一种显微镜物镜的倾斜调整校验装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显微镜技术领域，尤其涉及一种显微镜物镜的倾斜调整校验装置。
【背景技术】
[0002]显微镜的放大作用主要取决于物镜，物镜是由若干个透镜组合而成的一个透镜组。物镜作为显微镜最重要的光学部件，直接关系和影响成像的质量和分辨率等各项光学技术参数，亦是衡量一台显微镜质量的首要标准。随着成像质量、分辨率要求的提高及各种突破光学衍射极限的技术的快速发展，各种高数值孔径例如水浸、油浸及更高数值孔径的固浸物镜应运而生。在光学检测的过程中，若显微镜的物镜倾斜或者光线中心偏离物镜中心，会导致像差增加，使得聚光能力及数值孔径难以充分使用，直接降低成像的质量和分辨率等技术参数，甚至导致某些突破衍射极限的方法失效。因此，检测前有必要对显微镜中安装物镜的物镜架进行倾斜调整及校验，以使物镜架上的物镜安装孔的中心与光线中心同轴，从而保证物镜的中心与光线中心同轴，使得光线不会偏离物镜中心。
[0003]然而，目前市场上还没有可以用于高数值孔径显微物镜的倾斜调整校验装置，导致光学检测时，无法精确判断物镜是否发生倾斜，也就无法保证成像质量。
【发明内容】
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]本发明要解决的技术问题是现有技术缺少可以用于高数值孔径显微物镜的倾斜调整校验装置，导致光学检测时无法精确判断物镜是否发生倾斜的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本发明提供了一种显微镜物镜的倾斜调整校验装置，用于物镜架的倾斜调整及校验，包括:反射镜和反射镜支架，反射镜支架设有反射镜安装孔和外螺纹，外螺纹可与物镜架上的物镜安装孔配合连接，并使得反射镜安装孔的轴线与物镜安装孔的轴线重合;反射镜设于反射镜安装孔内并与反射镜安装孔的轴线垂直，且反射镜的反射面朝向外界激光光源。
[0008]根据本发明，反射镜的反射面上设有若干个以反射面的中心为中心的同心圆环刻度线，反射面的中心位于反射镜安装孔的轴线上。
[0009]根据本发明，反射镜安装孔贯通反射镜支架。
[0010]根据本发明，反射镜可拆卸地嵌设于反射镜安装孔。
[0011 ]根据本发明，反射镜安装孔的孔壁上开设有螺纹通孔，螺纹通孔内设有螺钉;螺纹通孔的轴线与反射镜安装孔的轴线垂直相交，且螺钉与反射镜的侧面相抵持。
[0012]根据本发明，反射镜安装孔为台阶通孔，台阶通孔包括大径孔和小径孔，反射镜设于大径孔内，外螺纹设于小径孔的孔壁的外表面。
[0013](三)有益效果
[0014]本发明的上述技术方案具有如下优点:
[0015](I)本发明的显微镜物镜的倾斜调整校验装置，可通过反射镜支架上的外螺纹与物镜架上的物镜安装孔配合连接，并将激光光束射到反射镜的反射面上，利用激光光束垂直入射到反射镜的反射面上时，反射光将按原路返回的原理判断物镜架是否倾斜:若反射光按原路返回，则判断物镜架未倾斜;若反射光未按原路返回，则判断物镜架存在倾斜角度，应对其进行调整校验，直至反射光按原路返回。由此实现了对物镜架是否存在倾斜的精确判断，并可对其进行调整校验，保证物镜架上物镜安装孔相对激光光束中心不存在倾斜角度，从而保证物镜中心与激光光束中心之间不存在倾斜，进而保证较高的成像质量，满足光学检测对高分辨率和高成像质量与日倶增的需求。
