一种扫描电子显微镜测试制样平台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扫描电子显微镜应用领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜测试制样平台，用于扫描电子显微镜系统。
【背景技术】
[0002]扫描电子显微镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析，其中能谱仪作为扫描电子显微镜最重要的配件在电镜测试中有着举足轻重的位置。在能谱仪成分分析中，经常会遇到粉末的测试，由于粉末的特殊构造使得对其进行成分分析时有一定困难。
[0003]现有技术中，粉末的成分分析包括以下步骤:首先，用牙签沾取一定量的粉末涂抹于导电胶上；接着，用吸耳球吹掉黏附不牢的粉末。经过这样的处理后才能送入扫描电子显微镜测试。
[0004]然而，经过上述处理后，粘在导电胶上的粉末更加少，在某些样品稀疏部位常常露出导电胶的表面，很可能在在能谱仪进行面扫测试时，就扫描到背面的导电胶，对结果的准确性造成影响；而且，这样对样品处理也过于简单，虽然经过吸耳球的清理，一些黏附不稳定的粉末还是容易扩散到扫描电子显微镜的腔体，对扫描电子显微镜的安全造成威胁。
[0005]另外，并不是所有的粉末都可以通过压片成型，有时还需要添加某种成分使之成型，而添加的成分一定会影响到粉末的成分测试，如果不添加使其成型的成分，压制成型的样品就存在中途破碎的危险。
[0006]因此，如何安全准确的测试粉末成为了一直困扰扫描电子显微镜测试人员和生产厂家的问题。
【发明内容】
[0007]本实用新型的目的在于提供一种便于粉末成分测试的扫描电子显微镜测试制样
-ψ-1 口 O
[0008]为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是:一种扫描电子显微镜测试制样平台，包括一载物台、一协助平台及压料柱；其中:
[0009]所述载物台具有一载物平面；
[0010]所述协助平台具有一基板，该基板上开设有储料通孔；
[0011]所述压料柱为一柱状构件，该柱状构件与储料通孔相匹配；
[0012]在使用状态下，所述基板的一侧表面与载物平面贴合，储料通孔与载物平面配合形成一端开口的容置空间，待测试粉末置于该容置空间内之后，压料柱设于所述容置空间内将待测试粉末压实在容置空间中。
[0013]上述技术方案中，所述储料通孔的数量为至少2个。
[0014]上述技术方案中，所述基板的边缘设置有侧壁，该侧壁与载物台之间配合形成套接结构。
[0015]上述技术方案中，所述压料柱的一端设置有一压片，压片的外缘尺寸大于压料柱的外缘尺寸。优选的，所述压料柱和压片为一体结构。
[0016]上述技术方案中，所述载物平台为铝合金材质。所述制样平台的材料只要不是磁性材料，具有足够的导电性都是可以的。
[0017]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
[0018]1.本实用新型将待测试粉末置于储料通孔与载物平面配合形成的容置空间中，并通过压料柱将待测试粉末压实，方便添加、定位和固定样品，且样品成型以后能够保持样品形状不被破坏；
[0019]2.本实用新型通过简单的人为压片，解决了现有技术中测试样品稀薄和粉末飘散的问题；
[0020]3.本实用新型通过压料柱将待测试粉末压实成型，不需要另外添加成分，确保料成分分析的准确性；
[0021]4.本实用新型的载物台与协助平台之间为可拆卸式连接结构，测试完毕后易于清理；
[0022]5.本实用新型结构简单，实用性强，适合推广。
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型实施例一中载物台的立体图。
[0024]图2为本实用新型实施例一中协助平台的俯视图。
[0025]图3本实用新型实施例例一中协助平台的剖视图。
[0026]图4为本实用新型实施例一中压料柱的结构示意图。
[0027]图5为本实用新型实施例一的装配状态的剖视图。
[0028]其中:1、载物台；2、载物平面；3、基板；4、侧壁；5、压料柱；6、压片；7、储料通孔；8、待测试粉末。
【具体实施方式】
[0029]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0030]实施例一:
[0031]参见图1~5所示，一种扫描电子显微镜测试制样平台，包括一载物台1、一协助平台及压料柱5;其中:
[0032]所述载物台I具有一载物平面2 ；
[0033]所述协助平台具有一基板3，该基板3上开设有储料通孔7 ;
[0034]所述压料柱5为一柱状构件，该柱状构件与储料通孔7相匹配。
[0035]在使用状态下，所述基板3的一侧表面与载物平面2贴合，储料通孔7与载物平面2配合形成一端开口的容置空间，待测试粉末8置于该容置空间内，压料柱5设于所述容置空间内将待测试粉末8压实在容置空间中。
[0036]所述储料通孔7的数量为4个，参见图2所示。实际应用中可根据需要调整储料通孔的数量。
[0037]所述基板3的边缘设置有侧壁4，该侧壁4与载物台I之间配合形成套接结构。
[0038]所述压料柱5的一端设置有一压片6，压片6的外缘尺寸大于压料柱5的外缘尺寸。
[0039]测试时，将待测试粉末8置于储料通孔7与载物平面2配合形成的容置空间中，并通过压料柱5将待测试粉末8压实，即可进行测试。
【主权项】
1.一种扫描电子显微镜测试制样平台，其特征在于:包括一载物台(I)、一协助平台及压料柱(5);其中: 所述载物台(I)具有一载物平面(2 ); 所述协助平台具有一基板(3 )，该基板(3 )上开设有储料通孔(7 ); 所述压料柱(5)为一柱状构件，该柱状构件与储料通孔(7)相匹配； 在使用状态下，所述基板(3)的一侧表面与载物平面(2)贴合，储料通孔(7)与载物平面(2)配合形成一端开口的容置空间，待测试粉末(8)置于该容置空间内之后，压料柱(5)设于所述容置空间内将待测试粉末(8)压实在容置空间中。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜测试制样平台，其特征在于:所述储料通孔(7)的数量为至少2个。3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜测试制样平台，其特征在于:所述基板(3)的边缘设置有侧壁(4)，该侧壁(4)与载物台(I)之间配合形成套接结构。4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜测试制样平台，其特征在于:所述压料柱(5)的一端设置有一压片(6)，压片(6)的外缘尺寸大于压料柱(5)的外缘尺寸。
【专利摘要】一种扫描电子显微镜测试制样平台，包括一载物台、一协助平台及压料柱；其中：所述载物台具有一载物平面；所述协助平台具有一基板，该基板上开设有储料通孔；所述压料柱为一柱状构件，该柱状构件与储料通孔相匹配；在使用状态下，所述基板的一侧表面与载物平面贴合，储料通孔与载物平面配合形成一端开口的容置空间，待测试粉末置于该容置空间内，压料柱设于所述容置空间内将待测试粉末压实在容置空间中。本实用新型方便添加、定位和固定样品，且中样品成型以后能够保持样品形状不被破坏；解决了现有技术中测试样品稀薄和粉末飘散的问题；不需要另外添加成分，确保料成分分析的准确性；测试完毕后易于清理。
【IPC分类】G01N1/28
【公开号】CN204831879
【申请号】CN201520622380
【发明人】李琰琪, 王栩生, 邢国强
【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月18日