专利名称：可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备的制作方法
技术领域：
本发明的实施例大体上与溅射设备有关，更具体而言，是有关于可旋转靶材装置、 可旋转靶材基座装置、可旋转靶材、涂覆设备以及制造可旋转靶材的方法。
背景技术：
可由多种方式来进行基板上的材料薄膜沉积，例如在真空腔室中蒸镀或溅射涂覆材料。藉由溅射方式进行薄膜沉积的典型实例为在太阳能晶片制造或半导体装置制造中的溅射沉积应用。在操作溅射阴极时会产生等离子体，且等离子体的离子会被加速而到达欲沉积至基板上的涂覆材料靶材上。靶材受轰击使得涂覆材料的原子射出，原子累积于溅射阴极下方的基板上而成为沉积膜层。现已知可使用磁增强阴极以得到较高的沉积速率，其亦称为磁溅射。一般的磁增强溅射阴极包括平坦靶材板以及相对于该靶材板而固定于固定位置的磁体数组。磁体所提供的磁场建立出靶材板材料产生溅射的路径或区域。其它的典型磁增强溅射阴极包括圆柱形旋转管，例如，背衬管(backing tube)，其外表面上涂布有一层靶材材料。磁性装置(可包括磁体阵列)设置在该管内部且提供磁场。 该管可沿其纵轴(longitudinal axis，长轴)旋转，因此该管可相对于磁性装置而转向，以选择性地使其外表面上的靶材材料的不同部分或区段到达与磁体相对且在磁场内的位置。在可旋转磁溅射阴极的制造中，可藉由例如喷涂至背衬管的外表面来涂布靶材材料。此外，典型的溅射靶材的靶材材料会快速(例如在一周内)耗尽或消耗。
发明内容
鉴于上述情形，本发明提供如权利要求1所述的可旋转靶材装置、如权利要求3所述的可旋转靶材基座装置、如权利要求10所述的可旋转靶材、如权利要求13所述的涂覆设备，以及如权利要求14所述的可旋转靶材的制造方法。在一个实施例中，一种溅射设备的可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱(solid target cylinder)，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面(front face)；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(flexible element)、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，以及该第二面是用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在另一实施例中，提供一种溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域，以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是选自于该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴之中。
在一个实施例中，一种溅射设备的可旋转靶材包括溅射设备的可旋转靶材装置， 该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在一个实施例中，提供一种溅射设备的可旋转靶材，其包括用于溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱；该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域，以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是选自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴之中；该可旋转靶材基座装置具有至少一个固体靶材圆柱，其设置在该靶材基座圆柱的该侧向表面上，其中该至少一个靶材固定装置提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件选自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴之中。在一个实施例中，一种涂覆设备包括用于溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、 外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在一个实施例中，提供一种包括用于溅射设备的可旋转靶材基座装置的涂覆设备，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是选自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴。在一个实施例中，一种用于制造溅射装置的可旋转靶材的方法包括提供溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱， 该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件；提供固体靶材圆柱；该方法包括选自下列步骤中的至少一个步骤将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的与该至少一个靶材固定装置相邻的侧向表面上；将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第一末端区域处，以及将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第二末端区域处。在一个实施例中，一种用于制造溅射装置的可旋转靶材的方法包括提供溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴中所选出；提供固体靶材圆柱；该方法包括选自下列步骤中的至少一个步骤将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的与该至少一个靶材固定装置相邻的侧向表面上；将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第一末端区域处，以及将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第二末端区域处。其它特征与细节可参见从属权利要求具体实施方式
