双台光配向装置及配向方法与流程

文档序号:17852576发布日期:2019-06-11 22:21阅读:130来源:国知局

本发明涉及光配向领域,尤其是一种双台光配向装置及配向方法。



背景技术:

近年来,以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的配向层的配向处理,采用通过照射规定波长的偏振光来进行配向的方法被称为光配向技术。

在光配向中使用的光配向装置包括:光源;偏振元件,使用来自该光源的光,对沿与光源的长边方向正交的方向被搬运的工件照射偏振光。

在现有技术中,为了提高光配向效率,公开了一种双工件台方式的光配向装置,具体包括:能够在设定于配向区域的一侧的第一待机位与配向区域之间往返移动的第一工件台;以及能够在设定于配向区域的另一侧的第二待机位与配向区域之间往返移动的第二工件台。通过使用第一工件台和第二工件台交替地朝配向区域移动,并对工件台上的工件照射光。

然而,仅仅使一方的工件台的归路移动开始时刻与另一方工件台的去路移动开始时刻同步移动,可能会导致工件台产生干涉,影响光配向的效率。通常,为了不产生干涉,需在两个工件台间预留足够的安全距离,一个工件在配向时,另一方距离配向区域距离很远,当配向完毕时,进行另一个配向需等待较长的时间间隔,延长了光配向装置的空闲时间,进而降低了光配向的效率。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种双台光配向装置及配向方法,以解决现有双台光配向装置双工件台可能存在干涉进而影响光配向效率的问题。

为了达到上述目的,本发明实施例提供了一种双台光配向装置,包括:照明单元、第一工件台、第二工件台、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器,所述照明单元配置为形成配向区域,所述第二工件台高于第一工件台的高度,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,所述控制器分别与所述第一驱动单元和第二驱动单元连接,以使得所述第一工件台与第二工件台互不干涉。

进一步地,所述控制器配置为控制所述第一工件台和第二工件台在配向区域内分别以第一速度运动,在配向区域以外的区域分别以比第一速度高的第二速度运动。

进一步地,所述第一工件台的第一待机位和第二工件台的第二待机位分别位于所述照明单元的两侧。

进一步地,所述控制器配置为控制所述第一工件台及第二工件台在所述配向区域内分别以第一速度运动,在所述配向区域外的归路以比上述第一速度高的第二速度运动,在所述配向区域外的去路,以比所述第一速度高的第二速度从第一待机位或第二待机位移动到相应的停止位,所述停止位分别设置在第一待机位或第二待机位与配向区域之间,且处于归路移动的一方工件台在折返回归时,另一方工件台从相应的待机位或相应的停止位进行去路移动,且另一方工件台以所述第一速度或者以与所述一方工件台相同的速度移动。

进一步地,所述第一工件台在第一待机位与第一折返位之间往返运动,所述第二工件台在第二待机位与第二折返位之间往返运动,所述第一折返位位于所述配向区域与第二待机位之间,所述第二折返位位于所述配向区域与第一待机位之间,所述第一工件台的第一停止位位于所述第一待机位和第二折返位之间,所述第二工件台的第二停止位位于所述第二待机位和第一折返位之间。

进一步地,还包括导轨单元,所述第一工件台和第二工件台分别设置在所述导轨单元上,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台在导轨单元上运动,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台在导轨单元上运动。

本发明还提供了一种双台光配向方法,包括:

提供一配向区域;

控制第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间;

控制第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,第二工件台高于第一工件台的高度;

判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处。

进一步地,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处包括:

判断所述第一工件台或第二工件台是否位于配向区域内,若是,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域内以第一速度运动,若否,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域以外的区域以第二速度运动,其中,第二速度比第一速度高。

进一步地,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处包括:

判断所述第一工件台或第二工件台是否处于归路;

并在判断为是时,继续判断所述第一工件台或第二工件台是否位于配向区域内,若判断位于配向区域内,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域内以第一速度运动,若判断位于配向区域之外,则控制所述第一工件台或第二工件台在配向区域外以第一速度运动,其中,第二速度比第一速度高。

进一步地,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处还包括:

