一种用于显示面板的制造设备和清洗方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于显示面板的制造设备和清洗方法。

背景技术：

随着科技的发展和进步，液晶显示器由于具备机身薄、省电和辐射低等热点而成为显示器的主流产品，得到了广泛应用。现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶面板及背光模组(backlightmodule)。液晶面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，并在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

其中，薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay，tft-lcd)由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能，目前已经逐渐占据了显示领域的主导地位。同样，薄膜晶体管液晶显示器包含液晶面板和背光模组，液晶面板包括彩膜基板(colorfiltersubstrate，cfsubstrate，也称彩色滤光片基板)、薄膜晶体管阵列基板(thinfilmtransistorsubstrate，tftsubstrate)和光罩(mask)，上述彩膜基板和阵列基板的相对内侧存在透明导电薄膜。

在液晶显示面板的制造过程，制造设备上有些管道的出料口或出风口容易被制造过程中的药液附着结晶，堵塞出料口或出风口，严重影响显示面板制程的稳定性，从而降低了显示面板的良率，最终造成成本增大。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是提供一种提高显示面板制程的稳定性的用于显示面板的制造设备和清洗方法。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于显示面板的制造设备，包括：

机台，用于承载和传送玻璃基板；

工作管道，设在所述机台的上方，用于输送物料作用于所述玻璃基板；

供气装置，与所述工作管道通过供气管路连通；

供液装置，与所述工作管道通过供液管路连通；

其中，所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置，所述供气管路上设有第一自动阀，所述供液管路上设有第二自动阀，所述检测装置与所述第一自动阀和所述第二自动阀耦接。

可选的，所述供液装置包括第一供液装置，所述第一供液装置包括第一进液口和设置在第一进液口和所述第二自动阀之间的第一手动阀，所述第一进液口和第一手动阀设置在所述供液管路上，所述第一供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第一料液。

可选的，所述供液装置包括第二供液装置，所述第二供液装置包括第二进液口和设置在第二进液口和所述第二自动阀之间的第二手动阀，所述第二进液口和第二手动阀设置在所述供液管路上，所述第二供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第二料液。

可选的，所述供气装置包括进气口、调压阀、和第三手动阀，所述进气口、调压阀、和第三手动阀设置在所述供气管路上，所述调压阀靠近所述进气口，所述第三手动阀靠近所述工作管道，所述第一自动阀位于所述调压阀和所述第三手动阀之间，所述供气装置通过所述供气管路向所述工作管道输出压缩气体。

可选的，所述工作管道靠近所述机台的一侧设置有风刀口，所述工作管道靠近所述机台的一端与所述机台的距离大于所述玻璃基板的厚度，所述风刀口为长条状开口，所述风刀口与所述工作管道的设置方向一致，所述风刀口的长度大于所述玻璃基板与所述风刀口对应方向的长度，且小于所述工作管道的长度。

可选的，所述工作管道靠近所述机台的一端与所述机台的距离大于所述玻璃基板的厚度，所述工作管道的内部设置有将所述工作管道分成两个独立管道的挡板，所述工作管道包括第一管道和第二管道，所述第一管道靠近所述机台的一侧设置有风刀口，所述第二管道靠近所述机台的一侧设置有一组通孔，所述第一管道和所述第二管道不同时工作。

为实现上述目的，本发明还提供了一种用于显示面板的制造设备，包括：

机台，用于承载和传送玻璃基板；

工作管道，设在所述机台的上方，用于输送物料作用于所述玻璃基板，所述工作管道靠近所述机台的一侧设置有风刀口，所述工作管道靠近所述机台的一端与所述机台的距离大于所述玻璃基板的厚度，所述风刀口为长条状开口，所述风刀口与所述工作管道的设置方向一致，所述风刀口的长度大于所述玻璃基板与所述风刀口对应方向的长度，且小于所述工作管道的长度；