以及附图。实施例亦有关于用于实行所揭示的方法以及包括所述方法步骤的执行装置部位的设备。此外，实施例也有关于所述装置的操作方法或制造方法，其可包括用于实行该装置功能或用于制造该装置多个部位的方法步骤，并且可藉由硬件组件、固件、软件、经适当软件编程的计算机、藉由上述软硬件的任何组合或以其它方式执行这些方法步骤。
为能更详细了解本发明实施例的上述特征，可参照数个示范实施例来阅读概要整理如上的实施例进一步具体说明。附图显示了数个实施例，且于实施方式中进行说明。部分实施例通过参照下述图式而在实施方式中予以说明，其中图1概要显示可旋转靶材的截面图，该可旋转靶材包括根据本文实施例的用于溅射设备的可旋转靶材基座装置。图加与图2b分别概要显示图1所示实施例的可旋转靶材基座装置的靶材基座圆柱与靶材固定装置。图3a概要显示可旋转靶材的截面图，其包含根据文中实施例的用于溅射设备的可旋转靶材基座装置。图北概要显示图1、加与3a中实施例的可旋转靶材基座装置的靶材调整装置。图4概要显示图1实施例的保持装置的截面图。图5概要显示可旋转靶材的截面图，其包含根据文中另一实施例的用于溅射设备的可旋转靶材基座装置。图6概要显示可旋转靶材的截面图，其包含根据文中另一实施例的用于溅射设备的可旋转靶材基座装置。图7概要显示可旋转靶材的截面图，其包含根据文中另一实施例的用于溅射设备的可旋转靶材基座装置。
具体实施例方式现将参照各实施例进行详细说明，其中一个或多个实例示于图式中；每个实例皆为示例说明，而非作为本发明的限制。应知实施例的组件也可有利地用于其它实施例中，其无须进一步说明。在不限制本发明范围的情况下，在下文中，参考溅射应用来说明可旋转靶材装置、可旋转靶材基座装置、可旋转靶材、制造可旋转靶材的方法以及涂敷设备的实例与实施方式。一般而言，可旋转靶材装置及/或可旋转靶材基座装置包括真空兼容材料 (vacuum-compatible materials)，并且涂覆设备是真空涂覆设备。本文说明的实施例的典型应用为例如用于显示器制造(例如IXD、TFT显示器及有机发光二极管(OLED))、太阳能晶片制造与半导体装置制造中所应用的的溅射沉积。在以下附图的说明中，相同的组件符号代表相同的构件。一般而言，仅针对个别实施例中的差异之处进行说明。在不限制范围的情况下，下文中，可旋转靶材基座装置的靶材基座圆柱例如将被称为可旋转靶材基座、背衬柱(backing cylinder)或背衬管(backing tube)。可旋转靶材将包括例如可旋转靶材基座与固体靶材圆柱。根据第一实施例，一种用于溅射设备的可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面(front face)；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在实施例中，弹性组件被托持于第一面上且/或与固体靶材圆柱相邻。在部分实施例中，弹性组件可受托持而与固体靶材圆柱排成列、可受托持而与该固体靶材圆柱成对齐列，及/或可受托持而与该固体靶材圆柱轴向对齐。在部分实施例(可与本文所说明的任一实施例结合)中，弹性组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面，及/或包括固体组件，该固体组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面。根据第二实施例，提供一种溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是选自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴之中。该第一与该第二末端区域的至少其中一者具有最大外径(outer diameter)，该最大外径实质上等于或小于该中间部分的外径。该靶材固定装置包括自保持装置与靶材调整装置中所选出的至少一个组件，该靶材调整装置用以提供该靶材调整间隙，及/或被提供于该靶材调整间隙中。该靶材基座圆柱为管状，且该靶材固定装置用以提供实质上可平行于该轴而做变化的该靶材调整间隙。在上述第一实施例中，可旋转靶材基座可为本文所述任一实施例的靶材基座圆柱，且/或该第一面可为本文所述任一实施例的侧向表面。此外，在第一实施例中，该第二面可包含在选自下列的至少一个组件内根据本文所述实施例的靶材基座圆柱、如上述第二实施例与本文所述任一其它实施例的保持装置，以及如本文所述实施例的保持装置的该些组件中的其中的组件。弹性组件可为或可包含于本文所述任一实施例的该至少一个靶材固定装置的至少其中一者，或是可为或可包含于本文所述任一实施例的靶材调整装置。此外，该固体组件可为选自下列群组中的至少一个组件根据本文所说明的任一实施例所述的该保持装置的部分、压缩凸缘与凸缘轴承。靶材基座装置是为了例如使固体靶材圆柱同心地设置于靶材基座圆柱上。此外， 固体靶材圆柱可为中空圆柱，藉由将固体靶材圆柱设置在靶材基座圆柱上，即产生典型的可旋转靶材。可旋转靶材基座装置用于使该可旋转靶材实质水平地固定在溅射设备中。可旋转靶材基座装置也可用于使可旋转靶材实质垂直地固定。一般而言，靶材基座圆柱的侧向表面可理解为圆柱筒体或圆柱的心轴。
