一种色散准直物镜的制作方法

文档序号:16416679发布日期:2018-12-28 18:47阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种色散准直物镜,所述色散准直物镜包括若干个单透镜,连续光谱光源的发光点经过所述色散准直物镜后不同波长的光以不同的发散角度出射,通过调整发光点的位置,若使得位于设计波长段范围内存在一个波长光束的发散角度接近零度,则小于该波长的光束的发散角度为负值,大于该波长的发散角度为正值。本实用新型能够与目前现有市售成像物镜或者显微物镜或者激光加工聚焦物镜自由组合以实现光谱共焦色散物镜功能的独立物镜系统,将会扩展目前测量系统的测量功能,而对于激光微加工系统将会解决同轴高度跟踪,加工后深度等尺寸测量问题,显著提高设备仪器的智能化与精密化水平。

技术研发人员:庆祖林;王刘靖;林京勇
受保护的技术使用者:南京引创光电科技有限公司
技术研发日:2018.06.19
技术公布日:2018.12.28

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