四通道太赫兹波功分器的制作方法

文档序号:12457792阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于包括孔状镂空平板(14)、二维周期排列的空气孔光子晶体(13)、信号输入端(1)、第一信号输出端(2)、第二信号输出端(3)、第三信号输出端(4)、第四信号输出端(5)、第一多模光子晶体波导(6)、第二多模光子晶体波导(7)、第三多模光子晶体波导(8)、第一单模光子晶体波导(9)、第二单模光子晶体波导(10)、第三单模光子晶体波导(11)、第四单模光子晶体波导(12);孔状镂空平板(14)中设有二维周期排列的空气孔光子晶体(13),二维周期排列的空气孔光子晶体(13)之间设有信号输入端(1)、第一信号输出端(2)、第二信号输出端(3)、第三信号输出端(4)、第四信号输出端(5),先去除部分五行二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后,孔状镂空平板(14)上分别形成第一多模光子晶体波导(6)、第二多模光子晶体波导(7)、第三多模光子晶体波导(8),再去除部分一行或一列二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后,孔状镂空平板(14)上分别形成第一单模光子晶体波导(9)、第二单模光子晶体波导(10)、第三单模光子晶体波导(11)、第四单模光子晶体波导(12),孔状镂空平板(14)上的信号输入端(1)输入的太赫兹波经第一多模光子晶体波导(6)分为2路,分别经过第一单模光子晶体波导(9)和第二单模光子晶体波导(10)、第三单模光子晶体波导(11)、第四单模光子晶体波导(12)进入第二多模光子晶体波导(7)、第三多模光子晶体波导(8),再经第二多模光子晶体波导(7)、第三多模光子晶体波导(8)分为4路,由此实现4个通道同时输出相等功率的太赫兹波。

2.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的孔状镂空平板(14)的材料为硅,折射率为3.6。

3.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的二维周期排列的空气孔光子晶体(13)是沿平面呈正方形周期性分布的空气孔光子晶体阵列,半径为144~146μm,空气孔圆心之间的距离为292~294μm。

4.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的第一多模光子晶体波导(6)是去除五行二十七列二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后形成的。

5.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的第二多模光子晶体波导(7)、第三多模光子晶体波导(8)是去除五行十九列二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后形成的。

6.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的第一单模光子晶体波导(9)、第二单模光子晶体波导(10)、第四单模光子晶体波导(12)是去除部分一行二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后形成的。

7.根据权利要求1所述的一种四通道太赫兹波功分器,其特征在于所述的第三单模光子晶体波导(11)是去除部分一列二维周期排列的空气孔光子晶体(13)后形成的。

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