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一种压电微镜和控制方法与流程
文档序号:11152605
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来源:国知局
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一种压电微镜和控制方法与制造工艺
技术总结
本发明实施例提供了一种压电微镜和控制方法,压电微镜包括N个第一压电悬臂梁和转动件,N为大于1的整数,所述转动件上包括反射镜片;所述第一压电悬臂梁的第一端固定,所述第一压电悬臂梁的第二端和所述转动件的第一边连接;第一压电悬臂梁的第二端可以在电压控制下产生位移带动所述转动件转动至第一角度并固定在第一角度。
技术研发人员:
姚丹阳;蒋臣迪
受保护的技术使用者:
华为技术有限公司
文档号码:
201510733118
技术研发日:
2015.11.02
技术公布日:
2017.05.10
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