判断所述第一工件台是否处于归路的结果为否时,继续判断所述第二工件台是否处于去路,若所述第二工件台处于去路,则控制所述第二工件台在位于第二待机位及配向区域之间的第二停止位待机。

进一步地,判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处还包括:

判断所述第二工件台是否处于去路的结果为否时,则继续判断所述第二工件台是否位于靠近所述第一待机位一侧的第二折返位,若否,则继续判断所述第一工件台或第二工件台是否位于配向区域内,并执行相应操作;若是,则控制所述第一工件台以所述第一速度或者以与所述第二工件台相同的速度移动。

本发明提供了一种双台光配向装置及配向方法,通过设定两工件台高度的不同,使得工件不在同一高度,通过控制器控制各工件台运动,能够使进行去路或归路移动的工件台与另一方工件台之间不受安全距离的约束,工件台彼此之间不会干涉,并且使得物料尽可能靠近配向区域,减少配向空闲时间,能够高效地进行光配向处理。

附图说明

图1为本发明实施例提供的光配向装置的俯视图;

图2为本发明实施例提供的光配向装置的另一俯视图;

图3为本发明实施例提供的光配向装置的主视图;

图4为本发明实施例提供的第一工件台运动速度标注示意图;

图5为本发明实施例提供的第一工件台光配向方法的流程图;

图6a为本发明实施例提供的第一工件台和第二工件台均处于去向且第一工件台未运动至停止位时的俯视图;

图6b为本发明实施例提供的第一工件台和第二工件台均处于去向且第一工件台未运动至停止位时的主视图;

图7a为本发明实施例提供的第一工件台和第二工件台均处于去向且第一工件台运动至停止位时的俯视图;

图7b为本发明实施例提供的第一工件台和第二工件台均处于去向且第一工件台运动至停止位时的主视图;

图8a为本发明实施例提供的第一工件台处于停止位且第二工件台处于折返位时的俯视图;

图8b为本发明实施例提供的第一工件台处于停止位且第二工件台处于折返位时的主视图。

图中,1:光源,2:工件,10:偏振元件,11:配向区域,20a/20b:第一导轨,21a/21b:第二导轨,22a:第一工件台,22b:第二工件台,30:控制器,d11:第一待机位,d12:第一停止位,d13:第一折返位,d21:第二待机位,d22:第二停止位,d23:第二折返位,v1:第一速度,v2:第二速度。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

如图1至图3所示,本发明实施例提供了一种双台光配向装置,包括:照明单元、第一工件台22a、第二工件台22b、第一驱动单元、第二驱动单元和控制器30,所述照明单元配置为形成配向区域11,所述第二工件台22b高于第一工件台22a的高度,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台22a往返于第一待机位d11和所述配向区域11之间,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台22b往返于第二待机位d21和所述配向区域11之间,所述控制器30分别与所述第一驱动单元和第二驱动单元连接,以使得所述第一工件台22a与第二工件台22b互不干涉。

照明单元具体包括光源1和偏振元件10,光源1的光经偏振元件10后形成配向区域11,放置在第一工件台22a或第二工件台22b上的工件2可以在相应的待机位处进行工件2的更换、对准作业,并随着相应的工件台运动至配向区域11进行配向。

由于采用具备承载工件的两个工件台,故可以对各个工件交替地照射光,在朝一方的工件台照射光的期间,能够进行另一方的工件台的工件更换作业等。因此,与仅有一个工件台的情况相比,能够减少生产时间间隔,能够提高生产率。而与现有双工件台的方案相比,由于本实施例中的双工件台存在高度差,在通过一个工件台进行配向的过程中,可以进行另一个工件台的操作,无需预留较长的安全空间,也无需耗费较长的等待时间,因此提升了光配向的效率;并且,由于使在配向区域外进行去路移动的工件台先移动到目标停止位,此时由于高度差,两工件台不受安全距离约束,即使当在第一工件台22a与第二工件台22b之间存在移动速度差的情况下,也能够通过控制器30采用足够精确的控制策略使得不会发生工件台之间的干涉,因此能够高效地进行光配向处理。

