一种等离子去胶机的加热装置的制作方法

1.本实用新型属于光刻胶去胶技术领域，更具体地说，特别涉及一种等离子去胶机的加热装置。


背景技术：

2.通过高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成等离子体辉光柱，活化氧可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除，等离子去胶过程中需要对晶圆周围空气进行加热。
3.如公开号为：cn211017022u的专利中，公开了了一种等离子去胶机的加热盘，解决了目前现有的常用的加热盘为平坦式与沟槽式，平坦式由于加热盘与晶圆的背面直接接触，导致晶圆受热过快，使刻蚀光刻胶的均匀度较差，沟槽式加热盘的表面具有多个沟槽，晶圆受热应力影响会发生断裂，尤其是弯曲晶圆，更易断裂的问题，其包括盘体，所述盘体内侧开设有加热槽，盘体内位于加热槽下方设有加热层，加热槽内固定安装有数量为四组的支撑杆，支撑杆上端固定安装有支撑导热块，加热槽内活动放置有晶圆，晶圆与支撑导热块活动连接，盘体上面位于加热槽上方固定安装有保温罩；本实用新型整个的晶圆会保持受热平衡，这样晶圆表面可以去胶均匀。
4.基于上述，传统的等离子去胶机的加热装置主要为盘形结构，一般未设置可以对晶圆曲侧面进行夹持固定的结构，不能使晶圆顶面与底面悬空，不能避免在加热过程中可以防止因晶圆顶面与底面与外物接触造成受热不均情况的发生，未设置可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置的结构。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种等离子去胶机的加热装置，以解决传统的等离子去胶机的加热装置主要为盘形结构，一般未设置可以对晶圆曲侧面进行夹持固定的结构，不能使晶圆顶面与底面悬空，不能避免在加热过程中可以防止因晶圆顶面与底面与外物接触造成受热不均情况的发生，未设置可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置的结构的问题。
6.本实用新型一种等离子去胶机的加热装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
7.一种等离子去胶机的加热装置，包括底台；
8.所述底台为矩形结构，底台顶部四周侧立面处固定连接有四组侧壁；所述四组侧壁顶部固定连接有矩形顶板，矩形顶板中部垂直贯穿有顶滑槽；所述侧壁左侧顶部固定连接有延伸部；所述底台左端侧壁内部水平方向贯穿有出料槽，出料槽内部通过铰连接设置有箱门；
9.所述前端侧壁内部固定连接有控制部；
10.所述控制部后端固定连接有温度传感器；
11.所述底台顶面固定连接有加热管，加热管电性与控制部相连接；
12.所述底台顶部设置有去胶承接结构。
13.进一步的，所述去胶承接结构包括：
14.顶液压缸，顶液压缸通过滑动连接设置于顶滑槽上方，其伸缩杆曲侧面位于顶滑槽内侧；
15.一级支架，一级支架固定连接于顶液压缸伸缩杆底部，一级支架为“工”字型结构。
16.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
17.承接条，承接条数量设置为四组，其每两组固定连接于一级支架左右两侧底端；
18.圆槽，圆槽固定连接于承接条顶部。
19.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
20.往复丝杠，往复丝杠固定连接于右端侧壁右端立面处；
21.推杆，推杆右端固定连接于往复丝杠滚珠螺母座左侧立面处，推杆左端与顶液压缸右侧立面相固定。
22.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
23.弧形瓣，弧形瓣固定连接于底台顶端处，弧形瓣数量设置为六组；
24.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
25.底液压缸，底液压缸数量设置为六组，底液压缸固定连接于底台底端；
26.承接圆板，承接圆板固定连接于底液压缸伸缩部顶端；
27.垂直杆，垂直杆数量设置为四组，其固定连接于承接圆板顶端。
28.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
29.铰接件，铰接件固定连接于垂直杆顶端；
30.l型架，l型架底部突出部末端通过铰连接设置于铰接件顶部，其底部拐角处通过铰连接设置于弧形瓣内侧立面处。
