口的开口横截面适应于不同的镜大小和/或镜位置(或者适应于镜轴线不同的相对空间位置)可例如通过如下方式来实现:使入射开口的横截面至少近似地与所有可选地以不同射束直径进入的激光束的包络截面(UmhUllenden)相一致。入射开口例如形成在载体的载体壁上。
[0013]在另一优选改进方案中，接收开口和/或入射开口分别形成为长形孔。长形孔或长形孔开口是一种特别容易制造的入射开口或接收开口，通过所述入射开口或接收开口能够降低载体的制造成本且由此降低扫描装置的制造成本。
[0014]此外优选这样一种实施形式，其中，载体、尤其是入射开口能至少部分地由不同的孔板覆盖，所述孔板的孔开口在直径和/或相对位置方面相互不同。通过具有分别适应于相应激光束直径的孔开口直径和孔开口位置的孔板，激光束能有利地设计为相对紧密地进入扫描装置或载体中。在孔板已安装在载体上的情况下，扫描装置的外部区域和扫描装置的内部区域(内部空间)之间的自由连接总体上仅仅限制在相应孔开口的直径上，并且灰尘或其它颗粒不能以不可控制的量(尤其是在激光运行期间)进入到内部区域中。不同的孔板能够可拆卸地固定在载体上、尤其是在载体壁上。
[0015]此外优选地，载体还至少部分地形成扫描装置的壳体。由于不必针对各种不同的激光束直径来更换根据本发明的载体，因而所述载体能以有利的方式形成为扫描装置壳体的一部分。于是省去了否则所需的用于将载体固定在扫描装置壳体中的固定装置和安装装置。
[0016]最后优选这样一种实施形式，其中，不同的保持装置能固定在载体上，所述保持装置将扫描物镜相对于载体、尤其是相对于扫描装置的镜分别以不同的距离定位。通过不同的可更换的保持装置能够改变或调整扫描物镜和扫描装置之间的距离(例如能够改变扫描物镜拧入到扫描装置、尤其是载体中的深度)。这在给定透镜焦距的情况下通过将扫描物镜尽可能地接近扫描装置的镜、尤其是入射侧的镜允许以有利的方式实现最大可能的扫描范围。扫描物镜可以例如是F/θ物镜，并且保持装置(连接元件)可以形成为内置件、尤其是形成为螺纹内置件，所述内置件能插入或者拧入到载体的射出开口中。为了适应相应的扫描物镜，内置件或者螺纹内置件此外还具有适应于扫描物镜的直径以便相应的激光束穿过。
[0017]用于根据本发明的扫描装置的由多个马达镜单元组成的组也落入本发明的框架内，其中，所述马达镜单元分别具有镜连同驱动马达以及分别带有相同接触面的不同装配法兰，其中，各个马达镜单元在镜大小和/或镜位置方面相互不同。
【附图说明】
[0018]从说明书、权利要求以及附图中给出本发明的主题其他优点和优选的构型。同样能分别单独地或者多个任意组合地使用上文所述的和在下文进一步描述的特征。所示出和所述的实施形式不应理解成最后的列举，而其实是具有用于描述本发明的示例特征。附图高度示意地示出根据本发明的主题并且非按比例地绘制。附图中:
[0019]图la、lb示出根据本发明的扫描装置，通过所述扫描装置可选地使具有小射束直径的激光束(图1a)或者具有较大射束直径(图1b)的激光束偏转；
[0020]图2a、2b以仰视图示出图1a和Ib的扫描装置；
[0021]图3a、3b示出图la、lb的扫描装置的载体的两个不同的立体图；
[0022]图4a、4b分别示出用于图la、lb的扫描装置的第一和第二马达镜单元，所述第一和第二马达镜单元具有不同的驱动马达、镜和装配法兰用以偏转不同的激光束；
[0023]图5示出根据本发明的一组第一马达镜单元；
[0024]图6a、6b示出图la、Ib的扫描装置，其中，载体的入射开口由不同的孔板覆盖；以及
[0025]图7a、7b示出两个不同的螺纹内置件，所述螺纹内置件固定在扫描装置的载体上，其中用于不同射束直径的各个不同的扫描物镜拧到螺纹内置件上。
【具体实施方式】
