技术特征：
技术总结
本发明提供了一种黄光对准系统，在黄光对准系统的使用下，对位点在对位相机抓取的图像中显示清晰，能够准确得到的对位点的位置，对准系统设置在可移动的基板台面上方，基板台面用于承载PCB板，对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，固定对准组件包括固定在龙门上的固定对准相机，固定对准相机的镜头朝下设置，固定对准组件还包括固定在龙门上的照明光源，照明光源为黄光光源，移动对准组件包括沿龙门设置的滑轨，滑轨上设置有能够沿滑轨移动的移动对准相机，移动对准相机的镜头朝下设置，固定对准相机与移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点，同时本发明还提供了使用该黄光对准系统的光刻机以及对准方法。
技术研发人员：蔡瑞;张雷;李伟成
受保护的技术使用者：苏州源卓光电科技有限公司
技术研发日：2018.12.13
技术公布日：2019.02.19