一种制作微流道的方法与流程

本发明涉及一种制作微流道的方法。

背景技术：

微流道，是指具有微小流道的结构，又成为微流控芯片，可在微米尺度对流体进行操控。微流控技术可应用于生物、化学、医药等领域。

制作微流道的方法有光刻、热压等方法，制作工艺繁琐，成本高。

本发明公开了一种制作微流道的方法，具有制作简单、成型快速的特点。

技术实现要素：

本发明公开了一种制作微流道芯片的方法，方法简单，可以快速成型。

为实现本发明的目的，本发明公开了一种制作微流道的方法，其特征在于，该方法包含：平行紫外光透过掩模板照射到透明成型基板，其中成型基板覆盖在光敏树脂表面，通过控制紫外光辐照时间和角度，光敏树脂种类，掩模板图案等得到所需的固化层，固化层与基板构成微流控芯片。

所述平行紫外光101，是指发散角α＜10°的紫外光，优选α＜5°，更优选α＜0.5°。

所述紫外光，其特征在于，其波长为200-480nm的单波段紫外光。

所述紫外光，其特征在于，其波长为200-480nm的波谱式紫外光。

所述紫外光，其特征在于，其入射角度10°≤β≤90°，其中入射角是指光源中心轴与掩模板面垂线的夹角。

所述透明基板103，是指固化层的成型承载体，其特征在于，透明基板厚度为0.1-6mm。所述透明基板为玻璃，石英板，亚克力板，聚碳酸酯板等，但不限于上述材质。

所述透明基板，其特征在于，透明基板下表面与光敏树脂接触。

所述透明基板，其特征在于，其上表面与掩模板的距离0mm＜l1＜10mm。

所述的掩模板，是指具有贯通空隙结构的基板，空隙部分可透射紫外线，非空隙部分106可阻挡紫外光的透射，其特征在于，其厚度为0.1-6mm。

所述的掩模板102，其特征在于，其非空隙部分线条宽度大于1微米。

所述固化层104，是指紫外光透过掩模板和基板后激发与透明基板下表面接触的树脂发生固化所形成的薄膜，其特征在于，其厚度为0.1微米＜l2＜1000微米。

所述固化层，其特征在于，所形成的孔道107的宽度1微米＜d2＜1000微米。

所述固化层，其特征在于，所形成孔道侧壁延长线与透明基板面垂线的夹角0°≤γ≤60°，优选的为0°≤γ≤20°。

所述光敏树脂105，是指在紫外光照射下可发生固化的材料体系。

附图说明

图1是制作微流道工艺示意图

图2是微流道结构示意图

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种制作微流道芯片的方法。该方法包含：平行紫外光透过掩模板照射到成型基板，其中成型基板浸入光敏树脂中或者覆盖在光敏树脂表面，通过控制紫外光辐照时间和角度，光敏树脂种类，掩模板图案等得到所需的微流控芯片。该方便具有操作简单，传成型快速等特点。

技术研发人员：孙雷
受保护的技术使用者：北京德瑞工贸有限公司
技术研发日：2017.12.29
技术公布日：2019.07.09