[0026]在图1a和Ib中示出用于二维地偏转具有不同直径的激光束2a、2b的扫描装置1激光束2a、2b (图1a中具有小射束直径的激光束2a和图1b中具有大射束直径的激光束2b)通过形成在扫描装置I的载体3上的入射开口 4进入到扫描装置I中，并且在所实现的偏转之后再次从所述扫描装置中射出。不同激光束2a、2b的偏转借助两个在图la、lb中被覆盖的镜来实现，所述镜布置在载体3的内部空间中并且分别绕轴线可枢转地支承并由马达驱动。
[0027]入射侧的镜与入射侧的驱动马达5a、5b以及入射侧的装配法兰6a、6b —起形成第一马达镜单元7a、7b，其中所述第一马达镜单元7a、7b固定在载体3上。在图1a中，用于操纵具有小射束直径2a的激光束的第一马达镜单元7a具有小的(第一)驱动马达5a和薄的(第一)装配法兰6a。在图1b中，用于偏转具有较大射束直径2b的激光束的第一马达镜单元7b具有较大的(第二)驱动马达5b和较厚的(第二)装配法兰6b。因此，不仅(在图la、Ib中未示出的)镜而且(第一和第二)驱动马达5a、5b (也就是从图1a至图1b)在它们的大小和空间位置或布置方面是不同的。装配法兰6a、6b不仅仅在它们的大小方面(例如，一个装配法兰6a比另一装配法兰6b薄)，而且在形成在装配法兰上的、用于可拆卸地固定驱动马达5a、5b的接收部例如形成为具有不同的深度、不同的宽度等等方面不同。然而，所有装配法兰6a、6b又具有共同之处，即它们由于它们相同的外轮廓位置相同地固定在载体3的相同的第一安装面8上。
[0028]图1a和Ib示出了同一个扫描装置I的不同安装情况，其中，第一种安装情况(图1a)适用于细激光束2a的偏转，而第二种安装情况(图1b)适用于具有大射束直径的激光束2b的偏转。为了偏转不同的激光束2a、2b，可选地将相应的马达镜单元7a、7b固定在载体3上。因此，通过不同的第一马达镜单元7a、7b，尤其是通过不同的装配法兰6a、6b可考虑不同的射束走向(也就是说，射束偏移或者经改变的射束几何形状)，所述射束走向在使具有不同大小射束直径的激光束2a、2b偏转的情况下产生。在图la、lb中开放地不出扫描装置I的壳体9。然而应理解的是，扫描装置I在激光运行时由未示出的壳体部件闭合。
[0029]图2a和2b以仰视图示出分别用于具有小和大射束直径的激光束2a、2b的扫描装置1，从而用于激光束2a、2b的、形成在载体3上的射出开口 10是清楚的。通过比较图2a和图2b，可识别出具有大射束直径的入射激光束2b与具有小射束直径的入射激光束2b相比得出的射束偏移V。穿过射出开口 10能分别识别入射侧的第一镜IlaUlb以及射出侧的第二镜12a、12b，所述第一镜和第二镜相应地在使具有小或者大射束直径的激光束2a、2b偏转时共同作用。对应于较大射束直径的是大于第一镜Ila的第一镜Ilb和大于第二镜12a的第二镜12b。在图2a、2b中，激光束2a、2b从射出开口 10的中部射出，然而所述激光束典型地在扫描装置I运行期间沿不同的方向摆动。为此，将射出开口直径构造成足够大。
[0030]在图3a和3b中，以两个不同的立体图示出扫描装置I的载体3。在载体3上形成有第一和第二接收开口 13a、13b用于将第一马达镜单元7a、7b和第二马达镜单元至少部分地插入。在此，第一接收开口 13a的轮廓适配于两个能够可选地布置在其中的马达镜单元7a、7b的不同镜大小和/或不同镜位置。由此可实现例如镜连同驱动马达5a、5b —起从图1a中示出的位置向图1b中示出的位置偏移。此外，载体3的第一安装面8在第一接收开口 13a的区域内并且载体3的第二安装面14在第二接收开口 13b的区域内。第一马达镜单元7a、7b可选地能可拆卸地固定在第一安装面8上。此外，激光束2a、2b的入射开口 4形成在载体3上，所述入射开口的开口横截面同样适配于所能够