构16连接。在这种情况下纵向中线彼此间构成180度的角42。
[0178]图9示出根据图8的实施方式，其中连接片14a和14b相对于用于承载的结构16对角线地设置并且各通入用于承载的结构的两个面中，由此角46a、46b、48a和48b构成不同于90度的角。
[0179]图10示出相对于图7和8替选的实施例，其中连接片14a至d设置为，使得所述连接片倾斜地通入用于承载的结构16中，使得角44a至d和46a至d形成不同于90度的角度并且其纵向中线38a至d伸展经过透镜12的光轴28。连接片14a至d在其朝向透镜12的端部上具有成形部48a至d，所述成形部将连接片14a至d与透镜12连接。
[0180]相对于图7至9，这样的实施方式允许连接片14的更大的纵向扩展。更大的纵向扩展能够用于实现连接片14的更大可实现的调节路径，因为固定在连接片14上的透镜12的沿着光轴28的转向的幅度与连接片14的长度相关。
[0181]图11示出相对于图10替选的实施方式，其中仅两个彼此平行地错开的连接片14a和14b经由成形部48a和48b将透镜12与用于承载的结构连接。
[0182]图12示出根据图1O和11的另一个实施方式，其中三个围绕透镜12对称地设置的连接片14a至c通过成形部48a至c将透镜12与用于承载的结构连接。
[0183]连接片的数量和其设置对于连接片14的使用而言原则上能够是任意的。关于这一点需要指出:虽然上述和下述实施例描述了连接片14沿着从用于承载的结构16朝向透镜12的伸展的成形部，但是另一个例如在横向方向上、即在沿着层厚度方向或者光轴的投影中弯曲的成形部也是可行的。在这种情况下，角44和46能够彼此采用彼此不同的值。在所有的实施方案中，也总是示出用于承载的结构16在参考平面18上的平面图的矩形的或者方形的构成方案。然而用于承载的结构的几何形状的构成通常是任意的。
[0184]图13示出图7中的设备，其中在连接片14a至d的一侧上设置有加热元件52a至j。加热元件52a至j例如能够在电学上以欧姆印制导线的形式实施并且构成用于局部地并且与环境温度无关地加热连接片14a至d从而引起连接片14a至d的转向进而引起透镜12的运动。加热元件的形状能够如加热元件52c和52f那样直地伸展或者例如像加热元件52a那样具有多角的伸展。替选地，一个或多个加热元件5 2a至j的曲折的成形部也是可行的。在每个连接片14a至d上设置有导电的聚集连接片54a至d，设置在连接片14a至d中的一个上的加热元件52a至j通入所述聚集连接片中。加热元件52a至j的接触在该实施例中在连接片14a至d的不可运动的端部上并且相邻于用于承载的结构16进行，然而所述接触原则上能够在电极的任意的部位上进行。加热元件52a至j不仅能够以不同的方式成形而且能够加载不同的电势和电流，使得对于每个加热元件52a至j可调节个体的加热功率。
[0185]图14至18示出类似于图7至12的设备，其中在连接片14的一侧上设置有上述加热元件52和聚集连接片54。电加热元件52通过印刷法或者蒸镀借助于模板安置或者溅射到连接片14上。
[0186]图19示出具有四个透镜12a至d的设备30，所述透镜分别经由连接片14a至d、14e至h、14i至I和14m至P与用于承载的结构16连接。因此由用于承载的结构16围绕的单元56a至d中的每一个是类似于图7的设备。在光保持不受透镜12a至d、连接片14a至P或者用于承载的结构16影响的区域中，产生通道区域58a至p。用于承载的结构16由吸收光的材料形成并且对于每个单元56a至d而言是如下光的屏障，所述光在相邻的单元56a至d中由位于该处的透镜处理。
