专利名称：防汞蒸汽污染的新型霓虹灯制造设备的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电真空，特别是用于霓虹灯充排气的专用设备。
目前广泛使用的霓虹灯排气设备有二类，一是机械泵排气系统，二是机械泵加油扩散泵。这二种系统的工作效率比较低，并且制作出的霓虹灯寿命也不长，更为严重的是低蒸汽压的汞在工艺过程中极易冲入系统中，随着系统的运转，汞蒸汽被排到大气中。随着分子泵的出现，由于分子泵自身的优越性，整个真空系统具有超洁净、无油蒸汽污染、高真空等优点，显著地提高了霓虹灯管的质量和使用寿命，虽然分子泵不怕汞污染，但抽到分子泵中的汞还会被排放到大气之中，造成了环境污染。
本实用新型的目的是防止汞珠流入系统并能延长分子泵的使用寿命。
本实用新型的主要特点是制造设备包括机械泵10，分子泵7、电磁阀9、真空阀4、微调针阀8，在分子泵7与排气接头2之间有一汞珠陷井3。
本实用新型由于使用了分子汞，使得系统真空度较高，不怕暴露大气，汞珠陷井的存在，避免了汞对大气的污染，该设备的使用可大大提高霓虹灯的质量和寿命。
附图
是制造设备的结构示意图。
图中1为真空橡皮管2为接头3为汞珠陷井4为真空阀5为测量规6为缓冲筒7为涡轮分子泵8为微调针阀9为电磁阀10为机械泵
以下结合附图详述本发明。
为了提高霓虹灯的效率及灯管的使用寿命，采用了先进的涡轮分子泵做为系统的主泵，前级为机械泵。由于分子泵自身的优越性，整个真空系统具有超洁净，无油蒸汽污染，对各种气体抽速不变，不怕暴露大气。该设备制造的霓虹灯管大大地延长了使用寿命。设备启动2分钟即可工作。但在制作霓虹灯时，灯管与真空设备工位之间用真空橡皮管进行连接。在灯管处于大气状态而真空系统为真空状态下，系统开启的瞬间，由于压力差的存在，使灯管内的汞珠极易被抽入系统分子泵或机械泵中。为了防止汞珠冲入系统，在分子泵7与排气接头2之间的管道上设置了一个汞珠陷井3即储存容器，称为快卸接头。此结构即能保持真空密封，又能将冲入系统中的汞珠，在未流入分子泵前即掉入陷井式的快卸接头内。当陷井内有汞珠时，扭开接头倒出汞珠妥善保存。
由于霓虹灯制造工艺的特殊性，10分钟左右要完成一批灯管的制作。所以真空系统经常处于大气或低真空状态，为此对系统主泵(分子泵)性能指标的重复性要求极高。但在实际应用中，分子泵叶片在气体的长期冲击下，其性能会降低。为了延长主泵(分子泵)的寿命及其性能的重复性，在分子泵7与真空阀4之间的管道上加了一个缓冲筒6，缓冲筒的直径为系统管道的3－5倍。系统管道的内径为25mm。当系统处于低真空或大气状态时，气流流过大容积的缓冲筒6时，气体扩散开，减轻了气体对分子泵叶片的阻尼力，气体很快被抽走。这样达到了延长分子泵使用寿命的目的。系统中测量规5为测量系统真空度提供了一个测量口。
权利要求1.防汞蒸汽污染的新型霓虹灯制造设备包括机械泵10、分子泵7、电磁阀9、真空阀4、微调针阀8，其特征是在分子泵7与排气接头2之间有一汞珠陷井3。
2.按权利要求1所述的设备其特征在分子泵7与真空阀4之间有一缓冲筒6。
3.按权利要求1或2所述的设备其特征是缓冲筒6的直径为系统管道直径的3－5倍。
专利摘要防汞蒸汽污染的新型霓虹灯制造设备包括机械泵10、分子泵7、电磁阀9、真空阀4、微调针阀8，在分子泵7与排气接头2之间有一汞珠陷井3。本实用新型由于使用了分子泵，使得系统真空度较高，不怕暴露大气，汞珠陷井的存在，避免了汞对真空系统和大气的污染，该设备的使用大大提高了霓虹灯的质量和寿命。
文档编号H01J9/38GK2192079SQ94205130
公开日1995年3月15日 申请日期1994年3月25日 优先权日1994年3月25日
发明者张永才, 汪涌 申请人:中国科学院电子学研究所