供气装置，与所述工作管道通过供气管路连通，所述供气装置包括进气口、调压阀、第一自动阀和第三手动阀，所述进气口、调压阀、第一自动阀和第三手动阀设置在所述供气管路上，所述调压阀靠近所述进气口，所述第三手动阀靠近所述工作管道，所述第一自动阀位于所述调压阀和所述第三手动阀之间，所述供气装置通过所述供气管路向所述工作管道输出压缩气体；

供液装置，与所述工作管道通过供液管路连通，所述供液管路上设有第二自动阀；

所述供液装置包括第一供液装置，所述第一供液装置包括第一进液口和设置在第一进液口和所述第二自动阀之间的第一手动阀，所述第一进液口和第一手动阀设置在所述供液管路上，所述第一供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第一料液；

所述供液装置包括第二供液装置，所述第二供液装置包括第二进液口和设置在第二进液口和所述第二自动阀之间的第二手动阀，所述第二进液口和第二手动阀设置在所述供液管路上，所述第二供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第二料液；

其中，所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置，所述检测装置与所述第一自动阀和所述第二自动阀耦接。

为实现上述目的，本发明提供了一种包括以上所述用于显示面板的制造设备的清洗方法，包括：

检测装置检测机台的运行状态，输出控制信号；

根据所述控制信号控制所述第一自动阀和第二自动阀门的开启或关闭。

可选的，所述运行状态包括载板状态，当所述检测装置检测所述机台处于载板状态时，所述根据所述控制信号控制第一自动阀和第二自动阀门的开启或关闭的方法包括：

所述检测装置向所述第一自动阀输出所述控制信号开启所述供气装置；

所述检测装置向所述第二自动阀输出所述控制信号关闭所述供液装置；

其中，所述供气装置将压缩气体输送到所述工作管道，所述压缩气体经所述风刀口向所述玻璃基板的表面吹出，所述压缩气体将所述玻璃基板上的残余药液吹脱。

具体的，所述药液包括刻蚀液。

可选的，所述运行状态包括空载状态，当所述检测装置检测所述机台处于空载状态时，所述根据所述控制信号控制所述第一自动阀和第二自动阀门的开启或关闭的方法包括：

所述检测装置向所述第一自动阀输出所述控制信号关闭所述供气装置；

所述检测装置向所述第二自动阀输出所述控制信号开启所述供液装置；

其中，所述第一手动阀处于关闭状态，所述第二供液装置输送所述第二料液至所述工作管道，所述第二料液从所述风刀口流向所述机台，所述第二料液为去离子水。

采用湿法刻蚀玻璃基板上的透明导电薄膜时，使用草酸对透明导电薄膜进行蚀刻,因草酸与透明导电薄膜反应后易结晶,供气装置对工作管道供气后，工作管道内的气体对刻蚀后的玻璃基板处理时，玻璃基板上的残留药液容易溅起来吸附在工作管道的出口上,并在出口上结晶，导致出口堵塞，堵塞后工作管道内的气体压强变大,使得作用在玻璃基板上的力变大，易造成玻璃基板上的光阻脱落。本申请通过设置一检测装置，检测装置和供气装置的第一自动阀、供液装置的第二自动阀耦接，检测装置可以控制第一自动阀或第二自动阀的工作状态，从而控制供气装置或供液装置的工作状态，当供液装置向工作管道提供的是清洗液体时可以对机台和工作管道进行清洗，减缓工作管道出口上的结晶速度或除掉工作管道出口的结晶，从而减少工作管道结晶情况的发生，减少玻璃基板上的光阻脱落，最终提高显示面板制程的稳定性且节约显示面板的生产成本。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本发明实施例一种制造设备的示意图；

图2是本发明实施例一种工作管道的示意图；

图3是本发明实施例一种工作管道的截面示意图；

图4是本发明实施例另一种工作管道的截面示意图；

图5是本发明实施例一种工作管道开口处的示意图；

图6是本发明实施例另一种工作管道的截面示意图；

图7是本发明实施例一种清洗方法的流程示意图；

图8是本发明实施例另一种清洗方法的流程示意图。

其中，100、制造设备；101、机台；102、玻璃基板；103、工作管道；104、供气装置；105、供液装置；106、供气管路；107、供液管路；108、检测装置；109、控制信号；110、第一自动阀；111、第二自动阀；112、第一供液装置；113、第一进液口；114、第一手动阀；115、第一料液；116、第二供液装置；117、第二进液口；118、第二手动阀；119、第二料液；120、进气口；121、调压阀；122、第三手动阀；123、压缩气体；124、风刀口；125、第一管道；126、第二管道；127、通孔；128、第三管道；129、挡板。

