专利名称：一种扫描电子显微镜扫描用夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种进行扫描电子显微镜扫描样品用的辅助夹具。
背景技术：
随着器件及缺陷点尺寸的不断减小，普通的OM即光学显微镜已经无法进行观测， 于是SEM (Scan Electronics Microscopy)扫描式电子显微镜成为必需的工具。由于不同的扫描电子显微镜真空室都是有各自的尺寸，以及配套的支架。但是真空室内部结构比较复杂，为了避免使用者在观察样品时不至于撞到内部的接收探头等，设计的支架也会比较小，这样便不足以充分利用其使用面积，效率降低。扫描电子显微镜是一台比较老式的电镜，在换样品时需要将整个真空室破真空， 现有支架如图1所示，托盘为圆环形，直径大小是5cm。在大批量观察样品时一次放入真空室的数量较少，由于换样需要破掉整个真空，抽真空时间相对比较长，大大降低了效率。此真空系统很难得到改进，因此，如何在真空系统不变的情况下提高样品的检测效率的问题， 成为该技术领域亟待解决的问题。
实用新型内容为解决现有扫描电子显微镜批量扫描样品时速度慢、效率低的问题，本实用新型提供以下技术方案一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。更优地，所述托板的材质为金属铝。本实用新型优点是1、本实用新型通过在原有夹具上面增加了托板，从而达到增大使用面积的效果， 制作成本低；2、本实用新型使用方形托板来增加原来环形托盘的面积，有效增加了单次检测的可放置样品数量，提高了样品的检测效率。
图1为本实用新型改进前结构示意图；图2为本实用新型改进后结构示意图。图中标号为1 一托底2—托盘3—托板具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点
3和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。如附图2本实用新型改进后结构示意图所示，一种扫描电子显微镜扫描用夹具， 该夹具包括碗形托底1、固定安装于托底1上部的圆环形托盘2，通过双面胶粘贴于托盘2 上部的托板3，托板3为正方形结构，托板3的边长大于圆环形托盘2的外径，托板3为金属铝材料。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本实用新型所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
权利要求1.一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底(1)、固定安装于所述托底 (1)上部的圆环形托盘(2)，其特征在于该夹具还包括通过双面胶粘贴于所述托盘(2)上部的托板(3)，所述托板(3)为正方形结构，所述托板(3)的边长大于所述圆环形托盘(2)的外径，所述托板(3)为金属材料。
2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜扫描用夹具，其特征在于所述托板(3) 的材质为金属铝。
专利摘要本实用新型提供了一种扫描电子显微镜扫描用夹具，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。本实用新型通过在原有夹具上面增加了托板，从而达到增大使用面积的效果，制作成本低；本实用新型使用方形托板来增加原来环形托盘的面积，有效增加了单次检测的可放置样品数量，提高了样品的检测效率。
文档编号H01J37/20GK202217638SQ20112032009
公开日2012年5月9日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日
发明者吴春晖 申请人:上海华碧检测技术有限公司