由于弹性组件及/或靶材调整间隙的原因，当靶材圆柱分别置于可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置上时，本文所揭示的实施例允许固体靶材圆柱在轴向方向上产生热膨胀。因此，当固体靶材圆柱产生热膨胀时，即使固体靶材圆柱的材料包括硅或是由高纯度硅所形成，也不会发生固体靶材圆柱破坏或崩裂的情形。本文所揭示的实施例由于可从背衬柱的至少一个末端进出，因而允许在背衬柱上提供靶材，且该靶材可为固体靶材圆柱。这是因为，例如，部分实施例的背衬柱结构的原因， 其中该背衬柱的至少一个末端区域具有最大外径，其实质上等于或小于该背衬柱之中间部分的外径。因此，可轻易在背衬柱上放置圆柱状或管状固体靶材(其内径与背衬柱的外径相配或更大)。靶材可设计作为接合(bonded)式或非接合(non-bonded)式靶材来使用，一般为非键结接合式靶材。除此之外，相较于用于喷涂靶材的背衬柱，利用本文所述的实施例可将多个圆柱状或管状固体靶材或是将接合式或非接合式靶材的靶材套排列在背衬柱上。 此外，根据本文所述实施例的可旋转靶材基座装置可重复使用，且可藉由更换圆柱状靶材而恢复该可旋转靶材。图1概要显示根据本文所述实施例的用于溅射设备的可旋转靶材1。可旋转靶材 1典型包括可旋转靶材基座装置2与管状固体靶材5，在本文中也称为圆柱状靶材或靶材5。在本文所述的实施例中，靶材5具有内轴向面M、外轴向面55以及连接内轴向面 54与外轴向面55的至少一个前面56。此外，在本文所述的实施例中，可旋转靶材基座装置包括弹性组件23或230、第一面3以及第二面250或81，该第一面3与固体靶材圆柱的内轴向面相配，该第二面用以托持固体靶材圆柱外的该弹性组件。图1所示的可旋转靶材基座装置2的实例进一步示意说明于图加中，且其包括背衬管4。在本文所述的部分实施例中，背衬管的至少一个末端区域具有最大外径，该最大外径实质上等于或小于背衬管的中间部分的外径。在图1所示的实例中，可旋转靶材基座装置2额外包括两个靶材固定装置11、13。本实施例的背衬管4示意说明于图2b中，其具有轴40 (虚线)、中间部分12、侧向表面3、第一末端区域7与第二末端区域9。在本实施例中，第二末端区域9具有最大外径， 其实质上等于或小于该中间部分12的外径。在一些实施例中，藉由熔接接点10处的盖体 8而于第二末端区域9处封闭背衬管4。此外，在第一末端区域7处，具有连接装置以将该靶材基座装置连接至靶材基座支撑件。在本实施例中，连接装置是环形凸缘15，其于熔接接点16处熔接至背衬管4的第一末端区域7。在其它实施例中，凸缘15是夹环或螺环，且为可移除。藉由凸缘15，背衬管4具有开口 18。此外，背衬管4可包括内部空间6，用以容置自磁体装置与冷却系统中所选出的至少一个组件。在本文所揭示的实施例中，可旋转靶材基座装置可包括一个或多个靶材固定装置，其中一个靶材固定装置提供在该第一与该第二末端区域的至少其中一处，且为可移除。 在本文所述的实施例中，至少一个靶材固定装置提供在第一与第二末端区域的至少其中一者处；在此实例的变化例中，至少一个靶材固定装置是可移除的。根据本文所述的实施例，背衬管4的第一末端区域7与第二末端区域9各自具有靶材固定装置11、13。靶材固定装置11、13各自包括保持装置与靶材调整装置。在第1、加与2b图所示的实施例中，靶材固定装置11是提供在背衬管4的第一末端区域7处，且靶材固定装置13是提供在背衬管4的第二末端区域9处。至少该靶材固定装置13可从背衬管4移除。如图2b所示，背衬管4的凸缘15可包括环形凹部17，其与衬管4的侧向表面3相邻。凸缘15与环形凹部17为靶材固定装置11的部分。凸缘15作为靶材固定装置11的保持装置，而环形凹部17作为靶材固定装置11的可调整凹部。图加说明本实施例在组装状态中的可旋转靶材基座装置2的背衬管4以及靶材固定装置11、13。可旋转靶材1的管状固体靶材5并未示出。为了完成靶材固定装置11， 在凸缘15的环形凹部17中提供螺卷环形弹簧21。此外，已组装的靶材固定装置13包括环形锁定装置(annular locking means) 230在本实施例中，如图1所示，锁定装置23包括螺帽25与压缩凸缘M，且在背衬管4的盖体8处，提供中心螺栓沈作为凸缘轴承。中心螺栓 26具有与螺帽25的内部螺纹相应的外部螺纹。螺帽25进一步包括垫圈22以作为凸缘固定构件。锁定装置23于邻近侧向表面3的位置提供环形凹部观0，藉由压缩凸缘M的相应直径来建构出凹部观0。在组装状态中，当接触背衬管4的盖体8时，压缩凸缘M定位为与中心螺栓沈上的中心螺孔MO同心，且在凹部280填装螺卷环形弹簧27。如图4所示，其示意说明锁定装置23的压缩凸缘对。压缩凸缘M包括中心螺孔 M，且在最外周围处具有侧向环形突出部39，从而当锁定装置23设置于背衬管4时形成环形凹部280 (如图加中所示容纳有弹簧27的环形凹部)。压缩凸缘M的形状、宽度与内径皆可适当选择，以于组装时提供与锁定装置23与弹簧27的良好匹配。概言之，在本实施例中，包括有螺栓沈、螺帽25与压缩凸缘M的锁定装置23形成了靶材固定装置13的保持装置，而弹簧27作为靶材固定装置13的靶材调整装置。此外， 在本实施例中，凸缘15是靶材固定装置11的保持装置，而弹簧21是靶材固定装置11的靶材调整装置。图1示出了在组装状态中的可旋转靶材1。凸缘15与锁定装置23之间的距离(即本实施例中凸缘15与压缩凸缘M之间的距离)大于管状固体靶材5的长度。靶材5定位于背衬管的侧向表面3，并且置于靶材固定装置11与13各自的弹簧21、27之间。因此，在凸缘15与锁定装置23之间和在凸缘15与管状固体靶材5之间分别形成了靶材调整间隙观、29。藉此，使靶材5在平行于该背衬管4的旋转轴(在本实施例中为纵轴)的方向中热膨胀是可行的，且可避免这种热膨胀的不良影响。由于弹簧21与27的弹簧张力的原因，靶材5与背衬管4对齐，甚至是置中地设于背衬管4上。藉此可使管状固体靶材5在与可旋转靶材1的旋转轴平行的方向上达到最佳定位。弹簧21与27托持靶材5于固定位置，即使形成有间隙观与四。至少一个弹簧21与27包括选自由导电材料、金属与不锈钢所组成的群组中的至少一种材料。一般而言，弹簧21与27由平坦金属条所制成，其本身卷绕成螺卷状。因此， 弹簧21、27提供电接触，一般期望可经由弹簧21而至少在图1所示的凸缘15与管状固体靶材5之间提供既定电位。图3a说明了本文所示实施例的可旋转靶材1的另一个实例，其具有管状固体靶材50，该管状固体靶材50包括两个相邻的管件51、52。在这样的情形中， 每管件51、52都由个别相邻弹簧21、27提供既定电位。图北说明弹簧21作为环形螺卷弹簧21、27的例子。