一种曝光机的开合机构的制作方法

本实用新型涉及曝光机领域，尤其涉及一种曝光机的开合机构。

背景技术：

曝光机主要用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求，传统的曝光机的曝光箱盖与曝光箱不能做到紧密贴合，导致曝光精度不够，其结构通常是由上盖和面板直接贴合，合盖时，通过手工开合，上盖与面板没有固定装置固定，一般仅通过气弹簧，但其固定效果差，若不注意会将上盖打开，影响生产。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种曝光机的开合机构，包括机身，所述机身上设有固定板，所述固定板上设有面板，所述面板上设有上盖，所述面板和所述上盖一侧活动连接，所述面板和所述上盖之前设有支撑机构；所述上盖与所述面板开口处设有卡合机构；所述卡合机构包括固定于所述上盖两侧的转轴、位于所述面板两侧的固定柱，所述转轴上套有卡接部，所述卡接部之间设有连杆，所述卡接部勾于所述固定柱上；所述转轴上旋有固定盖，所述固定盖用于压紧所述卡接部；所述卡接部与所述上盖之间的转轴上套有扭簧，所述扭簧一端卡于所述卡接部上，所述卡接部转动压缩所述扭簧。

优选的，所述卡接部包括卡接块本体，所述卡接块本体下部设有卡勾，所述卡勾卡于所述固定柱上。

优选的，所述卡勾底部设有内嵌槽。

优选的，所述面板下部设有推板，所述推板上设于限位柱，所述限位柱对应所述内嵌槽，所述推板下部设有气缸。

优选的，所述上盖上还设有把手，所述把手靠近所述连杆。

优选的，所述支撑机构为气弹簧。

本实用新型提出的曝光机的开合机构有以下有益效果：本曝光机在上盖与面板之间增设了卡接部，开盖时，手持把手和连杆，即可转动卡接部使其与固定柱分离，即可开盖，合盖时，扭簧复原，上盖下压，卡勾下部的内嵌槽卡于限位柱内，实现固定效果，不会有误操作导致上盖打开。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的整机立体结构示意图；

图2为本实用新型的卡合机构的示意图；

图3为图1中A处放大图；

其中，1-机身，2-固定板，3-面板，4-上盖，5-气弹簧，6-转轴，7-固定柱，8-连杆，9-固定盖，10-扭簧，11-卡接块本体，12-卡勾，13-推板，14-限位柱，15-把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1、图2所示，本实用新型提出了一种曝光机的开合机构，包括机身1，所述机身1上设有固定板2，所述固定板2上设有面板3，所述面板3上设有上盖4，所述面板3和所述上盖4一侧活动连接，所述面板3和所述上盖4之前设有支撑机构；所述上盖4与所述面板3开口处设有卡合机构；所述卡合机构包括固定于所述上盖4两侧的转轴6、位于所述面板3两侧的固定柱7，所述转轴6上套有卡接部，所述卡接部之间设有连杆8，所述卡接部勾于所述固定柱7上；所述转轴6上旋有固定盖9，所述固定盖9用于压紧所述卡接部；所述卡接部与所述上盖4之间的转轴6上套有扭簧10，所述扭簧10一端卡于所述卡接部上，所述卡接部转动压缩所述扭簧10，本实用新型的工作方式是：开盖时，转动卡接部，使卡勾12与固定柱7分离，为了更好的操作，在所述上盖4上设有把手15，所述把手15靠近所述连杆8，一人操作时，手同时抓住连杆8和把手15，转动卡接部，卡接部转动后，使得上盖4与面板3分离，上盖4打开时，配合所述支撑机构，即气弹簧5保持上盖4打开状态，当需要闭合上盖4时，将上盖4下压，并复位扭簧10，使得卡勾12卡于固定柱7上实现固定效果；

所述卡接部包括卡接块本体11，所述卡接块本体11下部设有卡勾12，所述卡勾12卡于所述固定柱7上。

如图3所示，为了能够更好的对位和固定，所述卡勾12底部设有内嵌槽，所述面板3下部设有推板13，所述推板13上设于限位柱14，所述限位柱14对应所述内嵌槽，所述推板13下部设有气缸(未画出)，由于工作状态中，气缸会向上推动推板13，气缸启动推动推板13，将推板13上的限位柱14伸于内陷槽内，防止在加工过程中误操作将上盖4打开，只有不工作时气缸收缩，限位柱14与内嵌槽分离。

对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。