一种压电微镜和控制方法与流程

文档序号:11152605阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电微镜,其特征在于,包括N个第一压电悬臂梁和转动件,N为大于1的整数,所述转动件上包括反射镜片;

所述第一压电悬臂梁的第一端固定,所述第一压电悬臂梁的第二端和所述转动件的第一边连接;

第一压电悬臂梁的第二端可以在电压控制下产生位移带动所述转动件转动至第一角度并固定在第一角度。

2.根据权利要求1所述的压电微镜,其特征在于,还包括M个第二压电悬臂梁,M为大于0的整数;

所述第二压电悬臂梁的第一端固定,所述第二压电悬臂梁的第二端和所述转动件的第二边连接;

第二压电悬臂梁的第二端可以在电压控制下产生位移带动所述转动件转动至第一角度并固定在第一角度。

3.根据权利要求1所述的压电微镜,其特征在于,两个所述第一压电悬臂梁的一边相互连接。

4.根据权利要求2任一项所述的压电微镜,其特征在于,两个所述第二压电悬臂梁的一边相互连接。

5.根据权利要求1所述的压电微镜,其特征在于,所述第一压电悬臂梁的第二端通过S型弹簧和所述转动件的第一边连接。

6.根据权利要求2所述的压电微镜,其特征在于,所述第二压电悬臂梁的第二端通过S型弹簧和所述转动件的第二边连接。

7.一种压电微镜的控制方法,用于控制权利要求1至8任一项所述的压电微镜,所述方法包括:

在第一时间段内控制N个第一悬臂梁的第二端产生向第一方向位移的力;

在第二时间段内控制N个第一悬臂梁中的O个第一悬臂梁的第二端产生向第一方向位移的力,控制N个第一悬臂梁中的P个第一悬臂梁的第二端产生向 第二方向位移的力,O和P均为大于等于1的整数,第一方向和第二方向不同。

8.根据权利要求7所述的方法,还包括:

在第一时间段内控制M个第二悬臂梁的第二端产生向第二方向位移的力;

在第二时间段内控制M个第二悬臂梁中的R个第二悬臂梁的第二端产生向第二方向位移的力,控制M个第二悬臂梁中的S个第二悬臂梁的第二端产生向第一方向位移的力,R和S均为大于等于1的整数。

9.根据权利要求7或8所述的方法,还包括:

在第三时间段内控制N个第一悬臂梁的第二端不产生位移,控制M个第一悬臂梁的第二端不产生位移。

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