求1所述的具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:所述模板对准板的底端还设置有光学透明层和透镜阵列。
6.根据权利要求1所述的具有倾斜角度的光纤装配体，其特征在于:所述承载板倾斜孔和所述模板对准板的止动孔都具有均匀、平整一致的内壁。
7.一种光纤装配体的装配方法，其特征在于:包括， 提供一已完成一定数量的光纤组装的对准块，所述一定数量的光纤形成具有同一共面主轴的光纤阵列，所述光纤阵列主轴与所述对准块的水平端面的法线成Θ I角度，所述对准块底面具有第一对准标记； 完成所述第一对准标记与承载板上表面的第二对准标记之间的对准，所述承载板具有进入孔和倾斜孔，所述倾斜孔的对称轴与所述上表面的法线成Θ I角度； 完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准，所述模板对准板设置有止动孔，所述止动孔的对称轴与所述顶部的法线成Θ I角度，所述止动孔包括两个不同直径的相连通的孔，且自所述模板对准板的顶部始的孔直径 > 另一个孔的直径，两个孔之间形成止动面； 将光纤依次送入所述倾斜孔以及止动孔中，完成光纤的顺利插入与精确定位； 通过所述进入孔注入粘结剂，并完成粘结剂的固化将所述承载板、所述模板对准板以及所述光纤进行粘结； 去除所述对准块。
8.根据权利要求7所述的光纤装配体的装配方法，其特征在于:所述完成一定数量的光纤组装的对准块，其是将光纤以倾斜Θ I角度放置在所述对准块的V形槽体中，所述V形槽体具有倾斜侧壁的平行阵列通道，使得一定数量的光纤形成光纤阵列。
9.根据权利要求7所述的光纤装配体的装配方法，其特征在于:在完成所述第一对准标记与承载板上表面的第二对准标记之间的对准后，完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准前，还包括， 将所述模板对准板放置在气垫或空气滑动台上，以完成模板对准板顶部的第四对准标记和所述承载板下表面的第三对准标记之间的对准。
10.根据权利要求7所述的光纤装配体的装配方法，其特征在于:在去除所述对准块之后,还包括， 在所述光纤装配体上`附着光子链路元件。
【文档编号】G02B6/26GK103777280SQ201410040038
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2014年1月27日 优先权日:2014年1月27日
【发明者】丹尼尔·吉多蒂, 张文奇, 薛海韵 申请人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司