在此例中，弹簧21是由平坦金属条30制成，其本身卷绕成螺卷状，所产生的平坦金属条30的螺卷(coil)形成环状(未示)，其尺寸与直径适于填入凸缘15的凹部17。因此，弹簧27的直径大小适于填入由设置在背衬管4上的压缩凸缘M所形成的凹部观0中。如图北所示，弹簧21的平坦面定位在弹簧21的外周(outer circumference)处。因此，当弹簧21是由导电材料制成时，弹簧与相邻的凸缘15及靶材5之间的电接触强度即可提高。在本文所述的实施例中，固体靶材圆柱的内径可实质上等于或大于靶材基座圆柱的中间部分的外径。一般而言，靶材5、50的外径约IOOmm至200mm，更典型是约130mm至约 170mm之间，最典型的是约150mm至约160mm之间。靶材5、50的内径在约80mm至约180mm 的范围内，更典型是在约IlOmm至约150mm之间，最典型的是在约130mm至约140mm之间。靶材的厚度介于约3mm至30mm，且最典型的是约20mm。一般而言，靶材5的长度介于约MOmm 至1540mm，更典型是在约440mm至约1340mm之间，且最典型的是在约440mm至约MOmm之间。背衬管4在中间部分的外径介于约80mm至约180mm，更典型是在约IlOmm至约150mm之间，且最典型的是在约130mm至约140mm之间。背衬管4的内径一般介于约60mm至160mm， 更典型是在约90mm至约130mm之间，且最典型的是在约IlOmm至约120mm之间。背衬管4 的长度介于约300mm至约1600mm，更典型是在约500mm至约1400mm之间，且最典型的是在约500mm至600mm之间。一般而言，靶材5、50的内径与背衬管4的外径经选择，而使靶材 5,50的内表面与背衬管4的侧向表面3之间的空隙等于或小于0. 7mm,以于靶材与衬管之间提供所需的热传递。在本文所述的部分实施例中，背衬管4的中间部分的外径及/或内径在中间部分12的整体长度上呈实质上固定。此外，在本文所述的部分实施例中，靶材5、 50的外径及/或内径在靶材5、50的整体长度上呈实质固定。用于本文所述实施例中的靶材材料的实例为靶材5包括硅(例如质量为5N者)， 其可掺杂硼(例如Z-600)。一般而言，本文所述实施例适合用于实质水平安装或是相对于水平线而安装，甚至是呈某倾斜程度地安装可旋转靶材1 ；这是因为弹簧21、27为管状固体靶材5提供可靠地对齐或置中设置(centering)。根据另一实施例，提供一种制造溅射设备的可旋转靶材的方法，其包括步骤提供如本文中任一实施例所述的用于溅射设备的可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置；提供固体靶材圆柱；以及将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的侧向表面上。该方法可包括步骤在该设置靶材基座圆柱的步骤之后，将靶材固定装置装设在该靶材基座圆柱的第一与第二末端区域至少其中一者上。此外，该固体靶材圆柱是中空圆柱，该固体靶材圆柱可同心地设置于该靶材基座圆柱上。一般而言，藉由结合根据上述其它实施例的固体靶材圆柱与靶材基座圆柱，即可形成可旋转靶材。该可旋转靶材可用于实质水平安装在溅射设备中的溅射靶材。在本文所述的方法实施例中，提供如图2b所示的背衬管4。接着，将弹簧21同心定位于背衬管4的第二末端区域9处，且自第二末端区域9移动至第一末端区域7。然后， 将管状固体靶材5同心放置在第二末端区域9上，沿着背衬管4的中心轴40 (即本实施例中的纵轴)平行移动而接触弹簧21。其次，弹簧27同心放置于背衬管4上且接触靶材5。 接着，藉由使压缩凸缘M的螺孔240同心置于螺栓沈上并且接触盖体8，使该突出部39面向靶材5且将弹簧27填入凹部观0，而将锁定装置23的多个组件安装在末端区域9处。之后，螺帽23固定于螺栓26。因此，管状固体靶材5对齐或置中地设置于弹簧21、27之间，而形成如图1所示的可旋转靶材1。靶材调整间隙观、四因为有弹簧21、27而可变化，因此靶材调整间隙观、四允许靶材材料在与可旋转靶材1的旋转轴平行的方向中热膨胀。在部分实施例中，弹簧21是由导电材料制成，因此其可提供靶材5的既定电位。如上所述，背衬管4的第二末端区域9具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径。因此，藉由使管状固体靶材5同心设置在第二末端区域9并且沿着背衬管的旋转轴(在本实施例中为纵轴)平行移动或推动管状固体靶材5，即可将管状固体靶材5 (其内径实质上等于或大于背衬管中间部分的外径)放置在背衬管4上。此外，当修复可旋转靶材1，以替换耗尽的靶材5时，也可使用此程序。举例而言，替换动作可藉由下述方式来执行自图1所示的可旋转靶材1上卸除解除靶材固定装置13、移除靶材5、将另一靶材5同心设置在背衬管4上，以及将安装靶材固定装置13使其抵靠着该背衬管。此外，固体靶材圆柱可为中空圆柱，该固体靶材圆柱同心设置在靶材基座圆柱上。 该可旋转靶材可用于实质水平地将溅射靶材安装在溅射设备中。一般而言，使用根据本发明实施例的固体靶材圆柱与靶材基座圆柱，使得可旋转靶材得以修复，这在分别使用如本文所述实施例的可旋转靶材基座装置与可旋转靶材时，亦是可行的，因为可在靶材基座固定圆柱的至少一侧处移除该用于托持靶材基座圆柱上的靶材圆柱的靶材固定装置。举例而言，在部分实施例中，其中一个靶材固定装置是可移除轴环或可移除夹环。此外，当水平托持的可旋转靶材仅于侧连接至靶材基座支撑件(例如轴承及/或驱动器)时，可从无靶材基座支撑件的侧移除靶材固定装置，以更换靶材圆柱。在部分实施例中，靶材固定装置用以在固体靶材圆柱邻近处及/或保持装置与固体靶材圆柱之间提供靶材调整间隙。根据实施例，该保持装置可包括自下述选出的至少一个组件位于该靶材基座圆柱其中个末端区域处的凸缘、压缩凸缘、凸缘轴承、凸缘固定构件以及用以至少部分容置该靶材调整装置的调整凹部；且/或该靶材固定装置用以在该保持装置的该些组件的至少一个组件相邻处及/或在该保持装置的两组件之间提供该靶材调整间隙。图6示意说明可旋转靶材110的另一实施例。可旋转靶材110包括背衬管4、如图2b所示的可旋转靶材基座装置2以及靶材固定装置130。