[0187]图20示出设备30，其中设置在单元中的连接片14a至d、14e至h、14i至I和14m至P分别通入用于承载的结构16的一部分中，所述部分构成为环绕的框架62a至d并且由用于形成连接片14a至P的至少一种材料构成。框架62a至d连接到用于承载的结构16的吸收光的材料上。该实施例能够实现连接片14a至P更简单地接触到用于承载的结构，因为在连接片14a至P和用于承载的结构16之间不构成直接的材料过渡，而是在框架62和吸收光的材料之间构成材料过渡，其中框架62a至d无空隙地贴靠其余的用于承载的结构16并且单元并排设置。
[0188]图21示出类似于图20的设备，其中用于承载的结构16包括留空部64a至e，使得单元56a至d仅经由用于承载的结构16的构成为连接片66a至d的区域彼此连接。这在制造设备期间实现了材料节约从而实现了成本节约并且也能够引起关于单元之间的稳定性的更佳的特性，尤其能够降低用于承载的结构16中的通过热变化产生的材料应力。此外，必要时在另一个加工步骤中所需要的那样将单元56a至d彼此分开能够以节省时间的方式进行，因为仅需分开少量的材料。
[0189]图22示出类似于图19的设备，其中用于承载的结构16完全地由框架62a至d形成。通过用于承载的结构16完全地由框架62a至d构成，在生产期间可能能够得到更简单或者更成本适宜地制造设备或者在形成光学的总结构中可能能够得到更大的自由度。因此例如能够沿着透镜的光轴设置用于承载的结构16的其它的部段，如接下来还在图38和39中所示出的那样。连接片14能够如在所有的上述和下述实施例中那样单层片地、即单形地构成或者双层片地、即双形地构成。
[0190]图23示出类似于图21的设备，其中用于承载的结构16完全地由框架62a至d形成并且在留空部64a至e中构成，使得单元56a至d仅经由用于承载的结构16的或者框架62a至d的构成为连接片66a至d的区域彼此连接。
[0191]图24示出设备40的示意性的俯视图，其中透镜阵列68经由八个连接片14a至h与用于承载的结构16连接并且透镜阵列包括承载平面72和新的透镜12a至i，所述透镜以三行和三列设置在承载平面72上。所述设备的光学结构在当前的实施例中构成为多个光学元件的组合，所述光学元件构成为相同的透镜12a至i。然而替选于透镜原则上可行的是:非球面镜、自由成形面、衍射结构、反射镜、棱镜或者如所示出的透镜阵列，所述透镜阵列由刚刚列举的、具有任意数量的行和列的多个相同的或者不同的、也可以是任意组合的光学元件构成。如果多个透镜12设置在阵列68中，那么所有位于其上的透镜12能够共同经由连接片14移动从而降低在各个透镜12的运动之内的偏差。
[0192]在包括多个光学结构12的装置中，例如在图19至23中所示出的那样，也能够类似于图24设置透镜阵列68来代替上述透镜。实施例包括透镜阵列68、用于承载的结构16、由至少一种透镜材料构成的环绕的框架62、在各个单元56之间的连接片66，所述连接片实现了在制造过程结束时简单地分开单元。
[0193]图25示出类似于图6的设备的横截面视图，其中在连接片14a和14b上设置有与其垂直地伸展的结构74a和74b，所述结构相对于透镜12将共同运动的透镜75定位为，使得共同运动的透镜75在连接片14a和14b变形时共同运动并且与透镜12和75的光轴28a和28b基本上一致。透镜12和75与结构74a和74b形成透镜堆76。结构74a和74b在该实施例中一件式地并且由与连接片14a和14b的第二材料层36a和36b和共同运动的透镜75相同的材料形成。通过将共同运动的透镜75设置到连接片14a和14b上，能够在温度变化时也相对于各个其它的透镜补偿透镜12和75的焦距的热致变化，并且同时取消将连接片14附加地设置到用于承载的结构16上。
