一种水冷式双压电变形镜的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种水冷式双压电变形镜，包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内，水冷式双压电变形镜包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件、微通道一；水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板、后盖板和微通道二，镜架前盖板上设置的微通道二与反射镜二上的微通道一一对应，通水后，通过流水带走反射镜一外表面上的热量，即可实现变形镜的水冷功能；通过采用主动冷却控制技术，实现了强光系统中校正激光束像差的功能，该变形镜可拟合不同类型的像差，波前校正空间分辨率高，结构简单，成本低、工艺简单。
【专利说明】—种水冷式双压电变形镜
【技术领域】
[0001]本实用新型属于双压电变形镜领域，具体涉及一种水冷式双压电变形镜，用于强光系统中的波像差校正。
【背景技术】
[0002]变形镜是一种用在光学系统中进行光束畸变修正的新型光学器件，在军事和民用市场两方面都有良好的应用前景。双压电变形镜具有调制动态范围大，结构简单，成本低，易于实现在光路调节中补偿像差的优点，但是由于其变形镜镜面及压电晶片材料的特性，在承受连续高功率激光长时间辐照时，受镜面镀膜技术和工艺的限制，变形镜必将有总功率5%。?1%的热沉积，实验表明，不对该部分累积热进行主动控制，变形镜镜面将发生热致形变甚至将双压电晶片与镜面连接处的粘胶烧毁，导致变形镜失效。采用普通双压电变形镜的自适应系统只能对弱光的波前进行校正，因此只能应用于弱光系统。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是为了克服现有技术中双压电变形镜不能应用于强光系统的不足，提供了 一种水冷式双压电变形镜。
[0004]本实用新型采用的技术方案为:一种水冷式双压电变形镜，包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内；
[0005]水冷式双压电变形镜主体包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件；所述反射镜一的背面与反射镜二的正面相粘接，反射镜二的背面与压电晶片一的正极面相粘接，压电晶片一和压电晶片二的负极面相粘接，变形镜支撑件的一面与反射镜二的背面固联；电极引线的一端从压电晶片一、压电晶片二的各个电极引出；
[0006]水冷式双压电变形镜镜架,包括前盖板和后盖板，所述后盖板上设置有一个进水口，一个出水口。
[0007]在上述技术方案中，所述反射镜二的正面设置有微通道一。
[0008]在上述技术方案中，所述前盖板上设置有微通道二。
[0009]在上述技术方案中，所述微通道一和微通道二的通道大小、通道间隔相同。
[0010]在上述技术方案中，所述电极引线的数量与变形镜的电极数相等。
[0011]本实用新型的一种水冷式双压电变形镜，通过对不同电极施加电压，使镜面发生变形，实现波前校正。工作时，通过对变形镜后盖板的进水口中导入流水，流水经过微通道二，微通道一，最后从后盖板的出水口流出，从而实现双压电变形镜的水冷功能。通过采用主动冷却控制技术，实现了强光系统中校正激光束像差的功能，该变形镜可拟合不同类型的像差，波前校正空间分辨率高，结构简单，成本低、工艺简单。【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的水冷式双压电变形镜主视图；
[0013]图2是本实用新型的水冷式双压电变形镜剖视图；
[0014]图3是本实用新型的水冷式双压电变形镜镜架结构示意图；
[0015]图4是本实用新型的水冷式双压电变形镜镜架后视图；
[0016]图5是本实用新型的水冷式双压电变形镜反射镜二的主视图；
[0017]其中:1是水冷式双压电变形镜主体，2是水冷式双压电变形镜镜架，3是反射镜一，4是反射镜二，5是压电晶片一，6是压电晶片二，7是电极引线8是变形镜支撑件，9是微通道一，10是如盖板，11是后盖板，12是微通道二，13是孔洞，14是进水口，15是出水口。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图给出的实施例对本实用新型的一种水冷式双压电变形镜作进一步描述。
[0019]如图1所示，本实用新型的一种水冷式双压电变形镜包括水冷式双压电变形镜主体1、水冷式双压电变形镜镜架2 ;水冷式双压电变形镜I设置于水冷式双压电变形镜镜架2内。
[0020]如图2所示，水冷式双压电变形镜主体包括反射镜一 3、反射镜二 4、压电晶片一 5、压电晶片二 6、电极引线7、变形镜支撑件8、微通道一 9。反射镜一 3背面与反射镜二 4上设置有微通道一 9的面相粘合，反射镜二 4背面与压电晶片一 5的正极面相粘接，压电晶片一 5和压电晶片二 6的两负极面相粘接，变形镜支撑件8的一面与反射镜二 4背面相粘接，电极引线7—端从压电晶片一 5和压电晶片二 6的各电极引出，另一端与供给电源相连，通过对不同电极供给不同电压，实现变形镜的面形变化，从而输出所需的像差。
[0021]如图3所示,水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板10、后盖板11、微通道二 12。设置有微通道二 12的前盖板10与后盖板11通过螺丝固定。
[0022]如图4所示,水冷式双压电变形镜镜架的后盖板上设置有一孔洞13、进水口 14、出水口 15。孔洞11用于引出水冷式双压电变形镜的电极引线7。从进水口 14中导入流水，流水进入前盖板10的微通道二 12，再导入反射镜二 4的微通道一 9，最后从后盖板11的出水口 15流出，从而实现双压电变形镜的水冷功能。
[0023]如图5所示，所述的反射镜二 4正面设置排布均匀、大小相同的微通道一 9，微通道平行于反射镜长轴方向。
[0024]本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征以外，均可以以任何方式组合。
[0025]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种水冷式双压电变形镜，其特征在于:包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内； 水冷式双压电变形镜主体包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件；所述反射镜一的背面与反射镜二的正面相粘接，反射镜二的背面与压电晶片一的正极面相粘接，压电晶片一和压电晶片二的负极面相粘接，变形镜支撑件的一面与反射镜二的背面固联；电极引线的一端从压电晶片一、压电晶片二的各个电极引出； 水冷式双压电变形镜镜架，包括前盖板和后盖板，所述后盖板上设置有一个进水口，一个出水口。
2.根据权利要求1所述的一种水冷式双压电变形镜，其特征在于所述反射镜二的正面设置有微通道一。
3.根据权利要求1所述的一种水冷式双压电变形镜，其特征在于所述前盖板上设置有微通道二。
4.根据权利要求2或3所述的一种水冷式双压电变形镜，其特征在于所述微通道一和微通道二的通道大小、通道间隔相同。
5.根据权利要求1所述的一种水冷式双压电变形镜，其特征为所述电极引线的数量与变形镜的电极数相等。
【文档编号】G02B26/06GK203705723SQ201420010286
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年1月8日 优先权日:2014年1月8日
【发明者】张凯, 徐宏来, 雒仲祥, 何忠武, 李国会, 关有光, 杨媛, 杜应磊, 向汝建 申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所