图中亦示出可旋转靶材110的管状固体靶材5。为完成靶材固定装置11，在凸缘15的环形凹部17中提供有螺卷环形弹簧21。此外，已组装的靶材固定装置130包括环形锁定装置230。在本实施例中，锁定装置 230包括螺栓沈、螺帽25与压缩凸缘M以及碟形弹簧270。在背衬管4的盖体8处具有中心螺栓沈。中心螺栓沈具有与螺帽25的内部螺纹相应的外部螺纹。如图6所示，螺帽25 进一步包括垫圈22。锁定装230于螺帽25或垫圈22 (如果存在的话)与压缩凸缘M之间提供环形调整间隙四0。为了组装靶材固定装置130，压缩凸缘M的中心螺孔MO同心地定位在中心螺栓沈上的而接触背衬管4的盖体8。此外，碟形弹簧270定位为与压缩凸缘 24相邻，而螺帽23固定于碟形弹簧270上方建立，从而建立碟形弹簧270的弹力并形成靶材调整间隙四0。因此，管状固体靶材5对齐或置中设置于弹簧21与270之间，形成如图6 所示的可旋转靶材1。由于弹簧21与270的原因，靶材调整间隙观、290可变化，而允许靶材材料于与可旋转靶材1的旋转轴平行的方向中热膨胀。此外，弹簧21由导电材料制成， 因此可提供靶材5的既定电位。在可旋转靶材1或靶材110、靶材基座装置、方法的上述实施例的变化例中，这些靶材固定装置中仅有一个靶材固定装置(因而只有一个靶材调整装置)位于背衬管4处以将管状固体靶材定位(例如对齐或置中设置)于其上。举例而言，相较于以包含凹部17的凸缘15作为对靶材基座支撑件的连接装置，也可使用不含凹部17的凸缘15。此类实施例说明于图5与图7，图5与图7分别示出可旋转靶材101与111，可旋转靶材101、111与图 1和图6的可旋转靶材1、110不同处仅在于，可旋转靶材101、111各自的靶材固定装置13、 130是位于末端区域9，而末端区域7具有凸缘150，凸缘150直接接触靶材5的相邻前面 56。由于可从背衬柱的至少一个末端处进出，故本文所述的实施例允许于背衬柱(例如背衬管)上提供圆柱形靶材(其可为固体靶材材料管)。这是因为例如部分实施例的衬柱结构的原因，其中背衬柱的至少一个末端区域具有最大外径，该最大外径实质上等于或小于背衬柱之中间部分的外径。因此，经由具有最大外径的至少一个末端区域(该最大外径实质上等于或小于背衬柱之中间部分的外径)，可轻易在背衬柱上放置其内径与背衬柱的外径相配的圆柱状或管状固体靶材。此外，根据本文所述的实施例，至少一个末端区域具有可移除靶材固定装置，当欲将圆柱形靶材放置在背衬柱上时，该靶材固定装置可被移除。 靶材可经设计为作为接合式或非接合式靶材使用，典型为非接合式靶材。当靶材是作为非接合式靶材使用时，由于本文所述的实施例的原因，可避免固体靶材与背衬柱的昂贵接合， 因此不需要使用昂贵的接合材料来使靶材固定在背衬柱上。在其它实例中，固体靶材可藉由接合而提供于溅射阴极的背衬管上，然其也可能需要接合材料。除此之外，由于根据实施例，弹性组件及/或一个或多个靶材固定装置可设置于背衬柱上，而允许在圆柱固体靶材与靶材固定装置之间，或在靶材保持装置的组件之间形成至少一个靶材调整间隙，故背衬柱材料与靶材材料的热膨胀系数可不相同。此外，在包括弹性组件及/或靶材固定装置的实施例中，靶材可固定至背衬柱上、或甚至置中设置或对齐于背衬柱上的期望位置处。因为弹性组件及/或靶材调整间隙的原因，当靶材圆柱分别置于可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置上时，本文所述的实施例允许固体靶材圆柱于轴向方向上热膨胀。因此，即使固体靶材圆柱包括硅或由高纯度硅所制成，也不会发生固体靶材圆柱的破坏与崩裂情形。在实施例中，用于溅射设备的可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该弹性组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该弹性组件包括固体组件 (solid element)，其用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面。在可与本文所述任一其它实施例结合的另一实施例中，提供一种用于溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而变化，该至少一个组件是自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴中所选出。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该靶材固定装置包括自保持装置与靶材调整装置中所选出的至少一个组件，该靶材调整装置用以提供该靶材调整间隙及 /或可被提供于该靶材调整间隙之中。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该靶材基座圆柱是管状，且该靶材固定装置用以提供可实质平行于该轴而做变化的该靶材调整间隙。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，自该弹性组件、该靶材固定装置与该靶材调整装置中所选出的至少一个组件包括选自下列的至少一个组件弹性构件、 环形弹性构件、弹簧、碟型弹簧、螺卷弹簧、环形弹簧、环形螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的弹簧、由平坦金属条所制成的螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的环形弹簧、由平坦金属条所制成的环形螺卷弹簧、导电材料、金属及不锈钢。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该靶材固定装置是可移除的 (removable)0在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，自该保持装置与该靶材调整装置中所选出的至少一个组件是可移除的。