具体实施方式

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。

如图1至图3所示，本发明实施例公布了一种用于显示面板的制造设备100，包括：

机台101，用于承载和传送玻璃基板102；

工作管道103，设在机台101的上方，用于输送物料作用于玻璃基板102；

供气装置104，与工作管道103通过供气管路106连通；

供液装置105，与工作管道103通过供液管路107连通；

其中，机台101上设有用于检测机台101上传送玻璃基板102状态的检测装置108，供气管路106上设有第一自动阀110，供液管路107上设有第二自动阀111，检测装置108与第一自动阀110和第二自动阀111耦接。

采用湿法刻蚀玻璃基板102上的透明导电薄膜时，使用草酸对透明导电薄膜进行蚀刻,因草酸与透明导电薄膜反应后易结晶,供气装置104对工作管道103供气后，工作管道103内的气体对刻蚀后的玻璃基板102处理时，玻璃基板102上的残留药液容易溅起来吸附在工作管道103的出口上,并在出口上结晶，导致出口堵塞，堵塞后工作管道103内的气体压强变大,使得作用在玻璃基板102上的力变大，易造成玻璃基板102上的光阻脱落。本申请通过设置一检测装置108，检测装置108和供气装置104的第一自动阀110、供液装置105的第二自动阀111耦接，检测装置108可以控制第一自动阀110或第二自动阀111的工作状态，从而控制供气装置104或供液装置105的工作状态，当供液装置105向工作管道103提供的是清洗液体时可以对机台101和工作管道103进行清洗，减缓工作管道103出口上的结晶速度或除掉工作管道103出口的结晶，从而减少工作管道103结晶情况的发生，减少玻璃基板102上的光阻脱落，最终节约成本且提高显示面板制程的稳定性。

本实施例可选的，供液装置105包括第一供液装置112，第一供液装置112包括第一进液口113和设置在第一进液口113和第二自动阀111之间的第一手动阀114，第一进液口113和第一手动阀114设置在供液管路107上，第一供液装置112通过供液管路107向工作管道103输出第一料液115。

当第二自动阀111接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第二自动阀111开启第一供液装置112，第一手动阀114设置在供液管路107上，并且在第一进液口113与第二自动阀111之间，根据工作管道103的需要，第一手动阀114调节第一进液口113输入供液管道的第一料液115的流量大小。

具体的，第一供液装置112在机台101进行保养时开启使用，对工作管道103以及机台101同时清洗，第一料液115包括盐酸或其他酸性液体。

本实施例可选的，工作管道103靠近机台101的一侧设置有风刀口124，工作管道103靠近机台101的一端与机台101的距离大于玻璃基板102的厚度，风刀口124为长条状开口，风刀口124与工作管道103的设置方向一致，风刀口124的长度大于玻璃基板102与风刀口124对应方向的长度，且小于工作管道103的长度。

机台101工作时,玻璃基板102在工作管道103与机台101之间移动,工作管道103靠近机台101的一端与机台101的距离的高度要大于玻璃基板102的厚度,避免玻璃基板102卡住或者无法从工作管道103下通过,造成玻璃基板102或者工作管道103的损坏。另外风刀口124的长度大于玻璃基板102与风刀口124对应方向的长度，可以保证玻璃基板102经过工作管道103时能够完全与风刀口124出来的风接触，避免玻璃基板102经过工作管道103后还残留大量药液，腐蚀光阻，影响玻璃基板102的制程。风刀口124的长度要小于工作管道103的长度，减小闲置，因为等于或者超过工作管道103的长度，会造成风刀大部分的闲置，也会浪费大量的压缩空气，另外超过工作管道103暴露在外界，影响工作人员对机器的操作，降低生产效率。

