专利名称：格栅状障壁气体放电显示屏的制作方法
技术领域：
本发明属于气体放电技术领域，特别涉及一种带有格栅状障壁气体放电显示屏的制作方法。
背景技术：
等离子显示屏是通过气体放电产生的真空紫外光，照射到红、绿、蓝三基色荧光粉发光来实现彩色显示的平板显示器件。在通常等离子显示屏中，显示屏由前后两块面板构成，前面板上制作有透明电极，BUS电极，BUS电极位于透明电极之上，两者统称为显示电极，在显示电极的外侧制作黑条，在显示电极上再制做一层介质层，然后再在介质层上用真空蒸镀方法制作一层MgO保护膜。在后面板上与前面板显示电极相互正交的方向制作有寻址电极，寻址电极上制作一层介质层覆盖电极，再在介质层上制作条形障壁，并在障壁形成的沟槽中制作荧光粉层。在通常等离子显示中，前面板和后面板面对面地组合，在其间充入一定压力的惰性气体。显示屏按照寻址电极给出信号进行选择性放电，激发荧光粉发光，显示出画面。近年来，随着等离子显示屏技术的发展，出现了一种格栅状障壁结构，在该结构中，各显示单元被障壁分隔成了各个独立的格状单元，有效的消除了相邻单元的光电串扰，同时增大了荧光粉的涂覆面积，提高了发光效率，在这种格栅状障壁结构中，水平方向上的高度略低于垂直方向上的高度，这样就在沿障壁的垂直方向形成了一个排气的通道，便于放电气体的流动，利于排气。这种障壁的制作，通常可以采用丝网印刷工艺或喷砂工艺。但是采用丝网印刷制作时，要多次精确对位，然后再切削，障壁在切削中易于损坏，切削的精度难以控制，不便于在量产技术中使用，而采用喷砂工艺制作的工艺流程太繁琐，材料浪费大，且容易造成环境污染等。
发明内容
本发明的目的在于提供一种制备工艺简单，形成图形精确的格栅状障壁气体放电显示屏的制作方法。
达到上述目的，本发明采用的制作方法为首先按照所需制作的格栅状障壁阵列间距及障壁形成的沟槽宽度要求制作带有条形障壁通孔的水平障壁掩模板和垂直障壁掩模板，且水平条形障壁通孔的宽度为垂直条形障壁通孔宽度的80～90％；其次通过印刷机将具有感光性能的光敏障壁浆料涂敷在制作有寻址电极和介质层的后面板玻璃上，涂敷厚度为200～300μm；在曝光机内依次用垂直障壁掩模板和水平障壁掩模板对印刷有光敏障壁浆料的后面板玻璃进行曝光，依次形成垂直方向的障壁和水平方向的障壁；通过显影将没有曝光的水平方向的障壁进行削除，削除量为水平方向障壁高度的10％～20％，然后对水平方向的障壁进行二次曝光、烧结使水平方向障壁的高度为垂直方向障壁的高度的80％～90％；最后在各障壁形成的沟槽中制作荧光粉层后，再与前面板玻璃组合制成气体放电显示屏。
由于本发明采用光敏障壁浆料，在形成障壁时分别采用两块图形相互垂直的掩模板，叠放时形成格栅状，保证了形成的格栅状障壁图形精确的定位。
图1是本发明垂直障壁掩模板7的结构示意图；图2是本发明水平障壁掩模板9的结构示意图；图3是本发明的制作工艺流程图；图4是本发明格栅状障壁的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
参见图1，2，首先按照所需制作的格栅状障壁阵列间距及障壁形成的沟槽宽度要求制作带有条形障壁通孔的水平障壁掩模板9和垂直障壁掩模板7，且水平条形障壁通孔10的宽度为垂直条形障壁通孔8宽度的80～90％；参见图3，然后在印刷机上将具有感光性能的光敏障壁浆料涂敷在带有寻址电极4和介质层5的后面板玻璃6上，涂敷厚度为200～300μm，形成连续的膜层；在曝光机内依次用垂直障壁掩模板7和水平障壁掩模板9对印刷有光敏障壁浆料的后面板玻璃6进行曝光，紫外光透过掩模板上的条状障壁通孔照射到已涂敷有光敏障壁浆料的后面板玻璃6上，被紫外光照射到的光敏障壁浆料发生化学反应，在后面板玻璃6上依次形成垂直方向和水平方向的障壁沟槽，而被掩模板遮挡的部分不与紫外光发生反应，依次形成垂直方向障壁1和水平方向的障壁2；参见图4，通过显影将没有曝光的水平方向的障壁2进行削除，削除量为水平方向障壁高度的10％～20％；然后对水平方向的障壁2进行二次曝光、烧结使水平方向障壁2的高度为垂直方向障壁1的高度的80％～90％，在行间就形成了一个利于放电气体流动及封排时利于排气的通道；最后在各障壁形成的沟槽中制作荧光粉层3后，再与前面板玻璃组合制成气体放电显示屏。
权利要求
1.格栅状障壁气体放电显示屏的制作方法，其特征在于1)首先按照所需制作的格栅状障壁阵列间距及障壁形成的沟槽宽度要求制作带有条形障壁通孔的水平障壁掩模板[9]和垂直障壁掩模板[7]，且水平条形障壁通孔[10]的宽度为垂直条形障壁通孔[8]宽度的80～90％；2)其次通过印刷机将具有感光性能的光敏障壁浆料涂敷在制作有寻址电极[4]和介质层[5]的后面板玻璃[6]上，涂敷厚度为200～300μm；3)在曝光机内依次用垂直障壁掩模板[7]和水平障壁掩模板[9]对印刷有光敏障壁浆料的后面板玻璃[6]进行曝光，依次形成垂直方向的障壁[1]和水平方向的障壁[2]；4)通过显影将没有曝光的水平方向的障壁[2]进行削除，削除量为水平方向障壁高度的10％～20％，然后对水平方向的障壁[2]进行二次曝光、烧结使水平方向障壁[2]的高度为垂直方向障壁[1]的高度的80％～90％；5)最后在各障壁形成的沟槽中制作荧光粉层[3]后，再与前面板玻璃组合制成气体放电显示屏。
全文摘要
格栅状障壁气体放电显示屏的制作方法，首先按照所需制作的格栅状障壁阵列间距及障壁形成的沟槽宽度要求制作带有条形障壁通孔的水平障壁掩模板和垂直障壁掩模板，其次通过印刷机将具有感光性能的光敏障壁浆料涂敷在制作有寻址电极和介质层的后面板玻璃上，在曝光机内依次用垂直障壁掩模板和水平障壁掩模板对印刷有光敏障壁浆料的后面板玻璃进行曝光、烧结使水平方向障壁的高度为垂直方向障壁的高度的80％～90％；最后在各障壁形成的沟槽中制作荧光粉层后，再与前面板玻璃组合制成气体放电显示屏。本发明采用光敏障壁浆料，在形成障壁时分别采用两块图形相互垂直的掩模板，叠放时形成格栅状，保证了形成的格栅状障壁图形精确的定位。
文档编号H01J9/20GK1619751SQ20041007335
公开日2005年5月25日 申请日期2004年12月6日 优先权日2004年12月6日
发明者陆康宁, 周永新 申请人:彩虹集团电子股份有限公司