技术特征：
技术总结
本发明提供了一种双台光配向装置，包括：照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器，照明单元配置为形成配向区域，第二工件台高于第一工件台的高度，第一驱动单元配置为驱动第一工件台往返于第一待机位和配向区域之间，第二驱动单元配置为驱动第二工件台往返于第二待机位和配向区域之间，控制器分别与第一驱动单元和第二驱动单元连接，以使得第一工件台与第二工件台互不干涉。本发明提供的一种双台光配向装置及配向方法,设定两工件台高度使得工件不在同一高度，通过控制器控制各工件台运动，能够使进行去路或归路移动的工件台与另一方工件台之间不受安全距离的约束，能够高效地进行光配向处理。
技术研发人员：徐亚磊;朱树存
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2019.06.07