具体的，工作管道103的长度为2米，风刀口124的开口宽度为2毫米。

参考图4和图5所示，与上述实施例不同在于，工作管道103靠近机台101的一端与机台101的距离大于玻璃基板102的厚度，工作管道103的内部设置有将工作管道103分成两个独立管道的挡板129，工作管道103包括第一管道125和第二管道126，第一管道125靠近机台101的一侧设置有风刀口124，第二管道126靠近机台101的一侧设置有一组通孔127，第一管道125和第二管道126不同时工作。

机台101工作时,玻璃基板102在工作管道103与机台101之间移动,工作管道103靠近机台101的一端与机台101的距离的高度要大于玻璃基板102的厚度,避免玻璃基板102卡住或者无法通过,造成玻璃基板102或者工作管道103的损坏。通过在工作管道103内部设置挡板129将工作管道103一分为二，分别是第一管道125和第二管道126，第一管道125设置风刀口124，第二管道126设置通孔127。

第一管道125的主要功能是通过风刀口124将供气装置104提供的压缩气体123吹走玻璃基板102上的残留药液，避免残留药液滞留在玻璃基板102上腐蚀光阻或其他结构导致其脱落；第二管道126的作用是通过通孔127将供液装置105提供的液体喷洒出来，若供液装置105提供的是刻蚀液，可以通过通孔127喷洒刻蚀液对玻璃基板102进行蚀刻，若供液装置105提供的是清洗液，可以通过通孔127喷洒触的清洗液对机台101进行清洗，同时也是对工作管道103的清洗。以上两个管道实现了工作管道103多功能化，且两组管道切换工作，互不影响。

参考图6所示，与上述实施例不同的在于，工作管道103还可以通过三个挡板129将工作管道103分为互不连通的第一管道125、第二管道126和第三管道128，第一管道125上设置通孔127，第二管道126上设置风刀口124，第三管道128上设置风刀口124和通孔127，工作管道103可以以管道中心为中心转动，根据不同的需求将工作管道103分别调节到第一管道125的通孔127与机台101对应、第二管道126的风刀口124与机台101对应或者第三管道128的通孔127以及风刀口124与机台101对应，实现了工作管道103多功能化，且三组管道切换工作，互不影响。

作为本发明的另一实施例，参考图1所示，与上述实施例不同在于，供液装置105还包括第二供液装置116，第二供液装置116包括第二进液口117和设置在第二进液口117和第二自动阀111之间的第二手动阀118，第二进液口117和第二手动阀118设置在供液管路107上，第二供液装置116通过供液管路107向工作管道103输出第二料液119。

当第二自动阀111接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第二自动阀111还可以开启第二供液装置116，第二手动阀118设置在供液管路107上，并且在第二进液口117与第二自动阀111之间，根据工作管道103的需要，第二手动阀118调节第二进液口117输入供液管道的第二料液119的流量大小。

具体的，第二供液装置116在机台101的其他工段更换药液或玻璃基板102还处于其他工段时开启使用，第二料液119包括去离子水。

作为本发明的另一实施例，参考图1所示，与上述实施例不同在于，供气装置104包括进气口120、调压阀121、和第三手动阀122，进气口120、调压阀121、和第三手动阀122设置在供气管路106上，调压阀121靠近进气口120，第三手动阀122靠近工作管道103，第一自动阀110位于调压阀121和第三手动阀122之间，供气装置104通过供气管路106向工作管道103输出压缩气体123。

当第一自动阀110接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第一自动阀110开启供气装置104，供气管路106上的调压阀121用于调节进气口120输入供气管道的压缩气体123的压强，第三手动阀122用于调节压缩气体123的流量，使输入到工作管道103的压缩气体123满足需要，足以将玻璃基板102上的残余药液吹走又能避免风力过大使玻璃基板102上的光阻脱落。

