涂布口金组件及涂布口金系统的制作方法

本发明涉及光阻清洗领域，具体涉及一种涂布口金组件及涂布口金系统。

背景技术

tft-lcd、oled等半导体显示领域的诸多制程中，光阻通过涂布机均匀涂布在基板表面，然后经过曝光形成各种面内图案，涂布时光阻的膜质厚度及成膜均一性会极大地影响各层像素图案质量。涂布机在进行光阻涂布后，往往会有多余光阻残留在gantry口金外侧，如果未完全清理干净，下次作业时可能会导致光阻涂布异常，如出现mura，更严重时甚至会发生破膜现象，影响涂布制程的顺利进行和产能提升。

目前，主要通过人员手动擦拭及擦除件自动刮拭以进行gantry口外侧光阻残清除，但是上述应对方式有时也存在以下的问题：

手动清理效率低下且清除效果因人而已，整体稳定性差。此外，频繁进入涂布机内部进行清理作业，人员不可避免地吸入部分光阻及溶剂挥发成分，这会对作业人员身体造成一定的伤害；

自动rubber清理虽然作业效率相对较高，但由于rubber是独立于gantry之外的活动机构部件(如图1所示)，其与gantry的贴合程度(关乎刮拭干净程度)容易受到机况的影响，如果发生相对位置偏离，则有可能使rubber出现单侧磨损，导致gantry刮拭不干净，从而造成光阻涂布异常和产品不良。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

技术实现要素：

本发明实施例的目的是提供一种涂布口金组件及涂布口金系统，具有自动清洗去除光阻残留的效果。

本发明提供了一种涂布口金组件，包括：

涂布口金，其具有条形的支架以及设置于该支架上的涂布口金本体，该涂布口金本体的两个相互倾斜连接的侧面上分别设置有导轨，该导轨沿着该涂布口金本体的长度方向延伸；

两个擦除组件，该两个擦除组件分别设置于该两个侧面上的导轨上并可沿着对应的导轨滑动；

所述擦除组件包括擦除机构、鼓风头以及喷液嘴，所述擦除机构贴覆在一所述侧面上并与所述导轨滑动连接，所述鼓风头以及所述喷液嘴分别位于所述擦除机构两侧且均与所述导轨滑动连接。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述擦除机构包括可沿着所述侧面的长度方向滑动的滑块以及设置于所述滑块上且可沿着所述侧面的宽度方向滑动的擦除片，所述擦除片与所述侧面的局部贴合。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述导轨为开设于所述侧面上的凹槽，所述滑块可滑动地插设于所述凹槽内。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述擦除片的宽度大于所述侧面宽度的一半。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述鼓风头以及喷液嘴均设置于所述滑块上。

在本发明所述的涂布口金组件中，还包括用于驱动所述滑块沿着所述长度方向移动的驱动组件，所述驱动组件设置于所述凹槽内。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述擦除片呈矩形片状。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述擦除片的与所述侧面接触的一面设置有弹性层。

在本发明所述的涂布口金组件中，所述侧面上开设有多个沿着宽度方向延伸的用于导引清洗液的导流槽。

一种涂布口金系统，包括鼓风机、清洗液提供装置以及涂布口金组件；

所述鼓风机通过风管与所述涂布口金组件的鼓风头可拆卸连接，所述清洗液提供装置通过导管与所述涂布口金组件的喷液嘴连通。

本发明通过将该两个擦除组件分别设置于该两个侧面上的导轨上并可沿着对应的导轨滑动；所述擦除组件包括擦除机构、鼓风头以及喷液嘴，所述擦除机构贴覆在一所述侧面上并与所述导轨滑动连接，所述鼓风头以及所述喷液嘴分别位于所述擦除机构两侧且均与所述导轨滑动连接，从而可以对涂布口金进行自动清理。

附图说明

图1是本发明实施例中的涂布口金组件的一种结构示意图。

图2是本发明实施例中的涂布口金组件的另一种结构示意图。。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参照图1以及图2，图1是本发明一实施例中的一种涂布口金组件的结构示意图，涂布口金组件包括：涂布口金10以及两个擦除组件20。两个擦除组件20分别设置于该涂布口金10的两个侧面上。

其中，该涂布口金10具有条形的支架11以及设置于该支架11上的涂布口金本体12，该涂布口金本体12的两个相互倾斜连接的侧面121上分别设置有导轨1211，该导轨1211沿着该涂布口金本体12的长度方向延伸，在本实施例中，该导轨1211为凹槽，当然其也可以为凸起。

该两个擦除组件20分别设置于该两个侧面121上的导轨1211上并可沿着对应的导轨1211滑动，也即是沿着该侧面的长度方向滑动。

具体地，该擦除组件20包括擦除机构21、鼓风头22以及喷液嘴23，该擦除机构21贴覆在一所述侧面121上并与所述导轨1211滑动连接，所述鼓风头22以及所述喷液嘴23分别位于所述擦除机构21两侧且均与所述导轨1211滑动连接。

具体地，该擦除机构20包括可沿着所述侧面的长度方向滑动的滑块以及设置于所述滑块上且可沿着所述侧面的宽度方向滑动的擦除片，所述擦除片与所述侧面的局部贴合。滑块可滑动地插设于所述凹槽内。擦除片呈矩形片状。擦除片可以在宽度方向调整至对应残留光阻所在的高度上，然后滑动该擦除片即可擦除。

该擦除片的宽度大于该侧面121的宽度的一半。鼓风头22以及喷液嘴23均设置于该滑块上。擦除机构20还包括用于驱动所述滑块沿着该侧面的长度方向移动的驱动组件，所述驱动组件设置于所述凹槽内且与该滑块连接。

擦除片的与所述侧面接触的一面设置有弹性层，以实现与该侧面的紧贴。

在一些实施例中，该侧面121上开设有多个沿着宽度方向延伸的用于导引清洗液的导流槽。

使用时，启动擦除组件20刮拭后，设置于侧面上的擦除片从待机位置移动至需要刮拭的位置后，驱动组件驱动该滑块再沿导轨1211运动，此时出喷液嘴23喷洒溶剂(鼓风头22未开启)，使侧壁上光阻残稀释溶胀，然后擦除片通过刮拭除去溶胀稀释后的残留光阻。

擦除片刮拭过程中，可能会发生残留光阻粘于擦除片上的情况，出液头持续喷洒出的溶剂同时可以对擦除片进行反复润洗，使其处于相对洁净的状态，以保证擦除组件20刮拭清洁效果。

擦除片按设定次数来回刮拭除去涂布口金本体12上的光阻残留，喷液嘴23的同步润洗也已经完成，此时鼓风头22开启工作状态，其沿导轨121运动的过程中，可以同时完成对涂布口金本体12及擦除片上的溶剂风干清理。

本发明通过将该两个擦除组件分别设置于该两个侧面上的导轨上并可沿着对应的导轨滑动；所述擦除组件包括擦除机构、鼓风头以及喷液嘴，所述擦除机构贴覆在一所述侧面上并与所述导轨滑动连接，所述鼓风头以及所述喷液嘴分别位于所述擦除机构两侧且均与所述导轨滑动连接，从而可以对涂布口金进行自动清理。

本发明还提供了一种涂布口金系统，包括鼓风机、清洗液提供装置以及涂布口金组件；所述鼓风机通过风管与所述涂布口金组件的鼓风头可拆卸连接，所述清洗液提供装置通过导管与所述涂布口金组件的喷液嘴连通。涂布口金组件；为上述实施例中的涂布口金组件。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。