[0016](2)本发明的显微镜物镜的倾斜调整校验装置在反射镜的反射面上设置了若干个以反射面的中心为中心的同心圆环刻度线，且所有的同心圆环刻度线均以反射镜安装孔的轴线为中心，由此使得激光光束射在反射镜的反射面上时，可以直观地观察并判断其是否射在反射镜反射面的中心处，由此可判断物镜安装孔的中心否与激光光束的中心处于同一轴线，即判断物镜安装孔的中心是否与激光光束的中心对准:若激光光束射在反射镜反射面的中心处，则判断物镜安装孔的中心与激光光束的中心对准;若激光光束没有射在反射镜反射面的中心处，则判断物镜安装孔的中心与激光光束的中心未对准，需对物镜架进行调整，直至激光光束射在反射镜反射面的中心处。由此在实现了对物镜架的物镜安装孔的中心是否与激光光束的中心对准的准确判断和快速调节校验。若干个同心圆环刻度线的设置，一方面有利于方便快速地找准反射镜反射面的中心，从而便于调节;另一方面还有利于对入射光斑的质量进行分析。
[0017](3)本发明的显微镜物镜的倾斜调整校验装置通过将反射镜可拆卸地嵌设于反射镜安装孔内，可实现该装置安装在物镜架上正、反两面均可，因此可根据显微镜系统中物镜前后两侧的实际空间大小，来选择将该装置安装在物镜架的正面或反面，增加了其适用性。
【附图说明】
[0018]图1是本发明实施例显微镜物镜的倾斜调整校验装置的结构示意图；
[0019]图2是图1中示出的显微镜物镜的倾斜调整校验装置沿纵向的剖视示意图；
[0020]图3是图1中示出的显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装在物镜架正面时的示意图；
[0021]图4是图1中示出的显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装在物镜架反面时的示意图；
[0022]图5是显微镜的物镜架存在倾斜时的工作状态图；
[0023]图6是图1中示出的显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装在物镜架正面且物镜架存在倾斜时的工作状态示意图；
[0024]图7是图1中示出的显微镜物镜的倾斜调整校验装置安装在物镜架反面且物镜架存在倾斜时的工作状态示意图。
[0025]图中:1:反射镜;2:反射镜支架;20:反射镜安装孔;201:大径孔;202:小径孔;3:同心圆环刻度线;4:螺纹通孔;40:内螺纹;5:外螺纹;6:物镜架;60:物镜安装孔;7:激光源;8:光阑;9:物镜。
【具体实施方式】
[0026]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0027]如图1至图4所示，本发明显微镜物镜的倾斜调整校验装置的一种实施例。本实施例的显微镜物镜的倾斜调整校验装置可用于物镜架的倾斜调整及校验。如图1和图2所示，本实施例的显微镜物镜的倾斜调整校验装置包括:反射镜I和反射镜支架2。其中，反射镜支架2设有反射镜安装孔20和外螺纹5，外螺纹5为RMS型物镜螺纹，外螺纹5可与物镜架上的物镜安装孔配合连接，并使得反射镜安装孔20的轴线与物镜安装孔的轴线重合。RMS型物镜螺纹的基本尺寸为:螺纹角55°、螺距0.706mm、基础三角形的高0.678mm、名义直径20.320mm,反射镜支架2的外螺纹采用RMS型物镜螺纹，既可与传统的纤维镜架通用，也可用于新式的笼式结构显微镜或其它新型的显微镜。反射镜I设于反射镜安装孔20内并与反射镜安装孔20的轴线垂直，且反射镜I的反射面朝向外界激光光源。反射镜I的反射面上设有若干个以反射面的中心为中心的同心圆环刻度线3，反射面的中心位于反射镜安装孔20的轴线上，SP所有的同心圆环刻度线3均以反射镜安装孔20的轴线为中心。
[0028]优选地，如图2所示，本实施例的反射镜安装孔20贯通反射镜支架2，反射镜安装孔20设为台阶通孔，台阶通孔包括大径孔201和小径孔202。外螺纹5设于小径孔202的孔壁的外表面。反射镜I可拆卸地嵌设于大径孔201内，具体为:反射镜安装孔20的大径孔201的孔壁上开设有螺纹通孔4，螺纹通孔4的内壁上设有内螺纹4