31.进一步的，所述去胶承接结构还包括：
32.弧形侧槽，弧形侧槽固定连接于l型架顶部侧立面处；
33.底承接槽，底承接槽固定连接于l型架顶端处。
34.本实用新型至少包括以下有益效果：
35.1、本实用新型通过设置l型架，将晶圆放置在两组承接条顶部的圆槽内侧后，通过控制部按键控制往复丝杠运转，可以使往复丝杠内部滚珠螺母座侧面固定的推杆带动顶液压缸沿顶滑槽向右侧平移，可以使顶液压缸伸缩部底端的承接条向右侧平移至底台正上方，通过控制部控制顶液压缸伸缩部向下延伸，可以使晶圆垂直下降，当晶圆垂直下降至额定高度时，通过控制部控制底液压缸同步运行，可以使其伸缩部向下收缩，在其伸缩部向下收缩过程中，可以带动顶部的承接圆板向下垂直平移，向下平移过程中承接圆板顶部的四组垂直杆可以带动杆顶端固定的铰接件向下平移，四组铰接件向下平移可带动其顶部铰连接的l型架底部突出部以其拐角处为圆心向下翻转，从而可以使l型架顶部弧形侧槽向内侧并拢，从而对到达额定高度的晶圆外曲侧面进行夹持固定，从而对晶圆进行自动夹持固定，通过控制部控制顶液压缸伸缩部持续向下延伸，可以使承接条持续下降至晶圆下方，可以使承接条顶面与晶圆底面脱离接触，从而可以使晶圆顶面与底面悬空，在加热过程中可以防止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。
36.2、本实用新型通过设置顶液压缸，通过其与底液压缸配合，在加热去胶结束后，通过控制部控制顶液压缸伸缩部向上收缩，可以使承接条向上平移至晶圆底部，通过控制部同步控制底液压缸伸缩部向上抬升，可以解除l型架顶部对晶圆曲侧面的夹持固定，可以使晶圆进入承接条顶部的圆槽内侧，通过控制部控制顶液压缸与往复丝杠配合，可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置。
附图说明
37.图1是本实用新型整体的立体结构示意图。
38.图2是本实用新型加热管的立体结构示意图。
39.图3是本实用新型中一级支架的立体结构示意图。
40.图4是本实用新型中弧形瓣的侧剖面立体结构示意图。
41.图5是本实用新型图4中a的局部放大示意图。
42.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
43.1、底台；
44.101、侧壁；102、顶滑槽；103、延伸部；104、出料槽；
45.2、控制部；
46.201、温度传感器；
47.3、顶液压缸；
48.301、一级支架；302、承接条；303、圆槽；304、往复丝杠；3041、推杆；
49.4、加热管；
50.5、弧形瓣；
51.6、底液压缸；
52.601、承接圆板；602、垂直杆；603、铰接件；604、l型架；6041、弧形侧槽；6042、底承接槽。
具体实施方式
53.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
54.在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
55.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新
型中的具体含义。
56.实施例：
57.如附图1至附图5所示：本实用新型提供一种等离子去胶机的加热装置，包括底台1；
58.底台1为矩形结构，底台1顶部四周侧立面处固定连接有四组侧壁101；四组侧壁101顶部固定连接有矩形顶板，矩形顶板中部垂直贯穿有顶滑槽102；侧壁101左侧顶部固定连接有延伸部103；底台1左端侧壁101内部水平方向贯穿有出料槽104，出料槽104内部通过铰连接设置有箱门；前端侧壁101内部固定连接有控制部2；控制部2后端固定连接有温度传感器201；底台1顶面固定连接有加热管4，加热管4电性与控制部2相连接；底台1顶部设置有去胶承接结构。
