曝光方法和聚光透镜以及曝光机与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种曝光方法和聚光透镜以及曝光机，在聚光透镜中加入挡光装置，调节挡光装置以减小聚光透镜的数值孔径，从而提高曝光机的成像焦深，进而得到更加优化的曝光图像，有利于增加产品量产稳定性。

技术研发人员：齐鹏博
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.07.06
技术公布日：2017.10.13