一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法与流程

文档序号:11152846阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,包括有如下步骤:

步骤一、通过超短脉冲光源发出超短飞秒光脉冲;

步骤二、将步骤一发出的超短飞秒光脉冲经过透镜耦合注入氮化硅波导。

2.根据权利要求1所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,在步骤一中,所述超短飞秒光脉冲的重复频率为8-12MHz,中心波长为1.4-2.2微米,半值全宽和峰值功率分别为45-55飞秒和8-12千瓦。

3.根据权利要求2所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,所述超短飞秒光脉冲的重复频率为10MHz,中心波长为1.804微米,半值全宽和峰值功率分别为50飞秒和10千瓦的超短飞秒光脉冲。

4.根据权利要求1所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,在步骤二中,所述氮化硅波导为色散平坦的反向氮化硅脊形/沟槽混合波导,其色散值经过优化配置,在±10ps/(nm·km)范围内带宽达610纳米。

5.根据权利要求1或4所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,所述氮化硅波导的结构包括设置于硅片上的二氧化硅氧化层,所述二氧化硅氧化层刻蚀形成含有单二氧化硅脊的沟槽,并于脊形二氧化硅两侧的沟槽填充氮化硅,最后在整个结构表面再覆盖一层氮化硅的反向结构。

6.根据权利要求5所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,所述沟槽高度为800-1200纳米,所述二氧化硅脊宽度为50-90纳米,其两侧填充氮化硅宽度分别为820-940纳米和290-410纳米,所述氮化硅的反向结构的厚度为15-25纳米。

7.根据权利要求6所述的一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,其特征在于,所述沟槽高度为1000纳米,二氧化硅脊宽70纳米,其两侧氮化硅宽度各为880纳米和350纳米,顶层氮化硅厚度为20纳米。

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