检测板的制作方法

文档序号:16554084发布日期:2019-01-08 21:22阅读:248来源:国知局
检测板的制作方法

本实用新型涉及印制电路板技术领域,特别是涉及一种检测板。



背景技术:

随着印制电路板(PCB)朝高密度、高多层方向不断发展,线路板层间对位精度的要求越来越高。内层芯板层间对位精度是决定线路板制作节距的重要环节。

常规内层芯板层间偏位检测板通过观测正反两面的图形是否交叠来判断偏位大小,但这种检测板来检测时,无法避免蚀刻后对测量结果带来的影响,进而对层间对位的高精度管控极其不利。



技术实现要素:

基于此,有必要提供一种检测板,该检测板能降低对曝光机曝光精度和抓靶能力检测的检测误差。

具体技术方案如下:

一种检测板,包括:检测板本体,所述检测板本体包括第一可曝光面及与所述第一可曝光面相对的第二可曝光面;所述检测板本体还包括坐标检测位组和坐标参考位组,所述坐标检测位组包括第一坐标检测位和第二坐标检测位,所述坐标参考位组包括第一坐标参考位、第二坐标参考位、第三坐标参考位和第四坐标参考位;

其中,所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位间隔设置于所述第一可曝光面,所述第一坐标检测位设置于所述第一可曝光面、且所述第一坐标检测位设置于所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位之间,所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位间隔设置于所述第二可曝光面,所述第二坐标检测位设置于所述第二可曝光面,且所述第二坐标检测位设置于所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位之间,所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位一一对应设置,所述第一坐标参考位和所述第三坐标参考位对应设置,所述第二坐标参考位和所述第四坐标参考位对应设置。

上述检测板包括检测板本体,所述检测板本体包括第一可曝光面和第二可曝光面,所述第一可曝光面设有第一坐标参考位、第二坐标参考位及第一坐标检测位,所述第二可曝光面设有第三坐标参考位、第四坐标参考位和第二坐标检测位,其中,所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位一一对应设置,所述第一坐标参考位与所述第二坐标参考间隔设置、所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位间隔设置;在使用时,通过曝光、显影和蚀刻等步骤,将第一坐标检测位、所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位转移至PCB板的正面,通过检测设备的测量,例如通过二次元测量设备,以第一坐标参考位和第二坐标参考位的连线段的中点的坐标为参考坐标,逐个测量所述第一坐标检测位的坐标;同理,通过曝光、显影和蚀刻等步骤,将所述第二坐标检测位、所述第三坐标参考位和第四坐标参考位转移至该PCB板的背面,通过检测设备的测量,例如二次元测量设备,以第三坐标参考位和第四坐标参考位的连线段的中点的坐标为参考坐标,逐个测量所述第二坐标检测位的坐标,判断所述第一坐标检测位沿宽度方向的投影与第二坐标检测位之间的间距值是否在预设范围内,当所述第一坐标检测位沿宽度方向的投影与第二坐标检测位之间的间距值在预设范围内,说明曝光机的抓靶能力和曝光的稳定性良好,当所述第一坐标检测位沿宽度方向的投影与第二坐标检测位之间的间距值不在预设范围内,则需要对曝光机进行相应的维护或维修,如此,间接的对PCB板的层间对位的高精度进行了管控,确保了PCB板的生产质量;进一步,由于PCB板面存在非线性涨缩,因此存在局部涨缩差异,这种局部张缩差异不断向板边累加的,所述第一坐标检测位设置于所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位之间,所述第二坐标检测位设置于所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位之间,可以最大限度的均一化这种影响;而且,二次元测量设备本身具备测量零点,如果坐标检测位在坐标参考位之间,在二次元设备测量路径上比较一致,在测量时测量偏差一致,如此,间接的推升检测曝光机曝光精度的准确性。

下面进一步对技术方案进行说明:

在其中一个实施例中,所述第一坐标检测位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影与所述第二坐标检测位的间距为第一预设值,所述第一坐标参考位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影与所述第二坐标参考位的间距为第二预设值。如此,当经过曝光、显影和蚀刻等步骤将所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位、所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位分别转移至PCB板上,通过测量所述第一坐标检测位的测量坐标和所述第二坐标检测位的测量坐标,进而得出所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位之间的间距值,通过判断该间距值与所述第一预设值的误差,进而判断曝光机的抓靶能力和曝光的稳定性。

在其中一个实施例中,所述第一坐标检测位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影能够与所述第二坐标检测位重合,所述第一坐标参考位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影能够与所述第二坐标参考位重合。如此,当所述第一坐标检测位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影能够与所述第二坐标检测位重合,所述第一坐标参考位沿所述检测板本体的厚度方向的正投影能够与所述第二坐标参考位重合,可以降低测量步骤,提升检测精度。

在其中一个实施例中,所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位的数量均为多个,多个所述第一坐标检测位按第一预设的规律分布形成第一坐标检测位组,多个所述第二坐标检测位按第二预设规律分布形成第二坐标检测位组。如此,通过设置多个第一坐标检测位和多个第二坐标检测位来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

在其中一个实施例中,多个所述第一坐标检测位沿所述检测板本体的长度方向间隔设置形成所述第一坐标检测位组,多个所述第二坐标检测位沿所述检测板本体的长度方向间隔设置形成所述第二坐标检测位组。如此,通过设置多个第一坐标检测位和多个第二坐标检测位来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

在其中一个实施例中,至少两个所述第一坐标检测位组以所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位的连线为对称轴对称设置,至少两个所述第二坐标检测位组以所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位的连线为对称轴对称设置。如此,当第一坐标参考位和所述第二坐标参考位、所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位转移至PCB板后,以第一坐标参考位和所述第二坐标参考位连线的中点作为坐标零点,随后测量第一坐标检测位和所述第二坐标检测位的坐标,如此便于计算和测量,避免换算。

在其中一个实施例中,所述第一坐标检测位组的数量为多个,多个所述第一坐标检测位组呈阵列式分布并设置于所述第一可曝光面,所述第二坐标检测位组的数量为多个,多个所述第二坐标检测位组对应呈阵列式分布并设置于所述第二可曝光面。如此,通过设置多个第一坐标检测位和多个第二坐标检测位来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

在其中一个实施例中,所述第一坐标检测位为第一圆形坐标检测位,所述第二坐标检测位为第二圆形坐标检测位,所述第一圆形坐标检测位和所述第二圆形坐标检测位的尺寸相同。如此,当所述第一坐标检测位呈圆形,所述第二坐标检测位呈圆形时,便于曝光机的抓靶,有利于提升测量精度。

在其中一个实施例中,所述第一圆形坐标检测位的直径和所述第二圆形坐标检测位的直径均为0.5mm-3mm。如此,在该范围内,对曝光机的精度检测较为精确。

在其中一个实施例中,所述检测板本体为菲林板。如此,以所述菲林板为载体,制成检测板,便于大批量生产和推广应用。

附图说明

图1为检测板的正面结构示意图;

图2为检测板的背面结构示意图。

附图标记说明:

10、检测板,100、检测板本体,110、第一可曝光面,112、第一坐标参考位,114、第二坐标参考位,116、第一坐标检测位组,118、第一坐标检测位,120、第二可曝光面,122、第三坐标参考位,124、第四坐标参考位,126、第二坐标检测位组,128、第二坐标检测位。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施方式,对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用以解释本实用新型,并不限定本实用新型的保护范围。

需要说明的是,当元件被称为“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当元件被称为“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。

有必要指出的是,当元件被称为“固设于”另一元件时,两个元件可以是一体的,也可以是两个元件之间可拆卸连接。

除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

此外,还需要理解的是,在本实施例中,术语“下”、“上”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“一侧”、“另一侧”、“一端”、“另一端”、等所指示的位置关系为基于附图所示的位置关系;“第一”、“第二”等术语,是为了区分不同的结构部件。这些术语仅为了便于描述本实用新型和简化描述,不能理解为对本实用新型的限制。