[0194]如在图25中所示出的那样，结构74a和74b是连接片。替选地或者附加地，结构74a和74b也能够以环绕的形状和/或轮廓构成，所述形状和/或轮廓以间隔于可运动的透镜12或者直接相邻于透镜12的方式设置在连接片14a和14b上。环绕的轮廓实现了共同运动的透镜75相对于运动的透镜12的更精确的定位。
[0195]图26示出根据图25的设备，其中共同运动的透镜75两层地构成并且相对于参考平面18与透镜12相比进一步远离地设置。
[0196]图27示出根据图26的设备，其中共同运动的透镜75相对于参考平面18与透镜12相比更近地设置。其它的结构74a和74b由任意的材料、还有第二层36的材料形成并且设置在连接片14a或14b的第一材料层34a或34b和其它的透镜75的第一材料层34d之间，由此其它的结构74a和74b与透镜12和75多件式地形成。
[0197]图28示出根据图25至27的设备，其中其它的结构74a和74b包括粘接层78，所述粘接层接合部段77a和77b或77c和77d。结构74a和74b经由粘接层78的接合允许在多个彼此分开的制造步骤中制造设备。
[0198]原则上，不仅透镜12而且共同运动的透镜75能够包括任意多个材料层。透镜堆76也能够由任意多个透镜构成，所述透镜经由其它的结构74彼此连接。其它的结构74能够设置在连接片14的任意的层上。
[0199]图29示出设备50，其中两个彼此不同的透镜堆76a和76b经由连接片14a至d与用于承载的结构16连接并且与透镜12a、12b、75a和75b的光轴28a至d基本上一致。透镜堆76a或76b在温度变化的情况下的运动的方向和调节路径与连接片14a和14b或14c和14d的成形相关并且与各个其它的堆76a或76b的运动无关。
[0200]图30a示出图6c中的设备，其中在用于承载的结构16上设置有不运动的透镜79。用于承载的结构16包括第一部段16a和相对于另外的第一部段16a向上定向的部段16b，其中透镜12经由连接片14a和14b设置在所述第一部段上。第一部段16a的直径Xl小于第二部段16b的直径X2，使得通过第一部段16a限定的中间空间Dl大于通过第二部段16b限定的中间空间D2，其中透镜12和连接片14a和14b设置在通过第一部段限定的中间空间中，其中不运动的透镜79和设置在其上的构成为连接片的层81a和81b设置在通过第二部段限定的中间空间中。不运动的透镜79也经由多层的连接片81a和81b固定在用于承载的结构16上并且基本上与透镜12具有相同的形状。由于小的中间空间，不运动的透镜79的层81a和81b小于透镜12的连接片14a和14b，使得不运动的透镜79的连接片在温度变化的情况下不引起不运动的透镜79关于参考平面18的运动或者引起较小的运动。替选地，不运动的透镜79在没有层81a和81b的情况下直接固定在用于承载的结构16上。所述透镜也能够具有与透镜12不同的形状。直径Xl和X2以及中间空间Dl和D2原则上能够具有除了圆形例如还有椭圆或者矩形的任何形状。不运动的透镜79与可运动的透镜12相比相对于参考平面18以更大的间距设置。
[0201]图30b示出类似于图30a的设备，其中不运动的透镜79设置在透镜12下方并且与透镜12相比相对于参考平面18以更小的间距设置。
[0202]图31a和31b示出类似于图30a和30b的设备，其中在透镜12和不运动的透镜79之间，由透镜材料构成的区段82设置在用于承载的结构16上，使得产生环绕的框架。区段82由也用于构成透镜的层中的一个的材料形成。
[0203]图32示出类似于图30和31的设备的设备60。不可运动地设置在用于承载的结构16上的不运动的透镜79两层地构造并且除了这两个材料层34和36外还包括玻璃晶片86，所述玻璃晶片设置在材料层34和36之间并且伸入到用于承载的结构16中。通过玻璃晶片86能够对不运动的透镜79扩展其它的光学特性，例如以引入到玻璃晶片86中的衍射网格的形式，或者扩展其它的机械特性，例如具有附加的加固部。
