技术特征:
技术总结
本发明提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法,能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备:光源(11);导光光纤(20),具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22);透镜单元(30),具有偏振元件(34),并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射,以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34);及倾斜照射机构(40),以任意的角度固定透镜单元(30),以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。
技术研发人员:石井一正
受保护的技术使用者:优志旺电机株式会社
技术研发日:2018.08.17
技术公布日:2019.03.05