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该第一与该第二末端区域的至少其中一者具有最大外径，该最大外径实质上等于或小于该中间部分的外径。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该至少一个靶材固定装置的至少其中一者是设置于该第一与该第二末端区域的至少其中末端区域处且为可移除。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该靶材固定装置用以在该保持装置相邻处，及/或在该保持装置与该固体靶材圆柱之间提供该靶材调整间隙。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该保持装置包含选自下列的至少一个组件设置在该靶材基座圆柱的其中一个末端区域处的凸缘、压缩凸缘、凸缘轴承、 凸缘固定构件，以及用以至少部分容置该靶材调整装置的调整凹部。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该靶材固定装置用以在选自下述的至少一个位置处提供该靶材调整间隙在该保持装置的该些组件的至少其中组件相邻处，及/或在该保持装置的该些组件的两个组件之间。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该至少一个靶材固定装置的至少其中一者包括连接装置，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该第一末端区域具有连接装置，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件；及/或其中该连接装置形成该至少一个靶材固定装置的其中一者的该保持装置。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，该第二末端区域具有最大外径，该最大外径实质上等于或小于该中间部分的外径，且其设置有该至少一个靶材固定装置中的其中一者。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，一种包括溅射设备的可旋转靶材，其包含用于溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，提供一种溅射设备的可旋转靶材，其包括用于溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱；该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴所选出；该可旋转靶材基座装置具有至少一个固体靶材圆柱，该至少一个固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的该侧向表面上，其中该至少一个靶材固定装置提供靶材调整间隙，其实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件是自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴所选出。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，包括选自下列的至少一个组件具有该至少一个靶材固定装置的至少其中一者(其设置在该第一与该第二末端区域中至少其中处)的可旋转靶材基座装置；该至少一个靶材固定装置的至少其中一者且可移除；该靶材固定装置，其包括选自保持装置与靶材调整装置中的至少一个组件，该靶材调整装置提供靶材调整间隙或可提供在靶材调整间隙中；靶材基座圆柱的第一与第二末端区域的至少其中一者，该靶材基座圆柱具有最大外径，该最大外径实质上等于或小于该中间部分的外径；以及至少一个固体靶材圆柱的内径实质上等于或大于靶材基座圆柱的中间部分的外径。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例包括选自下列的至少一个组件该至少一个固体靶材圆柱，其位于第一与第二末端区域之间；该至少一个固体靶材圆柱，其位置可由该至少一个靶材固定装置予以调整；该靶材固定装置，其提供靶材调整间隙于选自下列的位置处于该固体靶材圆柱相邻处，以及在保持装置与至少一个固体靶材圆柱之间； 以及，该靶材固定装置，其提供该靶材调整间隙于选自下列的位置处在保持装置的该些组件的至少一个组件相邻处，以及在保持装置的两组件之间。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，一种涂覆设备包括用于溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱， 该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，提供一种包括用于溅射设备的可旋转靶材基座装置的涂敷设备，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱， 该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴所选出的至少一个组件而做变化。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，一种用于制造溅射装置的可旋转靶材的方法包括提供用于溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座，用于托持固体靶材圆柱，该固体靶材圆柱具有内轴向面、外轴向面以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件、第一面以及第二面，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件；提供固体靶材圆柱；该方法包括选自下列的至少一个步骤 将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的与该至少一个靶材固定装置相邻的侧向表面上；将该至少一个靶材固定装置中的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第一末端区域处，及将该至少一个靶材固定装置中的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第二末端区域处。