用于光学系统的抗摩尔纹漫射器的制作方法

文档序号:12071086阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种设备,包括:

光偏振栅,所述光偏振栅用于接收光束并用于改变所述光束的一部分的偏振;以及

微焦距元件阵列,所述微焦距元件阵列光学地耦合至所述光偏振栅以使所述光束漫射。

2.如权利要求1所述的设备,所述光偏振栅包括多个单元,所述多个单元中的第一组用于改变所述光束的至少第一波的偏振。

3.如权利要求2所述的设备,所述多个单元中的第二组用于至少透射所述光束中具有基本上原始偏振的第二波。

4.如权利要求3所述的设备,所述微焦距元件阵列用于使所述第一波和所述第二波漫射以在一点相遇。

5.如权利要求3所述的设备,其中,所述第一波的偏振和所述第二波的所述偏振在所述点处基本上是非干扰的。

6.如权利要求3所述的设备,其中,所述第一组中的所述多个单元的光轴的定向与所述第二组中的所述多个单元的光轴的定向不同。

7.如权利要求3所述的设备,所述第一组中的所述多个单元至少包括第一材料并且所述第二组中的所述多个单元至少包括第二材料,其中,所述第一材料与所述第二材料不同。

8.如权利要求3所述的设备,所述第一组中的所述多个单元包括基本上透明的材料,并且其中,所述第二组单元中的所述多个单元包括反射性材料。

9.如权利要求3所述的设备,其中,所述光束是相干的且线性偏振的,所述光束的所述经漫射的第一波具有第一线性偏振,并且所述光束的所述经漫射的第二波具有与所述第一线性偏振正交的第二线性偏振。

10.如权利要求3所述的设备,其中,所述光束是圆偏振或椭圆偏振的,所述光束的所述经漫射的第一波具有第一圆偏振或椭圆偏振,并且所述光束的所述经漫射的第二波具有旋向性与所述第一圆偏振或椭圆偏振相反的第二圆偏振或椭圆偏振。

11.一种系统,包括:

光学漫射器;以及

扫描反射镜系统,所述扫描反射镜系统用于接收光束并用于跨所述光学漫射器扫描所述光束,所述光学漫射器包括:

光偏振栅,所述光偏振栅用于接收光束并用于改变所述光束的一部分的偏振;以及

微焦距元件阵列,所述微焦距元件阵列光学地耦合至所述光偏振栅以使所述光束漫射。

12.如权利要求11所述的系统,所述扫描反射镜系统包括反射镜,所述反射镜用于绕至少一个轴线旋转以跨所述光学漫射器扫描所述光束。

13.如权利要求11所述的系统,所述光偏振栅包括多个单元,所述多个单元中的第一组用于改变所述光束的至少第一波的偏振并且所述多个单元中的第二组用于透射至少所述光束中具有基本上原始偏振的第二波。

14.如权利要求13所述的系统,所述微焦距元件阵列用于使所述第一波和所述第二波漫射以在一点相遇,其中,所述第一波的偏振和所述第二波的所述偏振在所述点处基本上是非干扰的。

15.如权利要求11所述的系统,其中,所述微焦距元件阵列被布置在所述扫描反射镜系统与所述光偏振栅之间。

16.如权利要求11所述的系统,其中,所述光偏振栅被布置在所述扫描反射镜系统与所述微焦距元件阵列之间。

17.一种方法,包括:

接收来自光源的光束;

改变所述光束的第一部分的偏振;以及

使所述光束漫射以将所述光束的所述第一部分和所述光束的第二部分透射至视点。

18.如权利要求17所述的方法,其中,所述光束的所述第一部分和所述光束的所述第二部分在所述视点具有不同的偏振。

19.一种设备,包括:

用于接收来自光源的光束的装置;

用于改变所述光束的第一部分的偏振的装置;以及

用于使所述光束漫射以将所述光束的所述第一部分和所述光束的第二部分透射至视点的装置。

20.如权利要求19所述的设备,包括:

用于在使所述光束漫射之前改变所述光束的所述部分的偏振的装置。

21.一种系统,包括:

光偏振栅,所述光偏振栅用于接收光束的多个波,所述多个波中的每一个具有初始偏振,所述光偏振栅包括多个单元,所述多个单元中的第一组用于改变所述多个波中的至少第一个波的所述初始偏振,所述多个单元中的第二组用于至少透射所述多个波中具有所述初始偏振的第二个波;以及

微焦距元件阵列,所述微焦距元件阵列光学地耦合至所述光偏振栅以使所述光束漫射。

22.如权利要求21所述的系统,包括扫描反射镜系统,所述扫描反射镜系统用于接收所述光束并用于跨所述光偏振栅扫描所述光束。

23.如权利要求22所述的系统,所述微焦距元件阵列用于使所述多个波中的所述第一波和所述第二波漫射以在一点相遇,其中,所述第一波的偏振和所述第二波的所述偏振在所述点处基本上是非干扰的。

24.如权利要求23所述的系统,其中,所述初始偏振是线性的,所述多个单元中的所述第一组用于将所述多个波中的至少所述第一波的所述初始偏振改变为与所述初始偏振正交。

25.如权利要求23所述的系统,其中,所述初始偏振是圆形的,所述多个单元中的所述第一组用于改变所述多个波中的至少所述第一波的所述初始偏振的旋向性。

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