具体的，压缩气体123包括洁净的压缩空气。

作为本发明的另一实施例，参考图1至图3所示，公开了一种用于显示面板的制造设备100，包括：

机台101，用于承载和传送玻璃基板102；

工作管道103，设在机台101的上方，用于输送物料作用于玻璃基板102，工作管道103靠近机台101的一侧设置有风刀口124，工作管道103靠近机台101的一端与机台101的距离大于玻璃基板102的厚度，风刀口124为长条状开口，风刀口124与工作管道103的设置方向一致，风刀口124的长度大于玻璃基板102与风刀口124对应方向的长度，且小于工作管道103的长度；

供气装置104，与工作管道103通过供气管路106连通，供气装置104包括进气口120、调压阀121、第一自动阀110和第三手动阀122，进气口120、调压阀121、第一自动阀110和第三手动阀122设置在供气管路106上，调压阀121靠近进气口120，第三手动阀122靠近工作管道103，第一自动阀110位于调压阀121和第三手动阀122之间，供气装置104通过供气管路106向工作管道103输出压缩气体123；

供液装置105，与工作管道103通过供液管路107连通，供液管路107上设有第二自动阀111；

供液装置105包括第一供液装置112，第一供液装置112包括第一进液口113和设置在第一进液口113和第二自动阀111之间的第一手动阀114，第一进液口113和第一手动阀114设置在供液管路107上，第一供液装置112通过供液管路107向工作管道103输出第一料液115；

供液装置105包括第二供液装置116，第二供液装置116包括第二进液口117和设置在第二进液口117和第二自动阀111之间的第二手动阀118，第二进液口117和第二手动阀118设置在供液管路107上，第二供液装置116通过供液管路107向工作管道103输出第二料液119；

其中，机台101上设有用于检测机台101上传送玻璃基板102状态的检测装置108，检测装置108与第一自动阀110和第二自动阀111耦接。

通过设置检测装置108检测机台101上传送玻璃基板102的运行状态，检测装置108和供气装置104的第一自动阀110、供液装置105的第二自动阀111耦接，根据检测到的机台101的运行状态，检测装置108可以通过向第一自动阀110或者第二自动阀111传输控制信号109分别控制第一自动阀110或第二自动阀111的工作状态，从而控制供气装置104或供液装置105的工作状态。当供液装置105向工作管道103提供的是清洗液体时可以对机台101和工作管道103进行清洗，减缓工作管道103出口上的结晶速度或除掉工作管道103出口的结晶，从而减少工作管道103结晶情况的发生，减少玻璃基板102上的光阻脱落，最终节约成本且提高显示面板制程的稳定性。

当第一自动阀110接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第一自动阀110开启供气装置104，供气管路106上的调压阀121用于调节进气口120输入供气管道的压缩气体123的压强，第三手动阀122用于调节压缩气体123的流量，使输入到工作管道103的压缩气体123满足需要，足以将玻璃基板102上的残余药液吹走又能避免风力过大使玻璃基板102上的光阻脱落。

当第二自动阀111接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第二自动阀111开启第一供液装置112，第一手动阀114设置在供液管路107上，并且在第一进液口113与第二自动阀111之间，根据工作管道103的需要，第一手动阀114调节第一进液口113输入供液管道的第一料液115的流量大小，第一料液115包括盐酸溶液或其他酸性溶液，第一料液115从风刀口124出来后即实现对机台101的清洗也实现了对工作管道103和风刀口124本身的清洗，避免了出风口被玻璃基板102上溅起附着的药物结晶堵塞造成风刀口124的出风方向和施加到玻璃基板102上的风力的改变，保证了工作管道103的正常工作，且避免了玻璃基板102上包括光阻在内的结构被破坏。

当第二自动阀111接收到与之耦接的检测装置108的信号时，第二自动阀111还可以开启第二供液装置116，第二手动阀118设置在供液管路107上，并且在第二进液口117与第二自动阀111之间，根据工作管道103的需要，第二手动阀118调节第二进液口117输入供液管道的第二料液119的流量大小，第二料液119包括去离子水，向工作管道103内通去离子水可以延缓附着在风刀口124上的药物结晶时间，减少结晶状况的发生。