在可与本文所述任一其它实施例结合的实施例中，一种用于制造溅射装置的可旋转靶材的方法包括提供用于溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置用以容置至少一个固体靶材圆柱，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱，其具有轴、侧向表面、中间部分、第一末端区域以及与该第一末端区域相对的第二末端区域；以及至少一个靶材固定装置，用以提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于自该靶材基座圆柱的该侧向表面与该轴中所选出的至少一个组件而做变化；提供固体靶材圆柱；该方法包括选自下列中的至少一个步骤将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的与该至少一个靶材固定装置相邻的侧向表面上；将该至少一个靶材固定装置中的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第一末端区域处，及将该至少一个靶材固定装置中的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第二末端区域处。在本文所述的部分实施例中，可旋转靶材基座为根据本文所述任一实施例的靶材基座圆柱；及/或该第一面是如本文所述任一实施例的侧向平面；及/或该第二面是包含在选自下列的至少一个组件中根据本文所述任一实施例的靶材基座圆柱及/或保持装置，及根据本文所述任一实施例的保持装置的该些组件中的其中个组件；及/或该弹性组件是自根据本文所述任一实施例的靶材固定装置与靶材调整装置中所选出的至少一个组件；及/或该固体组件是自根据本文所述任一实施例的保持装置的部分、压缩凸缘以及凸缘轴承中所选出的至少一个组件。前述说明以多个实施例(包括最佳实施方式)来揭示本发明，以使本领域技术人员可实行及使用本发明。本发明虽已以各种特定实施方式加以说明，但是本领域技术人员应知本发明可于权利要求所限定的范畴与精神内加以修改而实行，特别是，上述实施例中彼此不排斥的特征也可互相组合。本发明的保护范围由权利要求加以限定，且其也包括本领域技术人员所能推出的其它实施例，此类其它实施例也涵盖在权利要求的范围内。前述内容针对本发明的数个实施例进行说明，但在不背离发明基本范围的前提下，亦可推出其它或进一步的实施例，且本发明的范围由所附权利要求予以限定。
权利要求
1.一种溅射设备的可旋转靶材装置，其包括可旋转靶材基座G)，用于托持固体靶材圆柱(5)，该固体靶材圆柱具有内轴向面 ( )、外轴向面(5 以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面(56)；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件03 ；230)、第一面(3)以及第二面Q50 ；81)，该第一面C3)适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，且该第二面O50 ；81)用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。
2.如权利要求1的溅射设备的可旋转靶材装置，其中该弹性组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面(56)；及/或其中该弹性组件包括固体组件，该固体组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面 (56)。
3.一种溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置是用以接收至少一个固体靶材圆柱(5)，该可旋转靶材基座装置包括靶材基座圆柱(4)，其具有轴(40)、侧向表面(3)、中间部分(12)、第一末端区域(7)以及与该第一末端区域相对的第二末端区域(9)；以及至少一个靶材固定装置(11，13)，用以提供靶材调整间隙08 ;29)，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件选自于下列群组中该靶材基座圆柱的该侧向表面以及该轴。
4.如权利要求3的可旋转靶材基座装置，其中该靶材固定装置包括选自保持装置(15； 23 ；230)与靶材调整装置Ol ；27 ；270)中的至少一个组件，且该靶材调整装置用以提供该靶材调整间隙及/或该靶材调整装置被提供在该靶材调整间隙中；及/或其中该靶材基座圆柱为管状，且该靶材固定装置用以提供可实质上平行于该轴而做变化的该靶材调整间隙。
5.如权利要求1至4中任一项的可旋转靶材基座装置，其中选自该弹性组件、该靶材固定装置与该靶材调整装置中的至少一个组件包括选自下述群组中的至少一个组件弹性构件、环形弹性构件、弹簧、碟型弹簧、螺卷弹簧、环形弹簧、环形螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的弹簧、由平坦金属条所制成的螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的环形弹簧、由平坦金属条所制成的环形螺卷弹簧、导电材料、金属及不锈钢；且/或其中选自该弹性组件、该靶材固定装置与该靶材调整装置中的至少一个组件是可移除的。
6.如权利要求3至5中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该第一与第二末端区域的至少其中一者具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径；及/或其中该至少一个靶材固定装置(1 的至少其中一者是提供在该第一与第二末端区域的其中至少一个末端区域处且为可移除的。