可以将所述控制器30配置为控制所述第一工件台22a和第二工件台22b在配向区域11内分别以第一速度v1运动,在配向区域11以外的区域分别以比第一速度v1高的第二速度v2运动。在配向区域内,为了获取规定的较大曝光剂量(如1500mj/cm2),工件台需要以较低的速度移动。而为提升效率,加快配向区域以外的移动速度,能够减小配向区域等待工件的时间,从而提升整体配向效率。进一步地,所述第一工件台22a的第一待机位d11和第二工件台22b的第二待机位d21分别位于所述照明单元的两侧。

考虑到第一工件台22a和第二工件台22b可以配置为不同的速度运动,第一工件台22a和第二工件台22b仍然存在干涉的风险,因为有必要提供一种安全可靠的控制策略,使得第一工件台22a和第二工件台22b不干涉。

进一步地,所述控制器30配置为控制所述第一工件台22a及第二工件台22b在所述配向区域11内分别以第一速度v1运动,在所述配向区域11外的归路以比上述第一速度v1高的第二速度v2运动,在所述配向区域11外的去路(从第一待机位d11或第二待机位d21运动至配向区域11的方向),以比所述第一速度v1高的第二速度v2从第一待机位d11或第二待机位d21移动到相应的停止位,所述停止位分别设置在第一待机位d11或第二待机位d21与配向区域11之间,且处于归路(从配向区域11返回至相应的第一待机位d11或第二待机位d21的方向)移动的一方工件台在折返回归时,另一方工件台从相应的停止位进行去路移动,且另一方工件台以所述第一速度v1或者以与所述一方工件台相同的速度移动。

进一步地,所述第一工件台22a在第一待机位d11与第一折返位d13之间往返运动(d11至d13为去路,d13至d11为归路),所述第二工件台22b在第二待机位d21与第二折返位d23之间往返运动(d21至d23为去路,d23至d21为归路),所述第一折返位d13位于所述配向区域11与第二待机位d21之间,所述第二折返位d23位于所述配向区域11与第一待机位d11之间,所述第一工件台22a的第一停止位d12位于所述第一待机位d11和第二折返位d23之间,所述第二工件台22b的第二停止位d22位于所述第二待机位d21和第一折返位d13之间。由于折返位位于相应工件台的另一侧,所以该工件台可以在去路时通过一次配向区域,还可以在归路时也通过一次配向区域,增加了配向时间,提高了配向效率。

在本实施例中,请参考图3,第一折返位d13可以与第二停止位d22设置为同一位置,第二折返位d23可以与第一停止位d12设置为同一位置,但不限于此,第一折返位d13可以与第二停止位d22之间设置有间隔,第二折返位d23可以与第一停止位d12之间设置有间隔,具体地,折返位可以比停止位更靠近配向区域11,停止位也可以比折返位更靠近配向区域11。

请参考图5,以对第一工件台22a的控制策略为例:

若判断第一工件台22a处于归路,则控制第一工件台22a以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域;

如图6a、6b、7a和7b所示,若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b也处于去路,则控制第一工件台22a停止在第一停止位d12,控制第二工件台22b继续运动(以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域),能够确保第二工件台22b不会与第一工件台22a干涉;

如图8a和图8b所示,若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b已经处于第二折返位d23,则按通常的速度控制配置为以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域,即此时第一工件台22a速度为v2且处于去向,第二工件台22b的速度也为v2且处于归路,随着第二工件台22b在归路方向进入配向区域11,第二工件台22b此时速度变为v1,第一工件台22a进入配向区域11后速度也变为v1,第一工件台22a实质是在以相同的速度跟随第二工件台22b,第一工件台22a和第二工件台22b并未有干涉风险;

若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b已经处于第二折返位d23,与上面第一工件台22a跟随第二工件台22b的方案不同,如图4所示,也可以控制第一工件台22a以恒定的第一速度v1进行去路移动,由于第二工件台22b在归路进入配向区域11前速度为较高的第二速度v2,所以第一工件台22a不会存在与第二工件台22b碰撞的风险,进一步提高了安全性,避免了因碰撞而影响配向效率的情况。

