在制造过程中引导过程模型和检查的方法与流程

技术特征：

技术总结
一种用于诸如减少校准时间、改进模型的精确度以及改进整个制造过程的各种目的的方法，其中通过两个不同的过程模型模拟图像的特性的偏差或通过过程模型模拟且通过量测工具测量所述特性的偏差。

技术研发人员：曹宇;邹毅;林晨希
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2017.12.13
技术公布日：2019.08.13