[0204]图33示出设备70的侧视图，所述设备具有带有连接片14a和14b的可运动的透镜
12。不运动的透镜79两层地构造并且包括玻璃晶片86，所述玻璃晶片使得透镜79尽管在其上设置有连续的层81a至d但是还是不可运动地构成并且设置在不运动的透镜79的这两个材料层34和36之间。用于承载的结构16与层81a和81b—件式地构成。
[0205]图34示出设备70，其中设置在不运动的透镜79上的层81a至d仅部分地设置在玻璃晶片86上以及与用于承载的结构16间隔地设置。不运动的透镜79设置到用于承载的结构上经由玻璃晶片86构成。
[0206]图35示出类似于图33中的设备70的设备80，其中用于承载的结构16b和16c的其它部段设置在设备70上，所述部段包括玻璃晶片86b和具有层81e至h的不运动的透镜79b。用于承载的结构16b和16c的元件由与用于承载的结构16a不同的材料构成。通过不同的用于承载的结构16a至c的彼此接合和透镜12与不运动的透镜79a和79b的组合，能够构成任意设计的光学系统。可实现可运动地、共同运动地和不可运动地设置的透镜12、75和79的任意的顺序和数量。
[0207]图36示出设备80，其中设置在不可运动的透镜79a和79b上的层81a至h仅部分地设置在玻璃晶片86a和86b上。
[0208]也可以考虑，在玻璃晶片86a和86b上仅在不存在层81的情况下设置透镜79a和79b ο
[0209]图37示出类似于图36的设备，其中可运动的透镜12和设置在其上的连接片14a和14b—件式地由一种材料制成并且仅在其余的设备中由不同的材料构成。
[0210]图38示出设备70，其中用于承载的结构16的各个部分16a和16b通过粘接层92彼此接合。
[0211]图39示出类似于图37的设备，其中用于承载的结构16的各个部分16a和16b通过粘接层92彼此接合。
[0212]用于承载的结构16的部分借助于粘接层92彼此接合能够实现结构和设备的构造，其部件在不同的子过程中构成。当不同的接合的部分包括不同的材料或者层序列时，也能够在用于承载的结构16内部构成任意的材料过渡部。
[0213]图40示出类似于图30的设备90，其中透镜堆76替代透镜设置在用于承载的结构16上。
[0214]图41示出设备90，其中不可运动地设置的透镜79包括玻璃晶片86，所述玻璃晶片伸入到用于承载的结构16中。
[0215]图42示出类似于图40的设备90，其中用于承载的结构16的部分16b和16c经由粘接层92彼此接合。
[0216]图43示出类似于图42的设备90，其中不可运动的透镜79类似于图41具有玻璃晶片，所述玻璃晶片伸入到用于承载的结构16中并且其中用于承载的结构16的部分16b和16c经由粘接层92彼此接合。
[0217]图44示出类似于图42的设备90，其中结构74a和74b包括粘接层78。
[0218]图45示出类似于图44的设备90，其中不可运动的透镜79类似于图43包括玻璃晶片86，所述玻璃晶片伸入到用于承载的结构16中。
[0219]图46示出类似于图44的设备90，其中由一种透镜材料构成的其它的区段82a至d设置在运动的透镜12和不运动的透镜79之间并且形成环绕的框架84，其中区段82a和82b经由粘接层92接合并且粘接层92同时接合用于承载的结构16的各个部分16b和16c。
[0220]在上文中但是也在下文中描述的实施例也可容易地转移到如下情况下上，其中其不是透镜而是另一种光学结构、例如衍射光栅。