如图1和图2所示,一实施例中的一种检测板10,包括:检测板本体100,检测板本体100包括第一可曝光面110及与第一可曝光面110相对的第二可曝光面120;检测板本体还包括坐标检测位组和坐标参考位组,坐标检测位组包括第一坐标检测位118和第二坐标检测位128;坐标参考位组包括第一坐标参考位112、第二坐标参考位114,第三坐标参考位122和第四坐标参考位124;其中,第一坐标参考位112和第二坐标参考位114间隔设置于第一可曝光面110,第一坐标检测位118设置于第一可曝光面110、且第一坐标检测位118设置于第一坐标参考位112和第二坐标参考位114之间,第三坐标参考位122和第四坐标参考位124间隔设置于第二可曝光面120,第二坐标检测位128设置于第二可曝光面120,且第二坐标检测位128设置于第三坐标参考位122和第四坐标参考位124之间,第一坐标检测位118和第二坐标检测位128一一对应设置,第一坐标参考位112和第三坐标参考位122对应设置,第二坐标参考位114和第四坐标参考位124对应设置。

上述检测板10包括检测板本体100,检测板本体100包括第一可曝光面110和第二可曝光面120,第一可曝光面110设有第一坐标参考位112、第二坐标参考位114及第一坐标检测位118,第二可曝光面120设有第三坐标参考位122、第四坐标参考位124和第二坐标检测位128,其中,第一坐标检测位118和第二坐标检测位128一一对应设置,第一坐标参考位112与第二坐标参考间隔设置、第三坐标参考位122和第四坐标参考位124间隔设置;在使用时,通过曝光、显影和蚀刻等步骤,将第一可曝光面110上的第一坐标检测位118、第一坐标参考位112和第二坐标参考位114转移至PCB板的正面,通过检测设备的测量,例如通过二次元测量设备,以第一坐标参考位112和第二坐标参考位114的连线段的中点的坐标为参考坐标,逐个测量第一坐标检测位118的坐标;同理,通过曝光、显影和蚀刻等步骤,将第二坐标检测位128、第三坐标参考位122和第四坐标参考位124转移至该PCB板的背面,通过检测设备的测量,例如二次元测量设备,以第三坐标参考位122和第四坐标参考位124的连线段的中点的坐标为参考坐标,逐个测量第二坐标检测位128的坐标,判断第一坐标检测位118沿宽度方向的投影与第二坐标检测位128之间的间距值是否在预设范围内,当第一坐标检测位118沿宽度方向的投影与第二坐标检测位128之间的间距值在预设范围内,说明曝光机的抓靶能力和曝光的稳定性良好,当第一坐标检测位118沿宽度方向的投影与第二坐标检测位128之间的间距值不在预设范围内,则需要对曝光机进行相应的维护或维修,如此,间接的对PCB板的层间对位的高精度进行了管控,确保了PCB板的生产质量;进一步,由于PCB板面存在非线性涨缩,因此存在局部涨缩差异,这种局部张缩差异不断向板边累加的,第一坐标检测位118设置于第一坐标参考位112和第二坐标参考位114之间,第二坐标检测位128设置于第三坐标参考位122和第四坐标参考位124之间,可以最大限度的均一化这种影响;而且,二次元测量设备本身具备测量零点,如果坐标检测位在坐标参考位之间,在二次元设备测量路径上比较一致,在测量时产生的测量偏差一致,如此,间接的推升检测曝光机曝光精度的准确性。

在上述实施例的基础上,第一坐标检测位118沿检测板本体100的厚度方向的正投影与第二坐标检测位128的间距为第一预设值,第一坐标参考位112沿检测板本体100的厚度方向的正投影与第二坐标参考位114的间距为第二预设值。如此,当经过曝光、显影和蚀刻等步骤将第一坐标检测位118和第二坐标检测位128、第一坐标参考位112和第二坐标参考位114分别转移至PCB板上,通过测量第一坐标检测位118的测量坐标和第二坐标检测位128的测量坐标,进而得出第一坐标检测位118和第二坐标检测位128之间的间距值,通过判断该间距值与第一预设值的误差,进而判断曝光机的抓靶能力和曝光的稳定性。其中、第一预设值和第二预设值可以根据需要设置。