59.如图2所示，去胶承接结构包括：顶液压缸3，顶液压缸3通过滑动连接设置于顶滑槽102上方，其电性与控制部2相连接，其伸缩杆曲侧面位于顶滑槽102内侧；一级支架301，一级支架301固定连接于顶液压缸3伸缩杆底部，一级支架301为“工”字型结构；承接条302，承接条302数量设置为四组，其每两组固定连接于一级支架301左右两侧底端；圆槽303，圆槽303固定连接于承接条302顶部，将晶圆放置在两组承接条302顶部的圆槽303内侧后，通过控制部2按键控制往复丝杠304运转，可以使往复丝杠304内部滚珠螺母座侧面固定的推杆3041带动顶液压缸3沿顶滑槽102向右侧平移，可以使顶液压缸3伸缩部底端的承接条302向右侧平移至底台1正上方，通过控制部2控制顶液压缸3伸缩部向下延伸，可以使晶圆垂直下降，当晶圆下降至四组弧形侧槽6041内曲侧面后，通过控制底液压缸6运转，可以使四组l型架604对晶圆进行夹持，通过夹持固定可以使晶圆停留在四组l型架604顶部，通过控制部2控制顶液压缸3伸缩部持续向下延伸，可以使承接条302持续下降至晶圆下方，可以使承接条302顶面与晶圆底面脱离接触，从而可以使晶圆顶面与底面悬空，在加热过程中可以防止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。
60.去胶承接结构还包括：往复丝杠304，往复丝杠304固定连接于右端侧壁101右端立面处；推杆3041，推杆3041右端固定连接于往复丝杠304滚珠螺母座左侧立面处，推杆3041左端与顶液压缸3右侧立面相固定；弧形瓣5，弧形瓣5固定连接于底台1顶端处，弧形瓣5数量设置为六组；
61.如图4所示，去胶承接结构还包括：底液压缸6，底液压缸6数量设置为六组，底液压缸6固定连接于底台1底端；承接圆板601，承接圆板601固定连接于底液压缸6伸缩部顶端；垂直杆602，垂直杆602数量设置为四组，其固定连接于承接圆板601顶端；去胶承接结构还包括：铰接件603，铰接件603固定连接于垂直杆602顶端；l型架604，l型架604底部突出部末端通过铰连接设置于铰接件603顶部，其底部拐角处通过铰连接设置于弧形瓣5内侧立面处；弧形侧槽6041，弧形侧槽6041固定连接于l型架604顶部侧立面处；底承接槽6042，底承接槽6042固定连接于l型架604顶端处，在通过控制部2控制承接条302垂直下降的过程中，当晶圆垂直下降至额定高度时，通过控制部2控制底液压缸6同步运行，可以使其伸缩部向下收缩，在其伸缩部向下收缩过程中，可以带动顶部的承接圆板601向下垂直平移，向下平移过程中承接圆板601顶部的四组垂直杆602可以带动杆顶端固定的铰接件603向下平移，四组铰接件603向下平移可带动其顶部铰连接的l型架604底部突出部以其拐角处为圆心向下翻转，从而可以使l型架604顶部弧形侧槽6041向内侧并拢，从而对到达额定高度的晶圆
外曲侧面进行夹持固定，从而对晶圆进行自动夹持固定。
62.本实用新型实施例中提到的温度传感器201(型号为sht71)可通过私人订制或市场购买获得。
63.本实施例的具体使用方式与作用：
64.本实用新型中，在使用时，将晶圆放置在两组承接条302顶部的圆槽303内侧后，通过控制部2按键控制往复丝杠304运转，可以使往复丝杠304内部滚珠螺母座侧面固定的推杆3041带动顶液压缸3沿顶滑槽102向右侧平移，可以使顶液压缸3伸缩部底端的承接条302向右侧平移至底台1正上方，通过控制部2控制顶液压缸3伸缩部向下延伸，可以使晶圆垂直下降，当晶圆垂直下降至额定高度时，通过控制部2控制底液压缸6同步运行，可以使其伸缩部向下收缩，在其伸缩部向下收缩过程中，可以带动顶部的承接圆板601向下垂直平移，向下平移过程中承接圆板601顶部的四组垂直杆602可以带动杆顶端固定的铰接件603向下平移，四组铰接件603向下平移可带动其顶部铰连接的l型架604底部突出部以其拐角处为圆心向下翻转，从而可以使l型架604顶部弧形侧槽6041向内侧并拢，从而对到达额定高度的晶圆外曲侧面进行夹持固定，从而对晶圆进行自动夹持固定，通过控制部2控制顶液压缸3伸缩部持续向下延伸，可以使承接条302持续下降至晶圆下方，可以使承接条302顶面与晶圆底面脱离接触，从而可以使晶圆顶面与底面悬空，在加热过程中可以防止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均，通过控制部2控制加热管4对空气进行加热，可以对等离子去胶进行辅助作用，加热结束后，通过控制部2控制顶液压缸3伸缩部向上收缩，可以使承接条302向上平移至晶圆底部，通过控制部2同步控制底液压缸6伸缩部向上抬升，可以解除l型架604顶部对晶圆曲侧面的夹持固定，可以使晶圆进入承接条302顶部的圆槽303内侧，通过控制部2控制顶液压缸3与往复丝杠304配合，可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机。
65.本实用新型未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。
66.本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。