具有线宽变化的导电层的显示面板的制作方法_2

文档序号:9260805阅读:来源:国知局
不同高度处具有不同线宽。例如一实施例中,第二导电层113在对应第一导电层111的一顶面与一底面处具有不同的线宽。第二导电层113在对应第一导电层111的一斜面处也具有线宽变化。以下根据导电层线宽变化的不同态样提出相关实施例做说明。
[0058]<第一实施例>
[0059]图2简示本发明第一实施例的一显示面板的导电层的局部侧视图。注意的是,虽然在实施例中以第二导电层的线宽变化为例做说明,但本发明并不仅限于此,其他导电层也可在不悖离本发明的精神下应用实施例的设计。再者,在本技术领域人员可充分了解的知识基础下,图示仅简单绘制相关元件以利清楚说明本发明的实施例。
[0060]一实施例中,一基板上的一导电层,如第一基板11的第二导电层(M2) 113,沿一第一方向Dl延伸。第二导电层113沿第一方向Dl依序为位于一第一高度Hl的一第一平面P1、一斜面S及位于一第二高度H2的第二平面P2,第一高度Hl大于该第二高度H2。其中,第二导电层113的第一平面Pl邻近斜面S沿着一第二方向D2具有一第一线宽W1,第二导电层113的斜面S沿第二方向D2具有一第二线宽W2,第一线宽Wl小于第二线宽W2。第一实施例中,第二导电层113的第二线宽W2位于(邻近)斜面S与第二平面P2的交界处,例如是第二平面P2上线宽的最大值。
[0061]如图2所不,第一导电层111沿第二方向D2延伸,第二方向D2垂直于第一方向Dl0第二导电层113经过第一导电层(Ml) 111上方,第二导电层113的第一平面Pl对应第一导电层111的一顶面,第二导电层113的第二平面P2不与第一导电层111重叠,第二导电层113的斜面S也对应第一导电层111的连接顶面和底面的一斜面。
[0062]请同时参照图1和图2。第一导电层111因斜面的形成使其上部的顶面和下部的底面形成了 2个边界,即第一边界LI和第二边界L2。第一导电层111的第一边界LI对应(但非对齐)第二导电层113的第一平面Pl与斜面S的交界处,第一导电层111的第二边界L2对应(但非对齐)第二导电层113的斜面S与第二平面P2的交界处。
[0063]一实施例中,第二导电层113的第二线宽W2邻近于其斜面S与第二平面P2的交界处。再者,一实施例中,第二导电层113的斜面S具有一变化线宽分布,且该变化线宽分布自第一平面Pl朝第二平面P2呈一渐增趋势。如图2所示,第二导电层113的斜面S与第二平面P2的交界处具有最大线宽。虽然实施例中第二导电层113的两侧边在斜面S上是绘制成两弧状曲线来说明线宽变化,但本发明并不以此为限,第二导电层113的两侧边在斜面S上也可以是线性地(直线)呈渐增趋势。
[0064]另外,如图2所示的第二导电层113又可区分为:具有与第一导电层111重叠的一第一部分01 (即对应第一平面Pl的部分)、未与第一导电层111重叠的一第二部分02 (即对应第二平面P2的部分)、以及一交界连接第一部分01与第二部分02。其中,第一部分01于交界沿第二方向D2具有一第一宽度(如第一线宽Wl),第二部分02于交界沿第二方向具有一第二宽度(如第二线宽W2),第一宽度小于第二宽度。
[0065]图3A绘示本发明第一实施例的显示面板中第一种导电层态样的上视图。图3B绘示本发明第一实施例的显示面板中第二种导电层态样的上视图。请同时参照图1和2。图3A与图3B的不同之处在于,第一导电层111的斜面的倾斜程度。
[0066]若第一导电层111的斜面较缓和,第一导电层于第二方向对应具有第一边缘El和第二导电层113的交界E2可于上视图中显示,如图3A所示。而第二导电层113中的交界E2(即连接第二导电层113中与第一导电层111重叠的第一部分01和未重叠的第二部分02),位于第一导电层111的第一边缘El的外侧。
[0067]若第一导电层111的斜面较陡峭,第一导电层111于第二方向对应所具有第一边缘El和第二导电层113的交界E2则于上视图中几近叠合为同一线段,如图3B所示。则此时第二导电层113中的交界E2于上视图中几近对齐于第一边缘El。