在本实施例中,请参考图2,第一工件台22a的移动区间(d11~d12)的y方向距离l1与第二工件台22b的移动区间(d21~d22)的y方向距离l3设定为大致相等,第一工件台22a的移动区间(d12~d13)的y方向距离l2与第二工件台22b的移动区间(d22~d23)的y方向距离l4设定为大致相等。并且,在第一工件台22a的第一待机位d11与第二折返位d23之间确保有第二工件台22b沿着z方向旋转移动而行程的任意姿态也能够通过配向区域11的量以上的空间。同样,在第二工件台22b的第二待机位d21与第一折返位d13之间确保有第一工件台沿着z方向旋转移动而行程的任意姿态也能够通过配向区域11的量以上的空间。

在本实施例中,所述配向装置还包括导轨单元,所述第一工件台22a和第二工件22b台分别设置在所述导轨单元上,所述第一驱动单元配置为驱动所述第一工件台22a在导轨单元上运动,所述第二驱动单元配置为驱动所述第二工件台22b在导轨单元上运动。

进一步地,该导轨单元具体包括第一导轨20a/20b和第二导轨21a/21b,第一工件台22a在第一导轨20a/20b上运动,第二工件台22b在第二导轨21a/21b上运动。第一导轨和第二导轨均可以采用丝杆导轨结构(图1仅仅是简要示意导轨结构,并未完整表现出丝杆导轨详细结构),丝杆导轨结构包括丝杆和导轨本体,设置两个丝杆,并将第一工件台22a和第二工件台22b分别连接在相应的丝杆上,第一工件台22a和第二工件台22b可以设置两套导轨本体使得第一工件台22a和第二工件台22b分别在相应的导轨本体上运动,也可以共用一套导轨本体。为了防止干涉,优先选择设置两套导轨本体,第一工件台22a对应的导轨本体设置在内侧。以第一工件台22a为例,第一工件台22a与丝杆连接,并能够在导轨本体上运动,通过例如为电机的第一驱动单元驱动丝杆运动,进而使得第一工件台22a能够在导轨本体上运动。

本发明还提供了一种双台光配向方法,包括:

提供一配向区域;

控制第一工件台往返于第一待机位和所述配向区域之间;

控制第二工件台往返于第二待机位和所述配向区域之间,第二工件台高于第一工件台的高度;

判断所述第一工件台和第二工件台的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台和第二工件台运动或停止在相应的停止位处。

可以光源1的光经偏振元件10后形成配向区域11,放置在第一工件台22a或第二工件台22b上的工件2可以在相应的待机位处进行工件2的更换、对准作业,并随着相应的工件台运动至配向区域11进行配向。

由于采用具备承载工件的两个工件台,故可以对各个工件交替地照射光,在朝一方的工件台照射光的期间,能够进行另一方的工件台的工件更换作业等。因此,与仅有一个工件台的情况相比,能够减少生产时间间隔,能够提高生产率。而与现有双工件台的方案相比,由于本实施例中的双工件台存在高度差,在通过一个工件台进行配向的过程中,可以进行另一个工件台的操作,无需预留较长的安全空间,也无需耗费较长的等待时间,因此提升了光配向的效率;并且,由于使在配向区域外进行去路移动的工件台先移动到目标停止位,此时由于高度差,两工件台不受安全距离约束,即使当在第一工件台22a与第二工件台22b之间存在移动速度差的情况下,也能够通过控制器30采用足够精确的控制策略使得不会发生工件台之间的干涉,因此能够高效地进行光配向处理。

在一实施例中,判断所述第一工件台22a和第二工件台22b的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台22a和第二工件台22b运动或停止在相应的停止位处包括:

判断所述第一工件台22a或第二工件台22b是否位于配向区域11内,若是,则控制所述第一工件台22a或第二工件台22b在配向区域11内以第一速度v1运动,若否,则控制所述第一工件台22a或第二工件台22b在配向区域11以外的区域以第二速度v2运动,其中,第二速度v2比第一速度高v1。

