技术总结
本发明涉及一种法布里‑珀罗滤光片的制备方法，通过在离子束出射窗口和待加工样片之间垂直于离子束出射方向放置开三角形窗口的挡板，沿离子束出射方向三角形顶部与样片一端重合，离子束刻蚀时，样片以某一恒定速率来回运动，经过一定的刻蚀遍数后，可获得垂直于样品运动方向上的厚度差异，获得具有一定斜率的楔形间隔层。将所得楔形间隔层顺时针旋转90度，重复上述实验步骤，在楔形层的基础上再次进行刻蚀，获得一个在二维方向上厚度连续变化的中间腔层。中间腔层在二维方向上均能产生线性的厚度变化。实现二维方向上线性渐变滤光的效果，提高了滤光片的有效使用面积，有利于减小滤光片作为微型光谱仪的分光元件所占空间体积。
技术研发人员：盛斌;罗露雯;陈国华;黄元申
受保护的技术使用者：上海理工大学
文档号码：201611192376
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.05.31