[0068]应用本发明实施例进行导电层的制作时,可在光掩模上形成与线宽变化相应的开口形状,使导电层通过该光掩模上进行图案化步骤后,形成如实施例的一具有线宽变化的导电层。实际应用时,光掩模图案随设计的导电层图案而决定。
[0069]根据本发明实施例所提出的一导电层线宽变化的设计,在导电层的不同高度处(例如第二导电层与下方第一导电层的重叠处和非重叠处),设计不同的线宽,使顶面的线宽小于底面的线宽。如实施例所不,第二导电层113位于坡顶(对应第一导电层111的第一边界LI)的线宽(例如第一线宽Wl)小于位于坡底(对应第一导电层111的第二边界L2)的线宽。由于通过特殊的线宽变化设计,使具高度落差的导电层在图案化步骤后可具有良好宽度,不易因图案化步骤中蚀刻液易累积于高度较低的底面处而过度蚀刻导致断线,并可控制上下两导电层其重叠处所产生的寄生电容,避免重叠面积过大而产生过高的寄生电容。因此本发明实施例可提闻广品的良率和电性。
[0070]<第二实施例>
[0071]图4简示本发明第二实施例的一显示面板的导电层的局部侧视图。同第一实施例,第二实施例中也以越过第一导电层111’的第二导电层113’的线宽变化为例做说明,但本发明并不仅限于此。
[0072]请同时参照图1。同第一实施例,第二实施例中一基板上的一导电层,如第一基板11的第二导电层(M2) 113’,沿一第一方向Dl延伸,第一导电层111’沿第二方向D2延伸,第二方向D2垂直于第一方向D1。第二导电层113’的第一平面Pl对应第一导电层111’的顶面,第二导电层113’的第二平面P2不与第一导电层111’重叠,第二导电层113’的斜面S也对应第一导电层111’的连接顶面和底面的一斜面。
[0073]第二导电层113’沿第一方向Dl依序为位于一第一高度Hl的一第一平面P1、一斜面S及位于一第二高度H2的第二平面P2,第一高度Hl大于该第二高度H2。其中,第二导电层113’的第一平面Pl邻近斜面S沿着一第二方向D2具有一第一线宽Wl,第二导电层113’的斜面S沿第二方向D2具有一第二线宽W2,第一线宽Wl小于第二线宽W2。再者,第二导电层113’的斜面S具有一变化线宽分布,且其变化线宽分布自第一平面Pl朝第二平面P2呈一渐增趋势。如图4所示,第二导电层113’的斜面S与第二平面P2的交界处具有最大线宽。
[0074]第二实施例中,第二导电层113’的第一平面Pl且邻近斜面S处还包括一第一线宽变化区(a first reg1n composed of varying line widths)Al。如图 4 所不,第二导电层113’的第一线宽变化区Al具有朝向斜面S方向而渐增的一线宽分布。其中第一线宽变化区Al包括第一线宽Wl。再者,第二导电层113’的第一平面Pl远离斜面S沿第二方向D2具有一第三线宽W3,第三线宽W3小于第一线宽Wl。第三线宽W3也小于第二线宽W2。
[0075]于一实施例,第二导电层113’的第一平面Pl的第一线宽变化区Al的最大线宽小于或等于斜面S的任一线宽。于一实施例,第一线宽变化区Al的最大线宽小于第二平面P2的任一线宽。
[0076]第二实施例中,第二导电层113’的第二平面P2且邻近斜面S处还包括一第二线宽变化区A2。如图4所示,第二导电层113’的第二线宽变化区A2具有远离斜面S方向而渐减的一线宽分布。再者,第二导电层113的第二平面P2远离斜面S沿第二方向D2具有一第四线宽W4,第三线宽W3小于第四线宽W4。第四线宽W4也小于第二线宽W2。第四线宽W4也大于第一线宽Wl。
[0077]于一实施例,第二导电层113’的第二平面P2的第二线宽变化区A2的最小线宽大于第一平面Pl的任一线宽。
[0078]图5A绘示本发明第二实施例的显示面板中第一种导电层态样的上视图。图5B绘示本发明第二实施例的显示面板中第二种导电层态样的上视图。请同时参照图1和图4。类似于图3A、3B,图5A与图5B的不同之处在于,第一导电层111’的斜面的倾斜程度。
[0079]如图5A所示,第一导电层111’的斜面坡度较缓,第一导
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