在上述任一实施例的基础上,第一坐标检测位118沿检测板本体100的厚度方向的正投影能够与第二坐标检测位128重合,第一坐标参考位112沿检测板本体100的厚度方向的正投影能够与第二坐标参考位114重合。如此,当第一坐标检测位118沿检测板本体100的厚度方向的正投影能够与第二坐标检测位128重合,第一坐标参考位112沿检测板本体100的厚度方向的正投影能够与第二坐标参考位114重合,可以降低测量步骤,提升检测精度。

如图1和图2所示,在上述任一实施例的基础上,第一坐标检测位118和第二坐标检测位128的数量均为多个,多个第一坐标检测位118按第一预设的规律分布形成第一坐标检测位组116,多个第二坐标检测位128按第二预设规律分布形成第二坐标检测位组126;如此,通过设置多个第一坐标检测位118和多个第二坐标检测位128来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

如图1和图2所示,在上述任一实施例的基础上,多个第一坐标检测位118沿检测板本体100的长度方向间隔设置形成第一坐标检测位组116,多个第二坐标检测位128沿检测板本体100的长度方向间隔设置形成第二坐标检测位组126。如此,通过设置多个第一坐标检测位118和多个第二坐标检测位128来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

如图1和图2所示,在上述任一实施例的基础上,至少两个第一坐标检测位组116以第一坐标参考位112和第二坐标参考位114的连线为对称轴对称设置,至少两个第二坐标检测位组126以第三坐标参考位122和第四坐标参考位124的连线为对称轴对称设置如此,可以PCB板上的多个区域进行测量,提升测量的精度;进一步,至少两个第一坐标检测位组116以第一坐标参考位112和第二坐标参考位114的连线为对称轴对称设置,至少两个第二坐标检测位组126以第三坐标参考位122和第四坐标参考位124的连线为对称轴对称设置时,不仅可以通过判断第一坐标检测位118和第二坐标检测位128之间的间距值得误差来判断曝光机的曝光精度,还可以通过判断同一可曝光面上,两个相互对称的第一坐标检测位118之间的位置误差,和两个相互对称的第二坐标检测位128之间的位置误差来判断曝光机的曝光精度。

如图1和图2所示,在上述任一实施例的基础上,第一坐标检测位118为第一圆形坐标检测位,第二坐标检测位128为第二圆形坐标检测位,第一圆形坐标检测位和第二圆形坐标检测位的尺寸相同。如此,当第一坐标检测位118呈圆形,第二坐标检测位128呈圆形时,便于曝光机的抓靶,有利于提升测量精度。

在上述任一实施例的基础上,第一圆形坐标检测位的直径和第二圆形坐标检测位的直径均为0.5mm-3mm。如此,在该范围内,对曝光机的精度检测较为精确,当第一圆形坐标检测位的直径和/或第二圆形坐标检测位的直径超过3mm时,由于坐标检测位尺寸较大,检测值没有参考意义,当第一圆形坐标检测位的直径和/或第二圆形坐标检测位的直径小于0.5mm时,由于坐标检测位尺寸过小,超过了曝光机的抓靶能力,因此,检测值也没有参考意义。在本次实施例中,第一圆形坐标检测位的直径和第二圆形坐标检测位的直径均为1.5mm,此时,对曝光机的精度检测较为精确。

在上述任一实施例的基础上,第一坐标检测位组116的数量为多个,多个第一坐标检测位组116呈阵列式分布并设置于第一可曝光面110,第二坐标检测位组126的数量为多个,多个第二坐标检测位组126对应呈阵列式分布并设置于第二可曝光面120。如此,通过设置多个第一坐标检测位118和多个第二坐标检测位128来避免坐标检测位过于集中,进而提升检测精度。

在上述任一实施例的基础上,检测板本体100为菲林板。如此,以菲林板为载体,制成检测板10,便于大批量生产和推广应用。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

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