具体的，去离子水的温度为35℃至45℃，当去离子水的温度为40℃时延缓药物结晶的效果最佳。

作为本发明的另一实施例，参考图7和图8所示，公开了一种包括上述用于显示面板的制造设备100的清洗方法，包括：

s100：检测装置108检测机台101的运行状态，输出控制信号109；

s200：根据控制信号109控制第一自动阀110和第二自动阀111门的开启或关闭。

通过检测机台101的运行状态输出控制信号109第一自动阀110和第二自动阀111门的开启或关闭，实现了自动化控制，减少了人力投入，节约了生产成本。

本实施例可选的，运行状态包括载板状态，当检测装置108检测机台101处于载板状态时，根据控制信号109控制第一自动阀110和第二自动阀111门的开启或关闭的方法包括s300：

检测装置108向第一自动阀110输出控制信号109开启供气装置104；

检测装置108向第二自动阀111输出控制信号109关闭供液装置105；

其中，供气装置104将气体输送到工作管道103，气体经风刀口124向玻璃基板102的表面吹出，气体将玻璃基板102上的残余药液吹脱。药液包括刻蚀液。

载板状态时，机台101向工作管道103的下方传送玻璃基板102，此时玻璃基板102上有刻蚀后的残余药液，需要通过供气装置104提供压缩气体123对玻璃基板102的表面进行吹扫，去除残余药液，故此时检测装置108需要向第一自动阀110输出控制信号109开启供气装置104，同时向第二自动阀111输出控制信号109关闭供液装置105。

本实施例可选的，运行状态包括空载状态，当检测装置108检测机台101处于空载状态时，根据控制信号109控制第一自动阀110和第二自动阀111门的开启或关闭的方法包括s400：

检测装置108向第一自动阀110输出控制信号109关闭供气装置104；

检测装置108向第二自动阀111输出控制信号109开启供液装置105；

其中，第一手动阀114处于关闭状态，第二供液装置116输送第二料液119至工作管道103，第二料液119从风刀口124流向机台101，第二料液119为去离子水。

空载状态时，工作管道103下方不会有玻璃基板102移动，因为此前处理玻璃基板102上的残余药液使得工作管道103的风刀口124有溅起的药液残留，该药液容易结晶，通过供液装置105向工作管道103输入去离子水，可以延缓风刀口124药液的结晶时间，减少结晶状况的发生，故空载状态时需要向第一自动阀110输出控制信号109关闭供气装置104，同时检测装置108向第二自动阀111输出控制信号109开启供液装置105。

本实施例可选的，机台101间隔一端时间需要进行保养，在机台101保养期间，根据控制信号109控制第一自动阀110和第二自动阀111门的开启或关闭的方法包括s400：

检测装置108向第一自动阀110输出控制信号109关闭供气装置104；

检测装置108向第二自动阀111输出控制信号109开启供液装置105；

其中，第二手动阀118处于关闭状态，第一供液装置112输送第一料液115至工作管道103，第一料液115从风刀口124流向机台101，第一料液115为盐酸溶液或其他酸性溶液。

机台101保养期间，工作管道103下方不会有玻璃基板102移动，此前处理玻璃基板102上的残余药液使得工作管道103的风刀口124有溅起的药液残留结晶，该结晶严重影响了风刀口124的出风方向以及对玻璃基板102表面的吹扫力度，容易造成玻璃基板102上的残余药液去除不完全或造成玻璃基板102上的光阻脱落，故需要对风刀口124的结晶进行去除，通过第一供液装置112向工作管道103输送盐酸溶液或者其它酸性溶液，可以有效的去除结晶，保证风刀口124正常工作。

具体的，第一供液装置112不需要额外设置，机台101保养均采用第一供液装置112对机台101进行清洗，故本实施例采用第一供液装置112清洗工作管道103和风刀口124不需要额外的设备投入，节约了生产成本。

本发明的面板可以是tn面板(全称为twistednematic，即扭曲向列型面板)、ips面板(in-paneswitcing，平面转换)、va面板(multi-domainverticaaignment，多象限垂直配向技术)，当然，也可以是其他类型的面板，适用即可。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。