可以通过所述控制器控制所述第一工件台22a和第二工件台22b在配向区域11内分别以第一速度v1运动,在配向区域11以外的区域分别以比第一速度v1高的第二速度v2运动。在配向区域内,为了获取规定的较大曝光剂量(如1500mj/cm2),工件台需要以较低的速度移动。而为提升效率,加快配向区域以外的移动速度,能够减小配向区域等待工件的时间,从而提升整体配向效率。

进一步地,所述第一工件台22a的第一待机位d11和第二工件台22b的第二待机位d21分别位于所述照明单元的两侧。

考虑到第一工件台22a和第二工件台22b可以配置为不同的速度运动,第一工件台22a和第二工件台22b仍然存在干涉的风险,因为有必要提供一种安全可靠的控制策略,使得第一工件台22a和第二工件台22b不干涉。

在本实施例中,判断所述第一工件台22a和第二工件台22b的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台22a和第二工件台22b运动或停止在相应的停止位处包括:

判断所述第一工件台22a或第二工件台22b是否处于归路;

并在判断为是时,继续判断所述第一工件台22a或第二工件台22b是否位于配向区域内,若判断位于配向区域内,则控制所述第一工件台22a或第二工件台22b在配向区域11内以第一速度v1运动,若判断位于配向区域11之外,则控制所述第一工件台22a或第二工件台22b在配向区域11外以第一速度运动,其中,第二速度v2比第一速度v1高。

进一步地,判断所述第一工件台22a和第二工件台22b的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台22a和第二工件台22b运动或停止在相应的停止位处还包括:

判断所述第一工件台22a是否处于归路的结果为否时,继续判断所述第二工件台22b是否处于去路,若所述第二工件台22b处于去路,则控制所述第二工件台22b在位于第二待机位d21及配向区域11之间的第二停止位d22待机。

进一步地,判断所述第一工件台22a和第二工件台22b的位置,根据获取的位置信息分别驱动所述第一工件台22a和第二工件台22b运动或停止在相应的停止位处还包括:

判断所述第二工件台22b是否处于去路的结果为否时,则继续判断所述第二工件台是否位于靠近所述第一待机位一侧的第二折返位d23,若否,则继续判断所述第一工件台22a或第二工件台22b是否位于配向区域内,并执行相应操作;若是,则控制所述第一工件台22a以所述第一速度或者以与所述第二工件台22b相同的速度移动。进一步地,通过所述控制器30控制所述第一工件台22a及第二工件台22b在所述配向区域内分别以第一速度v1运动,在所述配向区域11外的归路以比上述第一速度v1高的第二速度v2运动,在所述配向区域11外的去路(从第一待机位d11或第二待机位d21运动至配向区域11的方向),以比所述第一速度v1高的第二速度v2从第一待机位d11或第二待机位d21移动到相应的停止位,所述停止位分别设置在第一待机位或第二待机位与配向区域之间,且处于归路(从配向区域11返回至相应的第一待机位d11或第二待机位d21的方向)移动的一方工件台在折返回归时,另一方工件台从相应的停止位进行去路移动,且另一方工件台以所述第一速度v1或者以与所述一方工件台相同的速度移动。

进一步地,所述第一工件台22a在第一待机位d11与第一折返位d13之间往返运动(d11至d13为去路,d13至d11为归路),所述第二工件台22b在第二待机位d21与第二折返位d23之间往返运动(d21至d23为去路,d23至d21为归路),所述第一折返位d13位于所述配向区域11与第二待机位d21之间,所述第二折返位d23位于所述配向区域11与第一待机位d11之间,所述第一工件台22a的第一停止位d12位于所述第一待机位d11和第二折返位d23之间,所述第二工件台22b的第二停止位d22位于所述第二待机位d21和第一折返位d13之间。由于折返位位于相应工件台的另一侧,所以该工件台可以在去路时通过一次配向区域,还可以在归路时也通过一次配向区域,增加了配向时间,提高了配向效率。

在本实施例中,请参考图3,第一折返位d13可以与第二停止位d22设置为同一位置,第二折返位d23可以与第一停止位d12设置为同一位置,但不限于此,第一折返位d13可以与第二停止位d22之间设置有间隔,第二折返位d23可以与第一停止位d12之间设置有间隔,具体地,折返位可以比停止位更靠近配向区域11,停止位也可以比折返位更靠近配向区域11。

