一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置的制造方法

文档序号:8651974阅读:933来源:国知局
一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光学测量工装夹具,具体地说是一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置。
【背景技术】
[0002]角锥棱镜是一种高精度的光学元件,广泛用作光电测距的合作目标,极大的提高了仪器的测程。角锥棱镜的光学原理是:进入角锥体的一束平行光线,经三个直角面的两两反射后,将分成不同反射次序的六束光线,只要角锥棱镜是理想的,则此六束光线都将与原入射光线严格平行且反向,即反射光将沿原入射光路返回。这里所谓“理想的”角锥棱镜,除材料必须均匀且各向同性外,直角面的面形及直角面之间的90°夹角都应是完美无缺的。无疑,在加工过程中的精心检测和控制之后,仍存在一定的误差,如90°两面角的误差。
[0003]为了精确地测量角锥棱镜两面角误差,目前采用ZYGO激光干涉仪中“CoreCube.app”软件进行测量,但是在测量过程中,由于角锥棱镜在激光干涉仪上形成的六分体面形图边缘与“CoreCube.app”软件上固定的“六等分Mask”边缘不对正,常常需手动调节旋转角锥棱镜的方位,多次的调整旋转浪费测量时间,对正精度不高,影响测量精度。
[0004]角锥棱镜具有外形小、棱边棱角不允许有任何破损等特点,目前测量角锥棱镜两面角误差时普遍采用三爪夹持裸镜,不易进行旋转调整,而且容易使角锥棱镜破损。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是针对现有三爪夹持角锥棱镜出现的不足,提供一种结构简单,安装方便,易拆卸,可俯仰调节、旋转对正光路的角锥棱镜两面角误差测量调整装置,缩短在使用激光干涉仪测量角锥棱镜两面角差时调整对准时间,避免在测试过程中因多次夹装角锥棱镜发生棱边、棱角破损等质量问题。
[0006]本实用新型给出以下技术方案:
[0007]一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置,其特殊之处在于:包括旋转轮盘、旋转压圈、活动支架、固定支架、驱动机构、复位拉簧和用于放置角锥棱镜的固定筒;
[0008]旋转轮盘左端设置内螺纹,旋转压圈左端设置外螺纹;
[0009]固定筒右端设置外螺纹与旋转轮盘左端的内螺纹配合联接;旋转轮盘右端设有内螺纹与旋转压圈左端的外螺纹配合联接;
[0010]旋转轮盘包括旋转部和连接部,旋转部位于连接部的左侧,旋转轮盘右端的内螺纹位于连接部,
[0011]所述活动支架包裹在连接部和旋转压圈的外周,连接部和旋转压圈与活动支架之间均为间隙配合;活动支架的右端依次通过复位拉簧、驱动机构和固定支架相连。
[0012]驱动机构由细牙钢丝螺套和细牙螺杆组成,细牙钢丝螺套固定在固定支架上,细牙螺杆的一端穿过细牙钢丝螺套与活动支架相连。
[0013]上述驱动机构有3个。
[0014]上述旋转部的外径大于连接部的外径,连接部和旋转压圈与活动支架之间的间隙内填充有润滑脂。
[0015]固定支架的外径大于活动支架的外径。
[0016]固定筒左端设置至少一个螺纹孔,螺纹孔处设有用于固定待测角锥棱镜的紧固顶丝。
[0017]旋转轮盘左端面设置对准刻线,活动支架左端面设置360条刻度线,360条刻度线圆周均布。
[0018]固定筒右端设有保护盖,固定筒与保护盖之间夹装软性棉垫。
[0019]复位拉簧有4个。
[0020]固定支架为“L”型,固定支架上设有通孔。
[0021]本实用新型具有以下技术效果:
[0022]1、本实用新型采用采用“三顶四拉”、“360°旋转”一体结构,角锥棱镜一次夹装,俯仰调整机构解决了角锥棱镜测量有效面积随光束入射角度变化的问题,避免在测试过程中因不对正多次夹装发生棱边、棱角破损等质量问题,提高了角锥棱镜在激光干涉仪上形成的六分体面形图边缘与“CoreCube.app”软件上固定的“六等分Mask”边缘对正精度,进而提高角锥棱镜两面角误差测量精度;
[0023]1、本实用新型利用紧固顶丝侧面定位,使角锥棱镜与固定筒成为一体,且角锥棱镜固定筒内壁深度大于角锥棱镜的高度,保护角锥棱镜棱角不受外力损伤。
【附图说明】
[0024]图1是ZYGO激光干涉仪中“CoreCube.app”软件测量面形图,其中图(a)为角锥棱镜俯仰调整不正确导致入射角度变化后的面形图;图(b)为角锥棱镜旋转角度不正确导致六分体面形图边缘与“CoreCube.app”软件上固定的“六等分Mask”边缘不对正的面形图;图(C)为完善面形图。
[0025]图2是本实用新型的结构局部剖面图。
[0026]图3是图2的左视图。
[0027]图4是本实用新型右视局部剖面图。
[0028]图中I为角锥棱镜固定筒、1-1为紧固顶丝、1-2为保护盖、1-3为软性棉垫、1-4为螺钉、2为旋转轮盘、2-1为对准刻线、3为旋转压圈、4为活动支架、4-1为360°细分刻度、5为固定支架、5-1沉台通孔、6为驱动机构、6-1为细牙钢丝螺套、6-2为细牙螺杆、7为复位拉簧、8为角锥棱镜、9为激光干涉仪平行光束、10为角锥棱镜六分体面形图、11为激光干涉仪“CoreCube.app”软件上固定的“六等分Mask”。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述:
[0030]如图1所示,本实用新型提供的一种角锥棱镜两面角误差测量调整装置,包括旋转轮盘2、旋转压圈3、活动支架4、固定支架5、驱动机构6、复位拉簧7和用于放置角锥棱镜的固定筒;
[0031]旋转轮盘左端设置内螺纹,旋转压圈左端设置外螺纹;
[0032]固定筒右端设置外螺纹与旋转轮盘左端的内螺纹配合联接;旋转轮盘右端设有内螺纹与旋转压圈左端的外螺纹配合联接;
[0033]旋转轮盘包括旋转部和连接部,旋转部位于连接部的左侧,转轮盘右端的内螺纹位于连接部,
[0034]活动支架包裹在连接部和旋转压圈的外周,为旋转轮盘和旋转压圈起支撑和定位作用;连接部和旋转压圈与活动支架之间均为间隙配合;活动支架的右
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