[0221]迄今为止所描述的实施例专注于实现一种通过连接片的单形或者双形的转向来补偿光学结构的光学特性的温度相关性、例如透镜的焦距的温度相关性的可行性，其中透镜或者光学结构借助于所述连接片悬挂，使得例如光学成像的图像平面或者中间图像平面较小程度地根据温度变化而改变其位置，其中透镜参于所述光学成像。虽然上述实施例始终示出离开形成连接片的(多个)层的层平面的转向，据此光学结构例如在层厚度方向上运动，但是也可行的是，将原理转移到在层平面中的转向上。由此也能够实现与沿着光轴或者倾斜部的平移运动不同类型的运动。除了用于实现光学构造的特性的不透辐射热的近似被动的补偿作用，上述构造能够设有加热元件，以便主动地且与环境温度无关地引起光学部件的运动。
[0222]上述实施例可与接下来描述的实施例的方面组合，据此使用可退火的粘胶，以便固定光学结构的可经由连接片调节的位置的调节。但是接下来的实施例也可脱离于上述实施例的温度补偿效果来使用。
[0223]图47a示出关于光学结构12关于其相对于参考平面18的位置的新的初始位置的调节和固定的示意性的框图。步骤I包含:提供待调节的设备，所述设备包含光学结构。该提供也能够包含:制造具有光学结构12和连接片14的设备。在制造设备期间，也已经能够一起将随后可退火的粘胶102引入到所述设备中。如果粘胶102在提供设备期间尚未设置在所述设备上，那么所述粘胶在第二步骤中设置在设备上，使得所述粘胶设置在连接片14和用于承载的结构16之间。在第三步骤中关于参考平面18调节光学结构，使得实现透镜12相对于参考平面18的期望的间距或者期望的取向。期望的定向例如能够包括透镜12关于参考平面18的最佳的焦点位置。所述调节通过进行调节的影响104进行，所述影响使透镜12从其初始的位置Pl中运动到已调节的位置P2中。这例如能够经由激活位于连接片上的加热元件进行，所述加热元件引起连接片14的变形。其它的作用也是可以考虑的，例如对连接片作用的静电力和经由例如在图64和81中示出的静电驱动器产生的这种静电力。此外可以考虑的是，外部的机械装置对所述结构起作用并且引起连接片14转向从而引起固定在其上的透镜12转向。在调节期间，能够一次或多次地在此期间检查:是否已实现期望的取向。如果为了调节而使用环境温度的变化，也就是说使用相应构成的连接片的与温度相关的转向的上述效果，那么在调节时充分利用之前确定的或者已知的在温度和光学结构的光学特性之间的关联，以便关于预设的使用或者运行温度确定最佳的调节，针对所述使用或者运行温度设置光学结构。如果在调节时以其它方式引起连接片转向，那么所述调节例如在运行温度中或者在允许的运行温度的区间中进行。
[0224]在保留已调节的位置P2的条件下，在第四步骤中进行粘胶102的退火，这引起透镜12和连接片14的固定，其中在已退火的粘胶102的地点处形成连接片14的新的固定点，所述固定点限定连接片14的新的运动形式。在固定之后透镜12根据上述温度相关性还通过连接片在新的固定点和透镜12之间的区域中的变形还能够是可运动的。该残余的可运动性在调节时就应已经在上述调节步骤中一起考虑。如果根据上述实施例中的一个例如借助于局部地加热连接片使连接片转向，并且用于获得最佳的调节或者定向的温度是高的，那么根据残余可运动性能够是有利的是，在固定之前连接片仍少量地转向超出最佳的转向点，以便随后在运行时避免对于在运行时精细调节透镜所不需要的调温。
[0225]图47b示出设备，其中用于承载的结构16由两个部段16a和16b构成。在部段16a上经由连接片14a和14b设置有透镜12。部段16a具有宽度Rl，所述宽度小于用于承载的结构的部段16b的宽度R2，所述部段关于第一部段16a向下取向。由此通过用于承载的结构的第一部段16a限定的中间空间FFl因此大于通过第二部段16b限定的中间空间FF2。通过借助于进行调节的影响104和粘胶102的退火106和进行调节的影响104的去除来调节透镜12相对于参考平面18的与初始位置Pl不同的新的位置P2，透镜12包括已调节的位置P2作为新的初始位置。退火的