一种匀胶机排风装置的制作方法

本发明涉及匀胶机领域，具体地说是一种匀胶机排风装置。

背景技术：

现有技术中的光刻胶匀胶机均采用真空方式排风，但匀胶机排风装置为手动控制，无法实现自动控制排风开关的功能。此外，现有技术中的匀胶机排风装置内部空间狭小，光刻胶非常容易在装置内壁上凝结，内部维护也极不方便。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种匀胶机排风装置，通过控制气缸的往复运动带动活塞运动，从而实现自动控制排风开关的目的，另外在阀门盒上部设有溶剂槽，溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润，减少光刻胶在装置内壁凝结，保持稳定的排风量，同时也易于装置的内部维护。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种匀胶机排风装置，包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰，其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道，连接筒设置于所述阀门盒任一侧，且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动，在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。

当所述活塞移动至所述连接筒内时，所述排风通道正常排风，当所述活塞移动至所述阀门盒内时，所述排风通道阻断。

所述气缸安装在连接筒外侧。

所述进风盒包括下筒体、中间盒体和两个进风口，所述下筒体一端与所述阀门盒固连，另一端与所述中间盒体固连，两个进风口设置于所述中间盒体上。

所述中间盒体与所述下筒体相连的一端内径逐渐收窄。

所述排风法兰内设有排风口。

本发明的优点与积极效果为：

1、本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动，从而实现自动控制排风开关的目的。

2、本发明在阀门盒上部设有溶剂槽，溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润，减少光刻胶在装置内壁凝结，保持稳定的排风量，同时也易于装置的内部维护。

附图说明

图1为本发明的立体图，

图2为图1中本发明的主视图，

图3为图1中本发明的剖视图，

图4为图3中的a处放大图。

其中，1为进风盒，11为进风口，12为中间盒体，13为下筒体，2为阀门盒，3为连接筒，4为气缸，5为排风法兰，6为活塞，7为溶剂槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～4所示，本发明包括进风盒1、阀门盒2、连接筒3、气缸4、活塞6和排风法兰5，其中进风盒1设置于阀门盒2上端，排放法兰5设置于阀门盒2下端，在所述进风盒1上设有进风口11，在所述排风法兰5内设有排风口，且所述进风盒1、阀门盒2、排风法兰5内部相通形成排风通道，连接筒3设置于所述阀门盒2左右两侧中的任意一侧，且所述连接筒3内部与所述阀门盒2内部相通形成移动通道，所述气缸4安装在连接筒3外侧，所述活塞6设置于所述移动通道中并通过所述气缸4驱动移动，且当所述活塞6移动至所述连接筒3内时，排风通道正常排风，当所述活塞6移动至所述阀门盒2内时，所述进风盒1和排风法兰5被隔开，所述排风通道被阻断。

如图3～4所示，所述阀门盒2与所述进风盒1相连一端的开口内壁上设有溶剂槽7，由于匀胶机排出的气体中含有光刻胶，容易在装置内部凝结后粘在内壁上，所述溶剂槽7中承装有易挥发的溶剂，溶剂挥发后在装置内壁上凝结，可保持装置内部湿润，减少光刻胶粘在内壁上的量，清洁内壁时也更加容易擦拭。本实施例中，所述溶剂槽7中溶剂可以为丙酮或ok73。

如图1～2所示，所述进风盒1包括下筒体13、中间盒体12和两个进风口11，所述下筒体13一端与所述阀门盒2固连，另一端与所述中间盒体12固连，且所述中间盒体12与所述下筒体13相连的一端内径逐渐收窄，两个进风口11设置于所述中间盒体12上。

本发明的工作原理为：

本发明工作时，先将底部的排风法兰5和真空设备相连，并将进风盒1上部的两个进风口11和需要排风的腔体相连，此时气缸4处于初始位(即行程为0处)，活塞6置于连接筒3内，整个装置处于排气状态，气体从上往下依次经过进风盒1、阀门盒2和排风法兰5后被抽走，如图3所示，当气缸4启动并处于最大行程处时，活塞6通过气缸4驱动至阀门盒2内并顶到阀门盒2侧壁，将进风盒1和排风法兰5隔断，从而阻断排风通道。

技术特征：

技术总结
本发明涉及匀胶机领域，具体地说是一种匀胶机排风装置，包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰，其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道，连接筒设置于所述阀门盒任一侧，且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动，在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动，从而实现自动控制排风开关的目的，另外在阀门盒上部设有溶剂槽，溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润，减少光刻胶在装置内壁凝结，保持稳定的排风量，同时也易于装置的内部维护。

技术研发人员：张超;程虎;郭生华;曲征辉
受保护的技术使用者：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
技术研发日：2017.11.09
技术公布日：2019.05.17