一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法与流程

文档序号:14750698发布日期:2018-06-22 13:13阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法,其特征在于:先在反射镜表面蒸镀一层结合层,再蒸镀一层金属反射层,最后蒸镀多层介质增强膜。

2.根据权利要求1所述一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法,其特征在于:所述蒸镀方法为电子束蒸镀。

3.根据权利要求2所述一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法,其特征在于:所述结合层材料为一氧化硅,厚度为100nm~150nm;所述金属反射层材料为铝,厚度为120nm~150nm;所述介质增强膜材料为SiO/Ge/SiO/Ge,厚度依次为500nm~600nm,200nm~300nm,500nm~600nm,200nm~300nm。

4.根据权利要求3所述一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:采用酒精和乙醚的混合液浸湿脱脂棉清洗反射镜,以去除表面杂物、油污和辅料;

步骤2:将反射镜固定至夹具上,放置真空室,抽真空,当腔体内压强小于2×10-2Pa后,加热反射镜基底至140℃~160℃,保温30min;

步骤3:用APS源轰击反射镜5~8分钟;

步骤4:蒸镀结合层一氧化硅,蒸镀时真空室压强小于5×10-3Pa,蒸发速率为0.5~1.5nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为100nm~150nm;

步骤5:关闭真空室加热器,自然冷却,温度低于50℃时蒸镀铝,蒸发速率为3~10nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为120nm~150nm;

步骤6:开启真空室加热器,加热反射镜基底至140℃~160℃,保温30min;

步骤7:蒸镀一氧化硅,蒸镀时真空室压强小于5×10-3Pa,蒸发速率为0.5~1.5nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为500nm~600nm;

步骤8:蒸镀锗,蒸镀时真空室压强小于5×10-3Pa,蒸发速率为0.2~0.5nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为200nm~300nm;

步骤9:蒸镀一氧化硅,蒸镀时真空室压强小于5×10-3Pa,蒸发速率为0.5~1.5nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为500nm~600nm;

步骤10:蒸镀锗,蒸镀时真空室压强小于5×10-3Pa,蒸发速率为0.2~0.5nm/s,膜层厚度采用晶振法监控,厚度为200nm~300nm;

步骤11:真空室冷却至室温后取出镀有介质增强金属反射膜的反射镜,该反射镜为具有Sub|LMLHLH膜系,其中Sub代表基底,H代表锗、L代表一氧化硅、M代表铝。

5.根据权利要求4所述一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法,其特征在于:中波红外介质增强金属高反膜的反射波段为3~5μm。

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