请参考图5,以对第一工件台22a的控制策略为例:

若判断第一工件台22a处于归路,则控制第一工件台22a以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域;

如图6a、6b、7a和7b所示,若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b也处于去路,则控制第一工件台22a停止在第一停止位d12,控制第二工件台22b继续运动(以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域),能够确保第二工件台22b不会与第一工件台22a干涉;

如图8a和图8b所示,若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b已经处于第二折返位d23,则按通常的速度控制配置为以第一速度v1通过配向区域,以第二速度v2通过其他区域,即此时第一工件台22a速度为v2且处于去向,第二工件台22b的速度也为v2且处于归路,随着第二工件台22b在归路方向进入配向区域11,第二工件台22b此时速度变为v1,第一工件台22a进入配向区域11后速度也变为v1,第一工件台22a实质是在以相同的速度跟随第二工件台22b,第一工件台22a和第二工件台22b并未有干涉风险;

若判断第一工件台22a处于去路,且第二工件台22b已经处于第二折返位d23,与上面第一工件台22a跟随第二工件台22b的方案不同,如图4所示,也可以控制第一工件台22a以恒定的第一速度v1进行去路移动,由于第二工件台22b在归路进入配向区域11前速度为较高的第二速度v2,所以第一工件台22a不会存在与第二工件台22b碰撞的风险,进一步提高了安全性,避免了因碰撞而影响配向效率的情况。

在本实施例中,请参考图2,第一工件台22a的移动区间(d11~d12)的y方向距离l1与第二工件台22b的移动区间(d21~d22)的y方向距离l3设定为大致相等,第一工件台22a的移动区间(d12~d13)的y方向距离l2与第二工件台22b的移动区间(d22~d23)的y方向距离l4设定为大致相等。并且,在第一工件台22a的第一待机位d11与第二折返位d23之间确保有第二工件台22b沿着z方向旋转移动而行程的任意姿态也能够通过配向区域11的量以上的空间。同样,在第二工件台22b的第二待机位d21与第一折返位d13之间确保有第一工件台沿着z方向旋转移动而行程的任意姿态也能够通过配向区域11的量以上的空间。

在本实施例中,将所述第一工件台22a和第二工件台22b分别设置在导轨单元上,通过所述控制器30控制第一驱动单元驱动所述第一工件台22a在导轨单元上运动,通过所述控制器30控制第二驱动单元驱动所述第二工件台22b在导轨单元上运动。

进一步地,该导轨单元具体包括第一导轨20a/20b和第二导轨21a/21b,第一工件台22a在第一导轨20a/20b上运动,第二工件台22b在第二导轨21a/21b上运动。第一导轨和第二导轨均可以采用丝杆导轨结构(图1仅仅是简要示意导轨结构,并未完整表现出丝杆导轨详细结构),丝杆导轨结构包括丝杆和导轨本体,设置两个丝杆,并将第一工件台22a和第二工件台22b分别连接在相应的丝杆上,第一工件台22a和第二工件台22b可以设置两套导轨本体使得第一工件台22a和第二工件台22b分别在相应的导轨本体上运动,也可以共用一套导轨本体。为了防止干涉,优先选择设置两套导轨本体,第一工件台22a对应的导轨本体设置在内侧。以第一工件台22a为例,第一工件台22a与丝杆连接,并能够在导轨本体上运动,通过例如为电机的第一驱动单元驱动丝杆运动,进而使得第一工件台22a能够在导轨本体上运动。

本发明提供了一种双台光配向装置及配向方法,通过设定两工件台高度的不同,使得工件不在同一高度,通过控制器控制各工件台运动,能够使进行去路或归路移动的工件台与另一方工件台之间不受安全距离的约束,工件台彼此之间不会干涉,并且使得物料尽可能靠近配向区域,减少配向空闲时间,能够高效地进行光配向处理。

上述仅为本发明的优选实施例而已,并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员,在不脱离本发明的技术方案的范围内,对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动,均属未脱离本发明的技术方案的内容,仍属于本发明的保护范围之内。

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