1.一种校准系统,是对形成为长条的片状,并沿着长度方向输送的基板照射曝光用的光束的至少一个曝光头进行校准的校准系统,包括:
曝光头支承部,是支承所述至少一个曝光头的曝光头支承部,被配置在曝光时,将从所述至少一个曝光头分别射出的所述光束分别入射到所述基板上的预定的至少一个曝光区域的位置;
至少一个传感器单元,包括光传感器,其具有接收所述光束的受光面,检测入射到该受光面的所述光束的至少照射位置及照射强度;
传感器单元支承部,是支承所述至少一个传感器单元的传感器单元支承部,曝光时,以所述至少一个传感器单元所包含的光传感器的受光面与所述至少一个曝光区域中的曝光面分别平行的方式,支承所述至少一个传感器单元,并且被安装为相对于所述曝光头支承部能够滑动;
移动机构,被构成为使所述曝光头支承部和所述传感器单元支承部中至少曝光头支承部移动;以及
控制部,被构成为控制所述移动机构的动作,
所述控制部被构成为,校准时,通过使所述曝光头支承部移动,在从所述至少一个曝光头射出的所述光束的光路上,形成能够配置所述至少一个传感器单元的空间,并且通过使所述传感器单元支承部相对于所述曝光头移动部相对地滑动,将所述受光面配置在与从所述至少一个曝光头射出的所述光束在曝光时入射的所述曝光面对应的位置。
2.根据权利要求1所述的校准系统,
所述移动机构包括:
曝光头移动部,被构成为通过将所述曝光头支承部的一端侧作为旋转轴抬高另一端侧形成所述空间;以及
滑动部,被构成为使所述传感器单元支承部相对于所述曝光头支承部滑动。
3.根据权利要求1所述的校准系统,
所述传感器单元支承部被设置在相对于传输所述基板的传输机构固定的位置,
所述移动机构被构成为使所述曝光头支承部向能够进行所述滑动的方向平行移动。
4.根据权利要求1所述的校准系统,
所述移动机构包括:
曝光头移动部,通过使所述曝光头支承部在铅直方向平行移动形成所述空间;以及
滑动部,使所述传感器单元支承部相对于所述曝光头支承部滑动。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的校准系统,
所述控制部被构成为从所述至少一个曝光头向所述受光面射出所述光束,根据从所述传感器单元输出的检测信号,生成表示从所述至少一个曝光头射出的所述光束在所述受光面中的照射位置及照射强度的数据,
还包括存储部,被构成为将表示所述照射位置及照射强度的数据作为校准数据进行存储。
6.根据权利要求5所述的校准系统,
所述存储部被构成为还存储表示所述光束对所述至少一个曝光区域的基准照射位置及基准照射强度的基准数据,
所述控制部具有判定部,其被构成为根据所述校准数据及所述基准数据,判断从所述至少一个曝光头射出的光束的照射位置及照射强度是否收敛在预定的基准值的范围。
7.根据权利要求6所述的校准系统,
所述控制部被构成为根据所述判定部的判定结果,在从所述至少一个曝光头射出的光束的照射位置及照射强度的至少任一者没有收敛在所述基准值的范围的情况下,生成用于对从所述至少一个曝光头射出的光束的照射位置及照射强度的至少任一者进行校正的校正值数据,
所述存储部被构成为还存储所述校正值数据。
8.根据权利要求7所述的校准系统,
所述至少一个曝光头的各自具有:
输出所述激光的光源;
将所述激光成型为光束状的光学系统;
扫描成型为光束状的所述激光的多面镜;以及
使所述多面镜旋转的驱动部,
所述控制部被构成为通过根据所述校正值数据,控制所述光源的输出、所述驱动部的动作的至少任一者,校正从所述至少一个曝光头射出的所述光束的照射强度和照射位置的至少任一者。
9.一种描画装置,具备:
权利要求1~8的任一项所述的校准系统;
被支承于所述曝光头支承部的至少一个曝光头;以及
传输滚筒,形成为圆筒状,在外周面支承所述基板,并且通过围绕圆筒的中心轴旋转传输所述基板。