7.如权利要求3至6中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该靶材固定装置用以于该固体靶材圆柱邻近处及/或在该保持装置与该固体靶材圆柱之间提供该靶材调整间隙；及 /或其中该保持装置包括选自下述群组中的至少一个组件位于该靶材基座圆柱的该些末端区域其中末端区域处的凸缘(15)、压缩凸缘(M)、凸缘轴承(沈)、凸缘固定构件0 以及用以至少部分容置该靶材调整装置的调整凹部(17 ；25)；及/或其中该靶材固定装置用以在该保持装置的该些组件的至少一个组件相邻处及/或在该保持装置的该些组件的两组件之间提供该靶材调整间隙。
8.如权利要求3至7中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该至少一个靶材固定装置 (15)的至少其中一者包括连接装置(15)，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件；及 /或其中该第一末端区域具有连接装置(15)，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件；及/或其中该连接装置形成该至少一个靶材固定装置的其中一者的该保持装置；及/或其中该第二末端区域(9)具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径，用以提供该至少一个靶材固定装置的至少其中一者。
9.如权利要求1或2的可旋转靶材装置，其中该可旋转靶材基座是如权利要求3至8 中任一项所述的靶材基座圆柱；及/或其中该第一面是如权利要求3至8中任一项所述的侧向表面；及/或其中该第二面是包含在至少一个组件中，该至少一个组件选自下列群组 权利要求3至8中任一项所述的靶材基座圆柱、权利要求3至8中任一项所述的保持装置以及权利要求7所述的保持装置中的该些组件的其中一者；及/或其中该弹性组件是选自于下列群组中的至少一个组件权利要求3至8中任一项所述的靶材固定装置与靶材调整装置；及/或其中该固体组件是选自下列群组中的至少一个组件权利要求3至8中任一项所述的保持装置、压缩凸缘与凸缘轴承。
10.一种溅射设备的可旋转靶材，其包括如权利要求3至9中任一项所述的可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置，该可旋转靶材基座装置具有至少一个固体靶材圆柱，其设置在该靶材基座圆柱的侧向表面上，其中该至少一个靶材固定装置(11，1 提供靶材调整间隙，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件选自下列群组中该靶材基座圆柱的该侧向表面以及该轴。
11.如权利要求10所述的溅射设备的可旋转靶材，其中该可旋转靶材基座装置具有该至少一个靶材固定装置的至少其中一者是设置在该第一与该第二末端区域的至少其中一者上；及/或其中该至少一个靶材固定装置的至少其中一者可移除；及/或其中该靶材固定装置包括至少一个组件，该至少一个组件选自下列群组中该保持装置(15 ；23 ；230)与该靶材调整装置Ol ；27)，该靶材调整装置提供该靶材调整间隙及/或提供在该靶材调整间隙中；及/或其中该靶材基座圆柱的该第一与该第二末端区域的至少其中一者具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径；及/或其中该至少一个固体靶材圆柱的内径实质上等于或大于该靶材基座圆柱的该中间部分的该外径。
12.如权利要求10或11所述的可旋转靶材，其中该至少一个固体靶材圆柱位于该第一与该第二末端区域之间，且/或具有由该至少一个靶材固定装置所调整的部分；及/或其中该靶材固定装置在该固体靶材圆柱邻近处及/或在该保持装置与该至少一个固体靶材圆柱之间提供该靶材调整间隙；及/或其中该靶材固定装置在该保持装置的至少一个组件邻近处及/或在该保持装置的两组件之间提供该靶材调整间隙。
13.一种涂覆设备，其包括如权利要求1至9中任一项所述的可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置，及/或如权利要求10至12中任一项所述的可旋转靶材。
14.一种制造溅射设备的可旋转靶材的方法，其包括提供如权利要求1至9中任一项所述的可旋转靶材装置或可旋转靶材基座装置； 提供固体靶材圆柱；以及将该固体靶材圆柱设置在该靶材基座圆柱的侧向表面上，该侧向表面与至少一个靶材固定装置相邻。
15.如权利要求14所述的方法，包括选自下列步骤的至少一个步骤将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第一末端区域处;及将该至少一个靶材固定装置的其中一者设置在该靶材基座圆柱的该第二末端区域处。
全文摘要
一种溅射设备的可旋转靶材装置，该可旋转靶材装置包括可旋转靶材基座(4)，用于托持固体靶材圆柱(5)，该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及至少一个前面(56)，该前面连接该内轴向面与该外轴向面；其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23；230)、第一面(3)以及第二面(250；81)，该第一面适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，该第二面用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。
文档编号H01J37/34GK102197453SQ200980142266
公开日2011年9月21日 申请日期2009年10月23日 优先权日2008年10月24日
发明者刘健, 罗兰·特拉斯里, 迈克尔·舍弗尔 申请人:应用材料公司